Рамка для нанесения покрытий на катоды

(23) 2855028/18-251 ев 122) Заявлено 18, 1 Кл.139 кем заявив спрк 12 ЦИР вв дами взюбретене н открытий(088.8, Дата опубдикованкя оаксаккя 30.08.81 72) Автор нзобрете В. Н, Суворов и А. С. Строга 71) Заявкте 54) РАМКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ НЬ КАТО ичие зазооляет вест риза зами рытия обеих лицевых тся поочеред180 , что та м ч Изобретение относится к электрова- куумному производству, в частности изготовлению оксидных катодов.Известны рамки для нанесения оксидных покрытий иа катоды методом пульве ции, содержащие основание с па для катодов и крышку, Основание и крышка имеют окна, высота которых соответствует размеру наносимого пок . В таких рамках при установке катодов в пазы между ними образуются3 зазоры и покрытие наносится на лицевые и боковые поверхности катодов 1Недостатком указанных устройств яв" ляется запыление боковых поверхностейФ катодов, Для получения покрытия толь" ко на лицевых поверхностях необходимо после выгрузки катодов из рамки считать слой покрытия с боковых поверю ностей вручйую лезвием, что снимает30 производительность труда. Кроме того, покрытие сторон катодов производи но при поворотерамки на кже снижает про" изводительность труда. Нал ров между катодами не поэв н покрытие с двух сторон одновременно, так как струи пульверизаторов оказывают влияние друг на друга и это при" водит к неравномерности покрытия, т,е. скижетвтю его качества.Наиболее :близкой по технической сущности и достигаемому результату к предлагаемой является рамка для канесетвтя покрытий на катоды, содержая 1 ая основание, установленные на нем крыаку и оправкВ для катодов, механизм пе.ремещения н поворота оправок и маску 2).Однако в известном устройстве между стенками катодов и стенками окон маски неизбежно наличие значительных зазоров, причем величине этюс зазоровт, различна, так как прорези в направляющем и подвижном кольцах н окна в мас ке должны быть согласованы по углово-у шагу с большой степенью точности, то трудновыполнимо. К увеличению от860167 клонений по шагу согласуемых деталей приводят и дополнительные движущиеся детали, обеспечивающие поворот справок для катодов на 180 . При покрытииокатодов на известном устройстве при 5 наличии даже малых зазоров между маской и катодами неизбежно попадание частиц оксида на боковые поверхности катодов, так как давление струи пульверизатора 4-6 атм, а давление струи 10 воздуха до 1 атм. Операция очистки боковых поверхностей катодов после выгрузки вручную лезвием снижает производительность труда. Кроме того, известная рамка не позволяет производить 15 покрытие катодов одновременно с двух сторон. После нанесения покрытия на одну сторону катодов поворот оправок с катодами на 80 для покрытия другой стороны требует много вспомогательных операций: снятие крышки, перемещение оправок с катодами в положение загрузки, поворот оправок на 180 О, аеремеще - ние справок в рабочее положение, установка крышки, что занимает много времени, т. е, снижает производительность труда, Недостатком рамки являетсл и трудоемкая операция очистки оксидного покрытия со стенок, имеющих фаски, множества узких окон маски, а30 также ее цилиндрической поверхности после каждых четырех циклов покрытия, что также приводит к снижению производительности труда, Для надежной защиты боковых поверхностей катодов давление струн воздуха должно превышать дав-З 5 ление струи пульверизатора, но в этом случае взаимодействие встречных струй приведет к неравномерности покрытия, что снижает его качество. Для нанесения покрытия на катоды рамки приводят" ся ва вращение и струя пульверизатора покрывает оксидным,слоем всю наружную поверхность маски и катоды в ее окнах. Зазоры между стенками катодов и стенками окон маски вследствие различной 45 их величины в некоторых местах не превышают толщины покрытия, и слой нанесенного покрытия будет сплошным. При перемещении катода из рабочего положения, в положение загрузки происходит 5 О разрушение этого слоя (срезание,усилием, направленным перпендикулярно толщине слоя), приводящее к сколам покры тия что также снижает его качество. 55Цель изобретения - повышение произ. водительности труда и качества покрытия,Для достижения указанной цели рамка для нанесения покрь.тий на катоды, содержащая основание, установленные на нем крышку и оправки для катодов, механизм перемещения и поворота онравок и маску, рамка имеет уплотнения, размещенные между ,оправками и установленные вместе с ними на одной оси с возможностью поворота и продольного перемещения и образующие с крышкой и основанием маску.Введение уплотнений между оправками для катодов и посадка их на одной оси с ними с возможностью поворота и продольного перемещения исключает зазоры между катодами в рабочем положении, что обеспечивает надежную защиту боковых поверхностей катодов от напыпения и исключает необходимость их ручной очистки, т. е, повышает производительность труда, Отсутствие зазоров между катодами позволяет производить покрытие катодов с двух сторон одновременно, так как струи пульверизаторов не оказывают влияния друг на друга, что также повышает производительность труда, Операция очистки оксидного покрытия с поверхностей уплотнений, расположенных на одной плоскости, не является трудоемкой, что также приводит к повышению производительности труда, Кроме того, введение уплотнений, размещенных между оправками для катодов и посаженных на о одной оси с ними с возможностью поворота и продольного переме 1 иения повышает качество покрытия, так как отсутствие зазоров между катодами в рабочем положении исключает влияние струй пульверизаторов друг на друга и позволяет наносить на катоды равномерное покрытие. Повысить качество покрытия позволяет и свободная установка на оси оправок с катодами и уплотнений с возможностью их продольного перемещения, так как после окончания процесса покрытия при продольном перемещении оправок с покрытыми катодами и уплотнений происходит разрыв оксидного слоя между ними усилием, направленным параллельно слою покрытия и при выгрузке катодов из устройства не происходит нарушения слоя покрытия катодов.На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - узелна фиг. 1; на фиг, 3 " разрез А-А на фиг, 2; на фиг. 4 - разрез Б-Б на фиг. 1; на фиг, 5 - разрез В-В на фиг, 1; на фиг. 6 - узел 11 на фиг. 4,860167 Формула изобретения Рамка для покрытия катодов содержит основание 1 с фиксирующими штифтами 2 и крышкой 3, в котором разм".щен механизм (не .обозначен) перемещения н поворота оправок и закреплены пластина 4 и ось 5. Крышка 3 имее"." окно Ь, соответствующее по высоте размерам наносимого покрытияМеханизм перемещения и поворота оправок может быть выполнен в виде эксцентрика 7, установленного 1 О на оси 8, и толкателя 9 с упором 10. Один конец толкателя 9 размещен в пазу 11 основания 1, а другой - на оси 5, Уплотнения 1 не обозначены) размещены между оправками для катодов 12 и 1 э посажены вместе с ними на ось 5 воз-. можностью поворота и продольного перемещения. Оправка состоит из спицы 13 и втулки 14 (фиг. 2), закрепленных в гнезде 15. Гнезда 15 связаны общей осью 16. Концы спиц 13 входят под крыш ку 3. Уплотнение может быть выполнено в виде эластичной трубки 17 (фиг. 2 и 3), посаженной на спицу 18, которая закреплена в гнезде 19, установленномна втулке 14, Концы спиц 18 входят в паз 20 (фиг. 4) пластины 4. Основание 1 и крышка 3 имеют уплотняющие кромки 21-24, которыми они примыкают к лицевой поверхности уплотнений и обра".уют" с последними маску. Уплотняющие кромки 21-24 выполнены в виде ножей с толщиной кромки 0,2-0,3 мм. В собранном виде зазор 25 (фиг, 6 )между уплотняющими кромками 21-24 и уплотнениямиВ а также этими кромками и катодами 12 составляет 0,01-0,015 мм, что достаточно для экранировки покрываемых лицевых поверхностей .катодов (допустимое подпыление лицевых поверхностей не40 более 0,5 мм) и перемещения онравок с катодами и уплотнений в продольном направлении. Так как толщина уплотнений превышает толщину катодов, для получения указанного зазора 25 между уплотнениями и уплотняющими кромками45 21-24 на лицевых поверхностях эластичных трубок 17 в местах прилегания к ,ним уплотняющих кромок сделаны прорези 26. Длина эластичной трубки 17 равна длине катода 12 и полностью эк- фф ранирует его боковые поверхности, так как попадание частиц покрытия на них недопустимо по всей длине. Для защиты вращающихся частей рамки от покрытия служит кожух 27 (фиг. 5). Основание, 55 как и крышка, имеет окно 28. Устройство работает следующим образом. При снятом кожухе 27 и крышке Эось 16 с оправками для катодов 12 поворачивают в положение загрузки на190-100 )и устанавливают катоды 2 .наспицы 13. По окончании загрузки ось16 с оправками для катодов 12 перемещают в рабочее положение, при этом катоды 12 размещаются между уплотнениями на основании 1. Устанавливают крышку 3 на фиксирующие штифты 2, закрепляют ее любым известным способом, иэксцентриком 7 перемещают толкатель9 в правое положение, при этом катоды12 плотно прилегают к уплотнениям,затем устанавливают кожух 27, Далеепроизводят покрытие катодов иэ пульверизаторов одновременно с двух сторон. Снимают кожух 27, крышку 3, эксцентриком 7 освобождают катоды 12 иэа упор 10 перемещают толка;ель 9 влевое крайнее положение, Выводят катоды 12 нз соприкосновения с уплотнениями, поворачивают ось 1 Ь с оправкамидля катодов 12 в положение выгрузкии выгружают одновременно все катодысо спиц 13, Затем цикл повторяется,Использование предлагаемого изоб,оетения позволяет повысить надежностьэкранировки непокрываемых поверхностейкатодов и вести покрытие катодов одновременно с двух сторон, что повышаетпроизводительность труда,Установка оправок с катодами и уплотнений на ось с возможностью поворота и продольного перемещения позволяет не нарушать слой покрытия при их вы" грузке кэ рамки и тем самым повышает качество покрытия. Сокращается и время очистки рамки от покрытия за счет того, что все запыленные поверхности лежат в одной плоскости, что повышает производительность труда. Предлагаемая конструкция позволяет механизировать операцию разгрузки и укладки в кассеты покрытых катодов, т. е. повысить производительность труда на последующих операциях. Кроме того, упрощается конструкция рамки по сравнению с известной, в которой предъявляется большая точность к изготовлению окон хаски и радиальных пазов для гнезд катодов. Рамка для нанесения покрытий на катоды, содержащая основание, установленные на нем крышку и оправки длякатодов, механизм перемещения и поворота оправок и маску, о т л и ч а -ю щ а я с я тем, что, с целью повышения производительности труда и качества покрытия, рамка имеет уплотнения, размещенные между оправками иустановленные вместе с ними на однойоси с возможностью поворота и продольного перемещения и образующие с крышкой и основанием маску. Источники информации,принятые во внимание при экспертизеИориш А. Е. и др. Основы техно 5 логии производства электровакуумиыхприборов. И.-Л., Госэнергоиздат, 1961,с, 169-170.2. Авторское свидетельство СССРУ 370675, кл, Н 01 У 9(06, 1970 прототип),/5 тент", г, Ужгород, ул. Проект илиал П УЗелОИ Тираж 784 Подни ВНИИПИ Государственного комит по делам изобретений и отк 3035, Москва, Ж, Раушская