ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК Я 01186955 А4 б 01 6 3/08, 3 13 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ Я риходькорожев,орисычев изики АНрское бюроН СССР ССР изичес электричес, с.254,ние во СССР /04, 16.0 СТРОЙ угих св.78 СТВО, созей, устаГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт общей фСпециальное конструктокого приборостроения А(54)(57) 1. ВЕСОВОЕ У держащее две системы упр новленные на основании, и датчик для преобразования их деформации в электрический сигнал, отличающееся тем, что, с целью повышения точности взвешивания, первая система связана с датчиком, а обе системы установлены параллельно с помощью двух узлов сопряжения, причем один из узлов выполнен в виде жесткого сочленения, а другой - с возможностью взаимного перемещения сопрягающихся поверхностей этих упругих систем и снабжен регулировочным механизмом их относительного перемещения,2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что одна из упругих систем выполнена с возможностью деформации различных знаков и предварительно деформирована при помощи механизма относительного перемещения в направлении, противоположном действию Я усилия от взвешивания.Изобретение относится к области точного измерения массы различных грузов, в частности, оно может использоваться в системах автоматизированного управления технологическими процессами выращивания кристаллов.Целью изобретения является повышение чувствительности весового контроля при увеличении максимального контролируемого веса, возможно, содержащего постоянную составляющую.На фиг. 1 представлено весовое устройство контроля процесса выращивания моно- кристалла методом Чохральского, вариант контролирования веса тигля с расплавом; на фиг.2 - то же, вариант контролирования растущего монокристалла.Устройство обеспечивает деформирование первой из двух входящих в устройство упругих систем только в диапазоне измерения контролируемого веса, что эквивалентно компенсации ее постоянной составляющей, а также обеспечивает расширение пределов допустимой деформации и увеличение диапазона изменения выходного сигнала преобразователя деформации.Весовое устройство на (фиг,1) состоит из упругих связей в виде двух систем 1 и 2, датчика 3 преобразования деформации и механизма 4 перемещения. Упругая система 1 выполнена в виде мембраны, край которой соединен неподвижно с одной стороной упругой системы 2, а центр - упругим стержнем 5 через механизм 4 перемещения - с другой ее стороной. Датчик 3 выполнен в виде гетероэпитаксиальной полупроводниковой структуры, нанесенной на поверхность упругой системы 1. Упругая система 2 выполнена в виде параллелограмма с вертикальными жесткими и горизонтальными гибкими сторонами.Одна из жестких сторон закреплена на основании 6 ростовой установки (не показана), а другая - соединена с механизмом 4 относительно перемещения, выполненном в виде ползуна, и с держателем 7 тигля 8 с расплавом 9, из которого посредством кристаллодержателя 10 производится вытягивание монокристалла 11.Весовое устройство (фиг.1) работает следующим образом,Перед началом контролирования упругая система 2 подвергается деформации сжатия под действием максимального веса тигля 8 с расплавом 9, а стержень 5 упругой системы 1 устанавливается в нулевое положение припомощи механизма 4 перемещения. Приуменьшении веса тигля с расплавом в процессе вь.ращивания монокристалла деформация упругой системы 2 уменьшается и черезмеханизм 4 перемещения и стержень 5 деформируется упругая система 1. Благодарявыбору суммарной жесткости упругих систем 1 и 2. предельно допустимая деформацияупругой системы 1 достигается при умень 1 О шении веса расплава 9 на величину, равную примерно максимальному весу выращиваемого кристалла. Выходной сигнал преобразователя 3 деформации, служащего датчиком, меняется при этом от нулевого домаксимального значения.15Весовое устройство (фиг,2) также состоитиз упругих систем 1 и 2, датчика преобразования деформации 3 и механизма 4 относительного перемещения. Упругие системы 1и 2 выполнены в виде параллелограммов,каждый из которых имеет горизонтальныегибкие и вертикальные жесткие стороны, закреплены с одной стороны жесткими сторонами к штоку 5 ростовой установки (непоказана), а две другие жесткие сторонысоединены посредством упора 6 и механизма4 перемещения, выполненного в виде ползуна. Упругая система 1 посредством кристаллодержателя 7 соединена с монокристаллом8, вытягиваемым из расплава 9,В данном случае датчик 3 преобразователя деформации выполнен с нечетнойфункцией преобразования в виде тензорезисторов, соединенных в мостовую схему инаклеенных на гибких сторонах упругой системы 1, которая может подвергаться деформации различных знаков. Упругая системапредварительно сжата посредством механизма 4 перемещения на величину, предельнодопустимую применяемыми тензорезисторами.Устройство (фиг.2) работает следующимобразом.40 При увеличении веса монокристалла впроцессе выращивания от нулевого до максимального значения деформация упругойсистемы 1 благодаря выбору суммарнойжесткости упругих систем 1 и 2 изменяется от предельного сжатия до пре 45 дельного растяжения. Выходной сигнал датчика 3 преобразования деформации изменяется при этом от максимального значениядо разного по величине с противоположнымзнаком.Сосва Тех редТиражВНИИПИ Государспо делам изо113035, Москва, Ж -илиал ППП Патент,дактор Н. Пушненкоказ 6535/44 авитель Н. ИвановИ. Верес Корректор С. Черни702 Подписноетвенного комитета СССРретений и открытий35, Раушская наб., д. 4/5г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Смотреть

Заявка

3734608, 23.04.1984

ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ АН СССР, СПЕЦИАЛЬНОЕ КОНСТРУКТОРСКОЕ БЮРО ФИЗИЧЕСКОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ АН СССР

ОСИКО ВЯЧЕСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ, ПРИХОДЬКО ЛЕОНИД ВАСИЛЬЕВИЧ, ВАСИЛЬЕВ БОРИС НИКОЛАЕВИЧ, СТОРОЖЕВ НИКОЛАЙ РОМАНОВИЧ, БОЛЬШАКОВ ЕВГЕНИЙ НИКОЛАЕВИЧ, БОРИСЫЧЕВ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, УШАКОВ ВЛАДИСЛАВ ВАСИЛЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01G 3/08, G01G 3/13

Метки: весовое

Опубликовано: 23.10.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1186955-vesovoe-ustrojjstvo.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Весовое устройство</a>

Похожие патенты