Реактор для получения, например, чистого кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 109645
Авторы: Гаврилов, Двирблянский, Дудов
Текст
% 109645 Класс 12 д, 4,2 11.г: СССР 11 1. ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ОПИС К АОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ кий, А. Т. Дудов и А, В, ГавриловНИЯ, НАПРИМЕР, ЧИСТОГО КРЕМН В, Ю. ЖвирТОР ДЛЯ ПО аявлеио 21 марта 1957 г. за М 570103 в Комитет ио делам изобретени 1 и открытий ири Совете Мииистров СССР подъемные приспособлеатравочными стержнями тирован ния 9 с 10 Существующие реакторы для получения кремния путем восстановления тетрахлорида кремния цинком ограничены в соотношении диаметра к высоте, работают пери сдически, потребляют много электроэнергии и малопроизводительны.Предлагаемое изобретение имеет целью устранить отмеченные недостатки известных реакторов для получения кремния.На чертеже изображен реактор в разрезе.Реактор имеет металлический корпус 1, изготовленный из жаропрочной стали. Внутри корпуса помешают, например, графитовую реакционную камеру 2, окруженную воздушной рубашкой 3 и слоем изоляции из сажи 4. С внешней стороны корпус изолирован воздушной прослойкой 5, пеношамотом б и слоем минеральной ваты 7.На верхней крышке реактора с внутренней стороны монтирован набор экранов, изготовленных из жаропрочной стали. С внешней стороны на верхней крышке помещают съемную кассету 8, в которой монВ верхнюю часть реакционной камеры вводят кварцевую трубку для подачи паров тетрахлорида кремния, диаметрально противоположно ей располагают вторую обогреваемую кварцев ю трубк для подачи паров цинка.Выше точек подвода реагентов под прямым углом к ним врезан патрубок, служащий для отвода хлористого цинка в конденсатор. Цинк в реакционную камеру подают из испарителя цинка. В плавитель цинка загружают гранулированныц цинк, который плавят, направляют в испаритель и в виде па. ров подают в реакционную камеру. Тетрахлорид подают в реакционную камеру из испарителя тетрахлорида. Оссгрев реакционной камеры осуществляют при помощи одного илц нескольких графитовых разрезных нагревателей 11, введенных в реакционное пространство через дно 12 реакционной камеры. Нагреватели закрыты кварцевыми или графитовыми чехлами И предохраняюши109 б 45ми их от продуктов реакции. В нижней части реакционнсй .:амеры, в центре псмешсн импе. лер г афитовый) 14. Импеллер предназначен для активного персмешпвания реагентов, имеюшпх разные удельныс веса. Перемешиванпе ускорит протеканис реакции и увеличит выход по цинку и тетрахлориду.В качестВС затраВкп лОжнс п 13 именять также порошок кремния, помешенный на ряд графитовых или кварпевых таре.Очек, которые связаны между собой. Введение в реакционное пространство центров кристаллизации в виде затрав; и ус. корит процесс, н на затравке осяд т кремний.Кассета дает возможность, пс останавливая процесса, ввести нсвую затравку - вторую,нерву с, на которой укс осел металл, извлечь из кассеты через дверцу и счистить от осевшего кремния; ,:осле этого затравка через дверц кассеты мо- жЕТ ОЬТЬ МСТЯПСВЛЕНа СНОВа.В реакционной камере и касс тс поддерживают атмосферу инертного газа. 1 аким образом, кассета предназначена для периодической выгрузки кремния из реактора без остановки процесса.В случае мснокристаллической затравки возможен при определенных условиях рост монокристалла в газовой фазе,Предмет изобретения1. Реактор для получения, например. чистого кремния, ссстсяший из корпуса с теплоизоляцией и внутренней облицовкой нагревательного устройства, о т л и ч а )о ш и й с я тем, что, с целью обеспечения непрерывности работы и ускорения процесса, внутри реактора вмонтированы перемешивающее приспособление и электронагреватели, а на верхней крышке - экраны.,2. Реактор по п. 1, отл и ч а юш и й с я тем, что, с целью введения затравки и извлечения чистого кремния, на крышке реактора с внешней стороны монтирована кассета с подъемниками, подвикными стержнями и дверью.
СмотретьЗаявка
570103, 21.03.1957
Гаврилов А. В, Двирблянский В. Ю, Дудов А. Т
МПК / Метки
МПК: B01F 15/06, B01F 7/16
Метки: кремния, например, реактор, чистого
Опубликовано: 01.01.1957
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-109645-reaktor-dlya-polucheniya-naprimer-chistogo-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Реактор для получения, например, чистого кремния</a>
Предыдущий патент: 109644
Следующий патент: Устройство для нанизывания связок бараночных изделий
Случайный патент: Электродвигатель