Способ измерения поверхностных зарядов

Номер патента: 1126902

Авторы: Гуртяченко, Евтюхов, Фимушкин, Шенфельд

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСНИд,имиль ннРЕСПУБЛИН К 29/ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ на пластине индук емому заряд с последщеи передачеи ванного заряда н естной емкости и нциала накопителя,и й с я тем, что и части инду накопитель измерение п о тлич а о Крас.69 п) СТ ова изм ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Брянский ордена Трудовогоного Знамени технологический итут(54)(57) СПОСОБ ИЗИЕРЕНИЯ ПОВЕНИХ ЗАРЯДОВ, включающий индуциние заряда, равного по величии с целью повышения чувствительности и точности измерения малых поверхностных зарядов, индуцирование ипередачу индуцированных зарядов нанакопитель производят многократнодо тех нор, пока зкспоненциальновозрастающий потенциал накопителяне станет с запанпой точностью равен потенциалу индуктора выведенного из поля дейстзия измеряемогозарядаУ%гор где= - 111 па, (О);11 - числа актов индуцированияи передачи заряда на накопитель в единицу времени,НА фиг. 1 показано устройство,реализующее предлагаемый способ;на фиг, 2 - диск с пластинами индукторов,устройство содержит диск 1, выполненный из диэлектрического мате- .10риала. На его поверхности, обращеннойк поверхности 2, заряд которой измеряется, закреплены изолированные другат друга проводящие индукторы 3,выполненные в виде секторов, плащади и емкости которых одинаковыи известны. Диск 1 установлен нааси А, кинематически связанной сприводам, и эаэемлен через щетку 5и столик 6. Щетка 5 установлена. отнасительно столика 6, несущего заряженную поверхность 2, таким образом, чтобы заземление каждого индуктора 3 нарушалось в момент полного совпадения заряженной поверхностии индуктора 3, Для обеспечения условия однородности полязаряженной поверхности 2 расстояниеа между ею и индукторами 3 должноудовлетворять условию йй Ъ, 1, где Ъ,- линейные размеры заряженной поверхности 2. Размеры индукторов 3должны превосходить размеры заряженной поверхности 2, а расстояние междуиндукторами 3 много больше величинызазора Й. Для исключения электризации диска 1 о воздух гри его вращении устройство во время измеренийпомещается в вакуумную камеру (1010 мм рт. ст.). Индукторы 3 черезщетку 7 связаны с накопителем 8,выполненным в виде конденсатора иэвестнай емкости, который соединен с измерительным прибором 9.Заряженную поверхность 2 с эаэа - рам помещают на столик 6 и заключают устройство в вакуумную камеру. Затем диск 1 приводят во вращение. После прекращения возрастания потенциала накопителя 8 производят отсчет величины Цд и по формуле Ч =Ц /Ся рассчитывают величину поверхнастнага заряда.Предлагаемый способ обладает высокой чувствительностью благодаря тому чта -после многократного индуциравания потенциал накопителя достигает величины ф которая вспъраэ превосходит величину потенциалаф накопителя после однократнойНпередачи ему заряда. Рачность измерений повьппается эа счет того, что при многократном индуциравании усредняются отклонения величин индуцираванных на пластинах, индуктора зарядов от среднего значения 1, равного измеряемому поверхностному заряду, Кроме того, при приближении потенциала накопителя к предельному значению и флуктуациио величины индуцируемога в каждом отдельном акте заряда иэ-за уменьшения час.ти индуцированного заряда, передаваемого на накопитель ва все меньшей степени влияют на потенциал накопителя.Благодаря высокой точности и чувствительности предлагаемый способ можно испольэовать для исследования полупроводниковых и диэлектрических материалов, применяемых в полупроводниковой и радиоэлектронной промышленности.

Смотреть

Заявка

3506498, 27.10.1982

БРЯНСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГО ЗНАМЕНИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ГУРТЯЧЕНКО ГЕННАДИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ, ЕВТЮХОВ КОНСТАНТИН НИКОЛАЕВИЧ, ШЕНФЕЛЬД ИГОРЬ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ФИМУШКИН ВИКТОР НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01R 29/24

Метки: зарядов, поверхностных

Опубликовано: 30.11.1984

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-1126902-sposob-izmereniya-poverkhnostnykh-zaryadov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ измерения поверхностных зарядов</a>

Похожие патенты