Устройство для контроля микросварных соединений в процессе контактной сварки

СОЮЗ СОВЕТСКИХеаимпнпавРЕСПУБЛИН ОПИСН А 8 ТО БРЕТЕНИЯедетвъстеи НИЕ МУ 8Куэуб 88. 8)етельство СС 1/24, 1976. ельство СССР 1/24, 977 ержащее сварочльные щупы,ГОСУДАРСТВЕННЬЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЮ(54) (57) 1. УСХЮЙСТВОИИКРОСВАРНЫХ СОЕДИНЕНИЙКОНТАКТНОЙ СВАРКИ, содный электрод, измерите 80.1092021 А В 23 К 1 /1 О; В 23 К 11/24 изолированные от токоподводящих частей электрода, и усилитель, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повывания точности и производительности контроля, измерительные щупы выполнены в виде двух плоских пружин, Р размещенных непосредственно на электроде.2. Устройство по п.1, о т л и ч аю щ е е с я тем, что сварочный электрод выполнен расщепленным, а плоские пружины измерительных щупов расположены на противоположных гранях электрода и выполнены клинообразными.Изобретение относится к контактной сварке и может быть использованопри автоматизации технологическихпроцессов сборки и сварки микроэлектронной аппаратуры, в частностипри изготовлении полупроводниковыхприборов и интегральных микросхем(ИИС),Известно устройство управленияпроцессом микросварки, содержащеесварочный электрод, схему подачии обработки сигналов управлениямикросваркой Г 11,Недостатком этого устройства является то, что оно не обеспечиваетвысокой производительности контролируемого измерения, так как передподачей сварочного инструмента взону соединения необходимо производить подключение к соединяемым элементам (привариваемого вывода и контактной площадке). Токоподводы ксоединяемым элементам не могут бытьрасположены в непосредственной зонемеханической деформации проволокиввиду малых размеров контактных площадок интегральных схем (Б = 100 хх 100 мкм). Подключение к контактной площадке ИМС ухудшает состояниеее поверхности,Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату является устройство для контроля микросварных соединений, содержащее сварочный электрод, измерительные щупы, изолированные от токоподводящих частей электрода, и усилитель 21,Недостаток известного устройства - низкая точность контроля параметров контактной сварки.Цель изобретения - повышениеточности и производительности контроля.Поставленная цель достигаетсятем, что в устройстве для контролямикросварных соединений в процессеконтактной сварки, содержащем сварочный электрод, измерительные щупы,изолированные от токоподводящихчастей электрода, и усилитель, измерительные щупы выполнены в виде двухплоских пружин, размещенных непосредственно на электроде,При этом сварочный электрод выполнен расщепленным, а плоские пружины измерительных щупов расположены на противоположных гранях электрода и выполнены клинообразными, 5 1 О контроля параметров контактной сварки на взаимопротивоположных граняхклина рабочей части расщепленного15сварочного электрода 1 расположеныизмерительные щупы 6, выполненныев виде клинообразных плоских пружин,плотно прилегающих контактирующейчастью 7 к сварочному электроду 1,20причем оси симметрии рабочей частисварочного электрода 1 и измерительных щупов 6 находятся в одной плоскости25Контактирующая часть 7 измерительного щупа 6 имеет Форму сварочногоэлектрода 1 и находится в однойплоскости с торцом его рабочей части,Измерительные щупы 6 изолированыот сварочного электрода 1 диэлектрическим покрытием, например окиснойпленкой металла, и жестко закреплены в Фиксаторе 8, в свою очередь закрепленном на опорном кольце 2 сва 35 рочного электродаУстройство содержит также уси"литель 9, соединенный электрическисо сварочным электродом 1 и измерительными щупами 6,Устройство работает следующим обРазом.В процессе сварки детали 3 (например вывода бескорпусного транзистора) к контактной площадке 4,расположенной на подложке 5, сварочный электрод 1 и измерительные щупыб замыкаются, так как они жесткосвязаны между собой. При этом с помощью измерительных щупов 6 производят измерение параметров сваркинеобходимых для анализа ее качества (разность потенциалов непосредственно в зоне сварки, переходноесопротивление или термоЭДС) и подаютсигналы на усилитель 9,Таким образом, эффект по сравнению с прототипом достигается за счеттого, что установка измерительныхщупов 6 плотно прилегаютими к сва 40 45 50 55 На чертеже схематически представлено предлагаемое устройство.Устройство для контроля микросварных соединений в процессе контактной сварки содержит расщепленный сварочный электрод 1 с опорным кольцом 2 для термокомпрессионной сварки деталей 3 (например вывода бескорпусного транзистора) и контактной площадки 4, расположенной на диэлектрической подложке 5. Для1092021 Составитель А,АноховРедактор С.Лисина Техред И.Асталош Корректор В.Гирняк Заказ 3176/8 Тираж 1037 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Я, Раушская наб., д. 4/5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная,рочному электроду 1 и расположениеих осей в одной плоскости позволяетпроизводить замер параметров непосредственно в зоне сварки (повышаяточность измерения), а выполнение 5измерительных щупов 6 подпружиненными и закрепленными жестко в фиксаторе 8 позволяет использовать устройство при сварке различных материалов и большой номенклатуре свароч О ных электродов, а также производить быструю перезаъочку нх рабочей части, так как фиксатор 8 с измерительными щупами 6 легко снимается с опорного кольца 2 сварочного электрода 1.Устройство позволяет производить контроль микросварных соединений одновременно с процессом контактной сварки.