Электродуговой испаритель проводящих материалов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 1075751 53)1 С 23 С 1 ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН К АВ Ко лаз тель, катоящих ющий ОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) Дороднов А.М. "Промышленньменные установки", М., 1976: с.39.Авторское свидетельство СССРМ 368807,кл. С 23 С 13/12, 1970.Авторское свидетельство СССРМ 268122, кл. С 23 С 13/08, 1968. Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может применяться в радиоэлектронной промышленностидля нанесения многокомпонентных покрытий, в машиностроении для нанесения износостойких и других защитных покрытий,Известен электродуговай испарительпроводящих материалов, содержащий расходуемый катод, анод и источник электропитания, в котором нагрев и испарениематериала анода осуществляется за счет использования энерговыделения вакуумногодугового разряда.Недостатком известного испарителя является невозможность получения многокомпонентных покрытий,Известен электродуговой испарисодержащий несколько расходуемыхдов, выполненных из материалов. входв состав покрытия, анод, поджигаэлектрод и источник электропитания.(54)(57) ЗЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ПРОВОДЯЩИХ МАТЕРИАЛОВ, содержащий расходуемый катод иэ испаряемого материала, анод-камеру, поджигающий электрод и источник электропитания, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей испарителя, он снабжен электроизолированными тиглями, размещенными в аноде-камере, и дополнительными источниками электропитания, положительный полюс которых подключен к тиглям, а отрицательный - к аноду-камере. Недостатком известного испарителя является трудность доэирования расхода отдельных компонентов покрытия, т,к. дуговой разряд в вакууме ниже определенных значений критического тока горит нестабильно. С)Наиболее близким по технической сущности к изобретению является электродуго- (Я вой испаритель металлов, содержащий срасходуемый катод из испаряемого матери- у ала, поджигающий электрод и анод, выполненный в виде металлической оболочки, охватывающей рабочую поверхность катода и служащей одновременно вакуумной камеНедостатком указанного испарителя является ограниченность круга испаряемых материалов, т,к. испарение ряда материалов вакуумной дугой сопряжено со значительными трудностями, обусловленное нестабильностью разряда, определяемоетеплофизическими свойствами материала расходуемого катода.Цепью изобретения является расширение технологических возможностей испарителя.Поставленная цель достигается тем, что электродуговой испаритель проводящих материалов, содержащий расходуемый катод из испаряемого материала, анод-камеру, поджигающий электрод и источник электропитания, снабжен электроизолированными тиглями, размещенными в аноде- камере, и дополнительными источниками электропитания, положительный полюс которых подключен к тиглям, а отрицательный - к аноду-камере.Конструкция испарителя поясняется чертежом.Электродуговой испаритель состоит из расходуемого катода 1, выполненного из испаряемого материала, анода-камеры 2, поджигающего электрода 3 и источника электропитания 4. Испаритель снабжен злектроизолированными тиглями 5, размещенными в камере-аноде 2, каждый иэ которых подключен к положительным полюсам дополнительных источников электропитания 6, отрицательные полюса которых подключены к камере. В камере 2 также размещено обрабатываемое иэделие 7,Устройство работает следующим образом, При контакте подвигающего электрода 3 с катодом 1 и наличии напряжения источника электропитания 4, между расходуемым катодом 1 и анодом-камерой 2 инициируется вакуумный дуговой разряд, Материал катода испаряется, причем скорость испарения задается током дуги. При отсутствии потенциала на тиглях 5 эмиттируемые катодом электроны 8 плазменного потока по 5 кратчайшим траекториямдостигают стеноканода-камеры 2 и замыкают цепь источника питания 4. При подаче от дополнительных источников питания 6 на тигли 5 потенциала порядка 400 - 500 В создается электрическое 10 поле, под действием которого часть электронного потока 9 устремляется к тиглям 5.Выделяющаяся при электронной бомбардировке тиглей энергия разогревает и испаряет материал тиглей 5, Ионизация 15 нейтральных атомов 10 испаренного вещества встречным электронным потоком приводит к возникновению большого числа ионов и вторичных электронов, которые, ускоряясь в электрическом поле, бомбардиру ют испаряемое вещество, интенсифицируяпроцесс испарения. Требуемый режим испарения вещества из анодов тиглей устанавливается по току в цепи индивидуальных источников питания 6,35Потоки материалов, испаренных с поверхности катода и анодов-испарителей, конденсируясь на иэделии 7, образуют пленку, состав которой определяется мате риалом расходуемог. катода и материалами, находящимися в тиглях 5, что значительно расширяет технологические возможности испарителя, а именно, позволяет получать многокомпонентные покрытия из материа лов, испарение которых вакуумной дугойсвязано со значительными трудностями.Тираж Подписноеударственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ ССС 113035. Москва, Ж, Раувская.наб., 475
СмотретьЗаявка
3471175, 19.07.1982
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6762
СТРИЖКОВ А. Г, МАТРОСОВ Б. М, КОДЫКОВ Л. В
МПК / Метки
МПК: C23C 14/36
Метки: испаритель, проводящих, электродуговой
Опубликовано: 30.10.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/3-1075751-ehlektrodugovojj-isparitel-provodyashhikh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Электродуговой испаритель проводящих материалов</a>
Предыдущий патент: Способ генерации кумулятивной плазменной струи и устройство для его осуществления.
Следующий патент: Преобразователь интенсивности света в частоту
Случайный патент: Аппарат для определения расхода жидкого горючего