Плоскошлифовальный станок

(54) (57) 1. ПЛО СТАНОК, содерж ный стол для креп для черновой, полу работки, устройств КОШЛИФОВАщий станину,ния деталей, шистовой и чистактивного к ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) 1. Станок серии 650, фирмьЯпония. - Дэнси дзайреэ 1980, т.с. 91 - 95. толщины обрабатываемых деталей, отличающиЖя тем, что, с целью повышения точности обработки, станок снабжен расположенным на столе держателем для крепления контрольного образца, а шпиндели установлены на разных расстояниях от оси вращения стола с увеличением радиуса, начиная от шпинделя чистовой обработки, при этом датчики устройства активного конт роля размещены над держателем для крепления контрольного образца.2. Станок по п. 1, отличающийся тем, что держатель для крепления контрольного образца установлен с возможностью вертикального перемещения.Изоб)стспн относится к абразивнойооработке и можст быть использованошлифовке плоских поверхностей деталей,в частности полупроводниковых пластинили стекол фотошаблонов.Известен плоскошлифовальный станок,который содержит три вертикально расположенные шпиндельные головки с алмазнымикругами чашечного типа, имеющими возможность вертикального перемещения с помощью привода, управляемых от устройств Озамера толщины пластин, поворотный столс вакуумными присосками для удержанияпластины, три устройства для замера толгцины пластины после шлифования каждымшпинделем, устройство отмывки пластин,устройствозагрузки и выгрузки пластин с 5поворотного стола 11.Недостатками известного станка являются недостаточная точность обработки изза низкой точности замера толщины обрабатываемых пластин, а также сложность вего обслуживании,Низкая точность замера толщины пластин обусловлена тем, что датчики замератолщины находятся непосредственно околошпинделей, т. е. в зоне шлифования пластин,вследствие чего замер производится на за- э 5грязненной поверхности пластин, покрытойводокремниевой смесью,.Сложность обслуживания станка обусловлена тем, что для его настройки необходима настроечная пластина (годная пластина), которая последовательно вводится под 30каждый из трех шпинделей, начиная сошпинделя грубой шлифовки и кончая чистовым шпинделем. Данная операция приводит к порче одной или нескольких годныхпластин, а также требует большой затратывремени, так как каждый последующий шпиндель возможно настроить только после настройки предыдущего.Целью изобретения является повышениеточности обработки.Поставленная цель достигается тем, чтоплоскошлифовальный станок, содержащий 4 Останину, поворотный стол для крепления деталей, шпиндели черновой, получистовой ичистовой обработки, устройство активногоконтроля толщины обрабатываемых деталейснабжен расположенным на столе держателем для крепления контрольного образца,а шпиндели установлены на разных расстояниях от оси вращения стола с увеличением радиуса, начиная от шпинделя чистовой оораоотки, при этом датчики устройства активного контроля размешены наддержателем для крепления контрольногообразца.Держатель для урепления контрольногообразца установлен с возможностью вертикального перемещения и снабжен приводомвертикального перемешения. 55На фи. 1 схематично изображен плоскошлифовальный станок, разрез; на фиг. 2 то же, вид сверху. Плоскошлифовальный станок содержит стол 1 с вакуумными присосками - держателями 2 обрабатываемых пластин 3, шпиндель 4 чистовой обработки, шпиндель 5 получистовой обработки, шпиндель 6 черновой обработки с алмазными кругами 7 - 9 держатель 10 контрольного образца, контрольный образец 11, датчики 12 - 14 устройств активного контроля толщины обрабатываемых пластинпривод держателя контрольного образца, вклк ающий пневмоцилиндр 15, винт 16 и гаику 17 с фрикционной наружной поверхностью. Расстояние от центра стола 1 до оси шпинделя 5 больше, чем от центра стола до оси шпинделя 4, а расстояние от центра столадо оси шпинделя 6 больше, чем расстояние от центра стола до оси шпинделя 5. При этом разница в расстояниях шпинделей от центра стола выбрана из условия обеспечения взаимодействия каждого шпинделя с контрольным образцом 11, т. е. так, чтобы алмазные круги 7 - 9 шпинделей 4 - 6 оставляли соответствующие им следы обработки 1, 11, 111 на контрольном образце 1 (фиг. 2). Плоскошлифовальный станок работаетследующим образом.Перед началом работы путем шлифования контрольного образца 11 и замера высоты ступеней 1, 11, 111 на контрольном образце (фиг. 2) шпиндели 4 - 6 настраиваются на снятие заданных припусков, Непосредственно перед шлифовкой пластин контрольный образец 11 с помощью винта 16 и гайки 1, приводимой во вращение пневмоцилиндром 15, поднимается на высоту 0,05 - О,мм от уровня, на котором была закончена настройка шпинделей станка, Г 1 ластипы 3, подлежашие обработке, закрепляются на столе 1 посредством вакуума.Г 1 ри вращении стола 1 пластины 3 последовательно проходят под вращаюшимися алмазными крутами 7 - 9 шпинделей 4 - 6.Гри этом одновременно шлифуется и контрольный образец 11, После того как конт.рольный образец пройдет под всеми шпинделями, а также минует зону отмывки (не показано), он проходит под датчиками 12 - 4 устройств активного контроля. По результатам замера высоты ступеней 1, 11, 111 контрольного образца 11 датчики 12 - 14 подают команду на корректировку высоты расположения алмазных инструментов 7 - 9 шпинделей 4 - 6 над уровнем вакуумных держателей 2.Перед началом каждого последуюшегооборота стола 1 контрольный образец 11 с помощью винта 16 и гайки 17, приводимой во вращение пневмоцилиндром 15, поднимается вверх на 0,050,1 мм,Таким образом, впредлагаемой конструкции станка высота ступеней 1, 11, 111 пид уровнем вакуумных держателей 2 равна толщине оорабатываемых пластин после1093492 Составитель А. КозлоТехред И. ВересТираж 737сударственного комитетаИзобретений и открытЖ - 35, Раушская набтент, г. Ужгород, ул. П едактор Т. Парфенова аказ 3351/12 ВНИИПИ Го по дела 113035, Моска Филиал ППП ПаКорректор А. Тяск ПодписноеССР д.,4/5 ектная снятия с них соответству 1 ощих припусков. При этом замвр величины снимаемых припусков производится не путем замера толщины обрабатываемых пластин непосредст-. венно в зоне обработки, как это имеет место в известном станке, а путем замера соответствующих ступеней контрольного образца, прошедшего зону отмывки. Благодаря этому повышается точность замера, а следовательно, и точность обработки, так как перед замером с поверхности контрольного образца полностью удаляется водно-кремниевая смесь и продукты износа абразивных инструментов: Кроме того, значительно упрощается настройка станка и исключается необходимость в использовании настроечных пластин, что ведет к повышению удобства обслуживания станка в целом. За, счет повышения точности обработки выход годных пластин увеличивается в среднем на 5%.