Способ контроля качества электронно-оптических систем

(51) Н О ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН СТВУ К АВТОРСКОЬЮ Бюл.ни Б.Ий орденнститут бицецк енина пол .Ленинско 3) 62 1.385(0888) 6) 1. Производство ц в. М., "Энергия", 19 2. В,М.Кельман, С.Я онная оптика. М.-Л., 119, 1963. ветных кин78, с,222.Явор. ЭлеАН СССР,ско 28. ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР ДЕЛАМ, ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(5по 54)(57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВАЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ прибов, включаваии определение места ложеция точки фокусировки пучка заряженных частиц, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью упрощения способа за счет осуществленияконтроля в готовом приборе, на прибор в области расположения кроссовера электроццо-оптических систем устанавливают стигматор, подают наприбор и стигматор напряжения питания, перемещают стигматор вдоль осиприбора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в моментпреобразования крестообразного изображения на кране прибора в расфокусированное пятно.Изобретение относится к электронной технике и может быть использовании,Наиболее близким к предлагаемому 20 является способ контроля качества электронно-оптической системы, вклю - чающий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц 21. 25Для определения точки фокусировки в известном способе используется электронно-оптическая скамья, цакоторую устанавливается исследуемаяЭОС .1Недостатками способа являютсясложность и невозможность. его использования для готовых приборов.Цель изобретения - упрощение способа за счет осуществления контроляв готовом приборе,Указанная цель достигаетса тем,что согласно способу контроля качест 30 ва электронно-оптических систем, включающему определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, ца прибор устанавливают в области кроссовера ЭОС стигматор, подают на прибор и стигматор напряжения питания, перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение Точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно.50На чертеже схематически изображен электромагнитный стигматор, используемый в качестве индикатора места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц. 55Электромагнитный стигматор включает в себя катушку 1 и регулируемый источник 2 питания. Стигматор воздейно для контроля качества электронно- оптических систем (ЭОС) различных приборов. 5Известен способ контроля электронно-оптических систем, включающий определение соосности отдельных деталей и сходимость оптических осей отдельных пушек 11 .10Укаэанный .способ применяется в процессе сборки ЭОС, а в процессе его реализации используют дополни,тельное оборудование, например, микроскоп ИБС - 2 и т.п. 15Однако такой способ контроля достаточно сложен и не позволяет определить качество ЭОС в рабочем ссн тояствует ца электронный гучок 3 формируемый электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5.Для определения места положения точки фокусировки электронного пучка 3, формируемого электронно-оптическои системой 4 электроннолучевой трубки 5, катушку электромагнитного стигма- тора размещают на горловине электроннолучевой трубки в пространстве дрейфа электронного пучка. На катушку электромагнитного стигматора от источника питания 2 подают переменное напряжение, например промышленной частоты, При расположении средней плоскости стигматора вне места фокусировки пучка на экране электроннолучевой трубки наблюдается характерная для работы стигматора крестообразная фигура, формирующаяся в результате фокусирующего действия квадрупольного поля стигматора. При перемещении стигматора вдоль оси пучка в направлении точки фокусировки штрих-фокусы, образующие крестообразную фигуру, начинают преобразовываться в эллипсы, а в момент совмещения 1средней плоскости с точкой фокусировки приобретают форму расфокусированного пятна, которая остается неизменной независимо от амплитуды питающего тока. Неизменность формы светящегося пятна является критерием определения места положения точки фокусировки электронного пучка, При дальнейшем перемещении стигматора в том же направлении расфокусированное пятно вновь становится эллиптичным,Применение известного электромаг. нитного стигматора для определения места положения точки фокусировки заряженных частиц оказалось возможным благодаря взаимно компенсирующему действию квадрупольного поля стигматора на траекторию заряженных частиц до и после точки фокусировки. Так, если в меридиональной плоскости крайние траектории пучка подвергаются воздействию первой по ходу пучка половины квадрупольного поля стигматора и при этом отклоняются, например, к оси пучка, то, пройдя точку фокусировки, эти траектории должны были бы еще бОльше удаляться от оси, однако, вторая половина квадрупольного поля повторно отклоняет. траектории к оси и тем самым компенсирует воздействие первой половиныЗаказ 3187/51 Тираж 679 Подпис ное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 поля. В результате фокусирующее действие стигматора на пучок на экране электроннолучевой трубки не наблюдается.Экспериментальная проверка инди катора была выполнена на электроннолучевой трубке типа 13 ЛК, электронно-оптическая система которой создает второй кроссвер в пространстве дрейфа, Стигматор, выполненный в ви де электромагнитного квадруполя,размещался на горловине трубки за пределами предполагаемой области второго кроссовера и подсоединялся к ЛАТРу. При включении трубки и пода че переменного тока в стигматор на экране трубки наблюдалась характерная для стигматора крестообразная фигура. Стигматор перемещался вдоль оси горловины в направлении второго 20 кроссвера. В момент совмещения средней плоскости стигматора с кроссвером штрих-фокусы крестообразной фигуры приобретали форму неискаженного расфокусированного пятна. Место положения второго кроссовера в исследуемой электроннолучевой трубке определялось расстоянием между средней плоскостью квадруполя и люминофорным покрытием экрана трубки. Это расстояние составило 405 мм при ускоряющем напряжении 15 кВ и 387 мм при ускоряющем напряжении 10 кВ.Использование данного изобретения по сравнению с известными способами имеет преимущества, так как стигматор прост по конструкции и может применяться в экспериментальных лабораториях предприятий электровакуумной промышленности при исследовании готовых электроннолучевых приборов.