Электронно-лучевая пушка

,РЕСПУБЛИН 151) В 2 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ Л АВТОРСКОМ У ЕТЕЛ л. Р 9 н С.Н.М 3 (088. 8 свидет В 23 К но льство С 719791,6.03.73. т ЧЕВАЯ ПУШ- оосно уста-.управляюЭЛЕКТРОНН Э-.ЛУащая корпус с в нем анодом,ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРпо делАм изоБРетений и ОтнРытий(56) 1. АвторскоеР 725844, класс26.06.782. Патент США Ркласс В 23 К 15/ОЭ,тип).(54)(57) 1КА, содержновленными ЯО 10777А щим электродом и катодом с токоподводом, расположенным в изолятореи закрепленным прижимным элементом,о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, сцелью повышения качества обработкипутем стабилизации режима работы,она снабжена кольцевым охлаждаемымэкраном, установленным соосно прижимному элементу; а последний выполнентрехслойным из тугоплавких материалов, причем наружные слои - из материала с большой, работой выхода электронов, а средний - из материала смалой работой выхода электронов.1077733 2. Пушкапоп. 1, отличающ а я с я тем, что наружная поверхность среднего слоя прижимного элемента выполнена вогнутой. 1Изобретение относится к оборудованию для электронно-лучевой обработки, в частности электронно-лучевымпушкам,Известна электронно-лучевая пушка, 5содержащая корпус с установленнымв нем анодом, управляющим электродом,катодом с токоподводом и защитныйнагреваемий экран 1 .Недостатком этой пушки являетсяневысокое качество обработки из-зачастых пробоев.Наиболее близкой к изобретениюпо технической сущности и достигае-,мому эффекту является электроннолучевая пушка, содержащая корпусс соосно установленными в нем .анодом, управляющим электродом икатодом с токоцодводом, расположенным с изолятора и закрепленным прижимным элементом 2.Недостатком этой электронно-лучевой пушки является невысокое качество обработки из-за нестабильностирежимов ее работы.Целью изобретения является повышение качества обработки путемстабилизации режима работы пушки.Поставленная цель достигаетсятем, что электронно-лучевая пушка,содержащая корпус с соосно установ- З 0,ленными в нем анодом, управляющимэлектродом и катодом с токоподводом, расположенным в изоляторе изакрепленным прижимным элементом,снабжена кольцевым охлаждаемым экраном, установленным соосно прижимномуэлементу, а последний выполнен трехслойным из тугоплавких материалов,причем наружные слои , из материала:,с большой работой выхода электронов, 40а средний - из материала .с малой работой выхода электронов,Наружная поверхность среднегослоя прижимного элемента может бытьвыполнена вогнутой. 45Наружные слои прижимного элементамогут быть выполнены из тантала,асредний слой - из титана,На чертеже изображена схема электрбнно-лучевой пушки. 50Электронно-лучевая пушка содержиткорпус 1 с соосно установленными внем анодом 2,управляющим электродом3 и катодом 4 стокоподводом .5,рас 3. Пушка, по п. 1, о т л и ч а ющ а я с я тем, что наружные слои прижимного элемента выполнены из тантала,а средний слой - из титана. 1положенным в изоляторе 6 и закрепленным прижимным элементом 7.Пушка снабжена также кольцевым охлаждаемым экраном 8, установленным соосно прижимному элементу 7, который выполнен трехслойным из тугоплавких материалов, причем наружные слои 9 и 10 - из материала с большой работой выхода электронов, а средний 11 - из материала с малой работой выхода электронов,Наружная поверхность 12 среднегослоя 11 прижимного элемента 7 можетбыть выполнена вогнутой. Наружныеслои 9 и 10 прижимного элемента 7могут быть выполнены из тантала, асредний слой 11 - из титана. Электронно-лучевая пушка работает следующим образом,Через токоподвод 5 и электрический ввод 13 подают рабочее напряжение на катод 4. С разогретого катода 4 благодаря разнОсти потеициалов между катодом 4, анодом 2 и управлякщим электродом 3 эмиттируется поток электронов, воздействующий на изделие. При этом токоподвод 5 и его прижимной элемент 7 нагреваются до температуры 1500-1700 С. Химически активный средний слой 11 благодаря высокой температуре и вакууму, поддерживае" мому в корПусе 1 пушки, начинает испускать частицы, которые под действием градиента температур устремляются к охлаждаемой поверхности экрана 8.На своем пути частицы химически активного металла захватывают частицы металла и газа, находящиеся в корпусе 1. При попадении частицы химически активного металла на поверхность экрана 8 происходит замуровывание захваченных частиц слоем химически активного металла. Благодаря этому из зоны прожектора 14 постоянно во время его работы интенсивно отводятся все газовые и парообразные металлические составляющие, что обеспечивает надежную защиту катода 4 и всех элементов. конструкции пушки от вреднего влияния газовых и металлических частиц, попадающих из боны обработки в зону прожектора 14.1077733 Составитель В.МельниковРедактор Л.Повхан Техред О.Неце Корректор А.Повх Заказ 829/8 Тираж 1037 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4/5филиал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная,.4 Электронно-лучевая пушка по сравнению с базовым объектом, являюцимся прототипом, позволяет обеспечить стабильный режим работы н высокое качество обработки.