Способ изготовления миниатюрных керамических деталей

Номер патента: 1217858

Авторы: Джуринский, Климачев, Решетников, Шнек

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 15 В 4 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТ ЛЬСТ с ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИД(56) Авторское свидетельство СССР У 1052501, кл. С 04 В 41/14, 1982.Решетников А.М. и др. Металлизация миниатюрных кварцевых втулок для корпусов полупроводниковых приборов СВЧ. - Электронная техника, 1984, вып. 6, с. 62-64(54)(57) 1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИНИАТ 10 РНЫХ КЕРАМИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ, преимущественно для корпусов полупроводниковых диодов, включающий сборку цилиндрических заготовок в оправке, заполнение ее связующим,801217858 А резку, удаление связующего, защиту боковой поверхности заготовки и металлизацию о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения выхода годных и увеличения производительности, защиту боковых поверхностей осуществляют пере заполнением связующим путем пропит ки заготовок в оправке термостойким лаком и его отверждения, метал лизируют заготовки в оправке после удаления связующего и затем удаляют лак растворением.2. Способ по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что в качестве термостойкого лака используют фоторезист, а его растворение интенс фицируют ультразвуковыми колебаниями.Изобретение относится к радиоэлектронной технике и может найтиприменение при изготовлении корпусов высокочастотных полупроводниковых диодов, опорных изоляторов,навесных конденсаторов и т.д., кроме того, оно может быть использовано в приборостроении, электротехнической и других отраслях промьпиленности.Цель изобретения - увеличениепроизводительности и повышение выхода годных миниатюрных цилиндрических деталей с металлизированнымиторцевыми поверхностями.На чертеже (а-з) представленатехнологическая схема предлагаемогоспособа,П р и м е р. Изготовляют миниатюрные кварцевые втулки размеромФ 0,8 х 0,4 х 0,2 мм с металлизированной (хром 0,05 мкм, никель 0,5 мкм,золото 2-3 мкм) торцевой поверхностьюВ стеклянную трубку 1 Фнпр==8-10 мм, 1 =70-100 мм плотно набивают кварцевые капилляры 2 сФс,р - - 0,8 мм и фр =0,4 мм (а).Цилиндрические поверхности капилляров покрывают слоем термостойкого лака 3, например фоторезистомФП, для чего трубку с капиллярами опускают в сосуд с фоторезистом. Под действием капиллярных силтрубка заполняется. Избыток фоторезиста удаляют продувкой сжатым воздухом. Производят сушку и задублиование фоторезиста при 80 и 120 Ссоответственно ( б),После сушки и задубливания пленки фоторезиста каналы капилляров иполости между ними заполняют связу 217858 2ющим веществом 4 ( в), в качестве которого используют наклеечную мастику, состоящую из воска и канифоли. Затем трубку с капиллярами режут на диски 5 высотой 1-0,2 мм сприпуском на шлифовку ( г ). Последвухсторонней шлифовки дисков по высоте до заданного размера 0,2-0,02 мм( д) мастику удаляют растворениемв трихлорэтилене или бензине (е).При этом пленка фоторезиста не растворяется и втулки не выпадают из охватывающего их кольца, так как пленка фоторезиста склеивает втулкимежду собой, После химической очистки втулки в дисках помещают в установку вакуумного напыления и производят их очистку в тлеющем разряде,а затем напыление методом испарения подслоя хрома толщиной 400500 А и никеля толщиной 0,3-0,5 мкм(ж). После вакуумной металлизациивтулки поступают на операцию демонтажа и удаления металлических покрытий с цилиндрических поверхностей.Для этого диски с втулками заливаютдиметилформамидом и производят ультразвуковую обработку в течение 1520 мин (з ). При этом происходит интенсивное растворение фоторезиста и"взрывное" удаление металлическогопокрытия, нанесенного на него приметаллизации.Соединения втулок, изготовленных предлагаемым способом, с металлами, например с медью, полученныетермокомпрессией - вакуумноплотные,имеют механическую прочность 4,55,0 кгс/мм при испытании на отрыв.Предлагаемый способ позволит40увеличить выход годной продукциис 30 до 507,1217858 Заказ 080/300 Подписное ИИПИ Ти Филиал ППП "Патент",г.Ухгоооп. чл.Проектная,

Смотреть

Заявка

3769539, 09.07.1984

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1067

ШНЕК ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, ДЖУРИНСКИЙ КИВА БОРИСОВИЧ, РЕШЕТНИКОВ АЛЕКСАНДР МИХАЙЛОВИЧ, КЛИМАЧЕВ ИВАН ИВАНОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C04B 41/88

Метки: керамических, миниатюрных

Опубликовано: 15.03.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1217858-sposob-izgotovleniya-miniatyurnykh-keramicheskikh-detalejj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления миниатюрных керамических деталей</a>

Похожие патенты