Установка для контроля герметичности полых изделий

ГОСЗЩМфСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССС 3 фи илАм иваддд и дюдддОПИСАНИЕ ИЗОБРЕн двтдддддм даидВтвъдвм ц 601 Е(56) 1. Авторское свидетельство СССРР 1033883, кл. 0 01 М 3/02, 1982.(54)(57) УСТАНОВКА ДЛЯ КОНТРОЛЯГЕРМЕТИЧНОСТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ поавт.св. У 1033883, о т л и ч а ю -щ а я с я тем, что,. с целью повы- .адйекшения надежности и достоверности контроля, она снабжена контрольной .камерой, соединенной с системой подачи и регулирования рабочего газ а через запорный орган - с масс-с трометрическим течеискателем, индикаторной камерой, сообщающейся с,полостью изделия, причем индикаторная камера соединена через зайорный орган с одной из полостей выравнивающей ка,меры, которая через запорный орган сообщена с атмосферой.116183Изобретение относится к контроль= но-измерительной технике, а именно к контролю герметичности полых.изделий, не допускающих контакта с инднкаторным газом. 5По основному авт,.св, Ф 1033883 известна установка, содержащая вакуумную камеру для контролируемого изделия, систему подачи и регулирования рабочего и индикаторного газов, массО спектрометрический течеискатель, индикаторную камеру, сообщаемую с полостью изделия, а также соединенную через запорный .орган с масс-спектрометрическим течеискателем и.соединен. 15 ную с системой подачи и регулирования рабочего газа, и выравнивающую камеру с эластичным разделителем, одна из полостей которой сообщается с полостью иэделия, а другая соединена с ур системой подачи и регулирования индикаторного газа и сообщена через запорный орган с индикаторной камерой 11,25Недостатками известной установки являются невозможность оперативного контроля случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость изделия, что отрицательно сказывается на надежности установки, 5 О недостоверный контроль герметичности изделия из-за влияния на показания масс-спектрометрического течеискателя индикаторного газа, накапливающегося в полости выравнивающей камеры, 35 сообщаемой с иэделием.. Цель изобретения - повышение надежности и достоверности контроля.Укаэанная цель достигается тем, что установка для контроля герметич ности полых изделий снабжена контрольной камерой, соединенной с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган - с масс-спектрометрическим течеис кателем, индикаторной камерой, со-общающейся с полостью изделия, причем индикаторная камера соединена через зайорный орган с одной иэ полостей выравнивающей камеры, которая 50 через запорный орган сообщена с атмосферой.На чертеже представлена функциональная схема установки для контроля герметичности полых изделий. 55Установка содержит вакуумную камеру 1,предназначенную для размещения;контролируемого изделия 2, инди 1 4 гкаторную камеру 3, контрольную камеру 4, выравнивающую камеру 5 с эластичным разделителем 6 и двумя полостями 7 и 8, масс-спектрометрический течеискатель 9, систему подачи и регулирования рабочего газа, состоящую из балона 10 со сжатым рабочим газом, регулятора 11 давления и запорного органа 12, систему подачи и регулирования индикаторного газа, состоящую из баллона 13 со сжатым индикаторным газом, регулятора 14 давления и запорного органа 15.Индикаторная камера 3 соединена через эапорный орган 16 с масс-спектрометрическим течеискателем 9. Контрольная камера 4 соединена с системой подачи и регулирования рабочего газа, а через запорный орган 17 - с масс-спектрометрическим течеискателем, кроме того, она сообщена с полостью изделия 2 и с индикаторной камерой 3 соответственно через запорные органы.18 и 19, Полость 7 выравнивающей камеры 5 сообщена через запорный орган 20 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 21 с атмосферой, Полость 8 выравнивающей камеры 5 соединена с системои подачи и регулирования индикаторного газа, сообщена через запорный орган 22 с индикаторной камерой 3, а через запорный орган 23 - с атмосферой,Установка при контроле герметичности полого изделия работает следующим образом.Исходное состояние. установки; ввакуумную камеру 1 помещено контролируемое иэделие 2, все запорные органы закрыты, регуляторы 11 и 14 давления разгружены, баллоны 10 и 13закачаны сжатым рабочим и индикаторным газом соответственно,Открывают эапорные органы 15 и23, настраивают регулятор 14 на давление Р, соответствующее условиямработы изделия 2, и продувают индикаторным газом полость 8 выравнива-.ющей камеры 5, после чего закрываютэапорные органы 15 и 23.Открывают запорные органы 12, 19.20 и 21, настраивают регулятор давления 11 на давление Р и продуваютрабочим газом контрольную камеру 4,индикаторную камеру 3 и полость 7выравнивающей камеры 5. Открывают эапорный орган 17. При достижении нулевого уровня индикаторного газа в конЗаказ 3963/45 Тираж 897 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5 Филиал ППП "Патент"г.ужгород, ул.Проектная, 4 3 1161 трольной камере 4 контролируемого масс-спектрометрическим течеискателем 9, закрывают запорные органы 17 и,21.Открывают запорный орган 18 и посредством эластичного разделителя 6 выравнивающей камеры 5 прецизионно выравнивают давление в иэделии 2, индикаторной камере 3, контрольной камере 4 и в полостях 7 и 8 выравни-. 0 вакяцей камеры 5, после чего закрывают запорные органы 12 и 20. Закрывают эапорные органы 18 и 19,открывают запорный орган 22 и созда- цют диффузионное перетекание индикаторного газа из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру 3, Через время , обусловленноечувствительностью масс-спектрометрического течеискателя 9, запорныйорган 22 закрывается. Открывается запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем.9 измеряется диффузионный фон д(Ы) индикаторного газа в индикатор-,ной камере 3, после чего запорныйорган 16 закрывается,После повторной продувки полости8 выравнивающей камеры 5 индикаторным газом, а контрольной камеры 4,индикаторной камеры 3 и полости 7выравнивающей камеры 5 - рабочимгазом, установления в них давленияР прецизионно выравнивают давление35в контролируемом изделии 2 и в перечисленных камерах и полостях откры 834 4тием запорного органа 18, после чего закрывают запорные органы 12 и 20.Затем изделие 2 выдерживают в вакуумной камере 1 при разрежении, соответствующем условиям работы изде- лия, и закрывают Эапорные органы 17 и 18. Открывают запорный орган 22 и перепускают индикаторный газ.из полости 8 выравнивающей камеры 5 в индикаторную камеру З.ГЧерез время 3 запорный орган 22 закрывают. Открывают запорный орган 16 и массспектрометрическим течеискателем 9 измеряют уровень (М) индикаторного газа в индикаторной камере 3, после чего запорный орган 16 закрывается. По разности 6 М -О-м,уровней индикаторного газа в индикаторной камере 3 судят о величине негерметичности изделия 2. Открывая запорный орган 17, масс-спектрометрическим течеискателем 9 контролируют отсутствие индикаторного газа в контрольной камере 4, а соответственно, и в изделии 2Таким образом, предлагаемая установка позволяет .вести оперативный контроль случайных натеканий индикаторного газа из элементов установки в полость изделия, а возможность сообщения полости выравнивающей камеры с атмосферой обеспечивает продувку ее рабочим газом, при которой удаляется накапливающийся вэтой полости индикаторный газ, который влияет на достоверность контроля герметичности изделия,