Способ настройки интегральных тензометрических мостов

Номер патента: 1174739

Авторы: Белозубов, Жучков, Соснин, Тихоненков

ZIP архив

Текст

,11747 04 С 01 В ГОС АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ адРственный комитет сссрЕЛ,АМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИ Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ(54)(57) СПОСОНЫХ ТЕНЗОМЕТРчающийся в томмоста вводят трезистор, сопрпревышает преддля термокомпечальный выходнзакороченном трезисторе для Бюл. У 31енков, А.И.Жучков, и Н.Ф.Соснин(088.8)свидетельство СССР С 01 В 7/18, 1976.видетельство СССР С 01 В 7/18, 1978. Б НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬИЧЕСКИХ МОСТОВ, заключто в одно из плеч ермочувствительный отивление которого ельно необходимое нсации, измеряют наой сигнал моста при ермочувствительном двух различных температур, определяют температурный дрейф сигнала, рассчитывают величину сопротивления термочувствитель" ного резистора, необходимую для термокомпенсации, и с помощью технологической перемычки подгоняют величину сопротивления термочувствительного резистора требуемой величины, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения адцитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур, измеряют начальный выходной сигнал моста при тех жеФЩС температурах и полностью включенном в термочувствительном резисторе, а величину сопротивления подгоняют напылением технологической перемычки и между двумя любыми точками термочувствительного резистора.Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензометрических мостов, изготавливаемых по интегральной микроэлектронной технологии на основе как металлопленочных, так и полупроводниковых тензорезисторов.Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур.На фиг. 1 представлен интегральный тензометрический мост с термочувствительным резистором и напыпенной технологической перемычкой, общий вид; на фиг. 2 - схема включения моста при снятии величины температурного дрейфа.Способ осуществляется следующим образом.При изготовлении тензометрического моста 1, включающего в себя четыре тензорезистора 2"5, в одно из плеч, например, последовательно с тензореэисторами 4 и 5, вводят термочувствительный резистор 6. Выводы тензорезисторов 2-5 образованы соответственно контактными площадками 7-10, а выводы термочувствительного резистора 6 - контактньви площадками 11 и 12. Сопротивление термочувствительного резистора б выбирают таким, чтобы оно превышало предельно необходимое для термокомпенсации.Тензометрический мост 1 помещают в термокамеру 13 и с помощью клеммной колодки 14 подключают к источнику 15 питания и вольтметру 16, Выключатель 17 поочередно устанавливают в поло. жение "Замкнуто" и "Разомкнуто" и 5 измеряют начальный выходной сигнал,моста 1. Эти измерения проводят при двух раэличнык температурах, По полу" ченным данным рассчитывают температурный дрейф сигнала и величину сопротивления термочувствительного резистора 6, необходимую для термокомпенсации. С помощью технологической перемыч ки 18, напыляемый между двумя любымиполучившимися в соответствии с расчетом точками термочувствйтельного резистора 6 до требуемой величины. Наэтом процесс настройки интегрального 20 тензометрического моста заканчивается.Использование предлагаемого способа позволяет более точно определятьвеличину сопротивления термочувстви тельного резистора, необходимую длятермокомпенсации, так как сигнал этого резистора оценивается на основеэкспериментальных данных. Более точная подгонка величины сопротивления 30 обеспечивается бесступенчатой регулировкой с помощью напыпяемой по месту перемычки, Такимобразом, предлагаемый способ позволяет на порядокуменьшить аддитивную температурнуюпогрешность, что существенно повышает точность измерений при работемоста в широком диапазоне температур.174739 Составитель Н.Тимошенкотор Г,Волкова Техред О.Неце Корректор М. Самборская аказ к филиал ППП "Патент", г,ужгород, ул,Проектная,4 70/41 Тираж 651 ВНИИПИ Государствениог по делам изобретений 113035, Москва, Ж, Ра

Смотреть

Заявка

3709835, 11.03.1984

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-1891

ТИХОНЕНКОВ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ, ЖУЧКОВ АНАТОЛИЙ ИВАНОВИЧ, БЕЛОЗУБОВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ, СОСНИН НИКОЛАЙ ФИЛИППОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01B 7/16

Метки: интегральных, мостов, настройки, тензометрических

Опубликовано: 23.08.1985

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1174739-sposob-nastrojjki-integralnykh-tenzometricheskikh-mostov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ настройки интегральных тензометрических мостов</a>

Похожие патенты