Пленочный резистор

(51) Н 01 С 7/00 17 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН РСНОМ ТЕЛЬСТ К(54)( жащий после реэис мы с дящей щей в ные п содеру сна ней фор- прово- диняю- акт- над ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ7) ПЛЕНОЧНЫЙ РЕЗИСТОР, диэлектрическую подлож овательно раэмещенньв)и ивным элементом кругло одгоночным элементом и пленочной спиралью, со утреннюю и внешнюю кон ощадки и расположенной подгоночным элементом, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельповышения точности и расширениядиапаэона регулирования сопротивлния резистора, проводящая пленочнспираль выполнена в виде двустороней гребенки, а подгоночный элемент - в виде сплошной подгоночноканавки, ширина которой меньше ширины проводящей пленочной спиралив эонах выступов двусторонней гребенки и больше ширины проводящейпленочной спирали в эонах впадиндвусторонней гребенки, при этомвыступы двусторонней гребенки напротивоположных сторонах пленочнопроводящей спирали смещены одинотносительно другого на величину,равную половине шага гребенки.Изобретение относится к измерительной .технике и может быть использовано при изготовлении гибридныхинтегральных микросхем повышеннойточности,Известен пленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку, с размещенным на ней резистивнымэлементом в форме замкнутой петли,имеющим кольцеобразную внешнюю икруглую внутреннюю контактные площадки 1 3,Недостаток пленочного резисторанеудовлетворительная точность придискретной подгонке и незначительный диапазон регулирования сопротивления.Наиболее близким по техническойсущности к предлагаемому являетсяпленочный резистор, содержащий диэлектрическую подложку с последовательно размещенными на ней резистивным элементом круглой формы с подгоночными элементом и проводящейпленочной, спиралью, соединяющейвнешнюю и внутреннюю контактные площадки и расположенную над подгоночным элементом 2 ),Недостатком известного пленочного резистора является невысокаяточность сопротивления при дискретной подгонке вследствие того, чтосмежные подгоночные отверстия, определяющие изменение величины сопротивления за один шаг процесса подгонки, а следовательно, и ее точность, расположены на значительномрасстоянии друг относительно друга.Данное расстояние определяется конструктивной необходимостью превышения диаметра подгоночного отверстиянад шириной планочной проводящеиспирали, а также разрешающей способностью процесса формированияэлементов пленочного резистора,Цель изобретения - повышение точности и расширение диапазона регулирования сопротивления резистора.Поставленная цель достигается.сем, что в пленочном резисторе, содержащем диэлектрическую подложкус последовательно размещенными наней реэистивным элементом круглойформы с подгоночным элементом и проводящей пленочной спиралью, соединяющей внешнюю и внутреннюю контактные площадки и расположенную надподгоночным элементом, пленочнаяпроводящая спираль выполнена в видедвусторонней гребенки, а подгоночный элемент - в виде сплошной подгоночной канавки, ширина которойменьше ширины проводящей пленочнойспирали в зонах выступов двусторонней гребенки и больше ширины проводящей пленочной спирали в зонахвпадин двусторонней гребенки, приэтом выступы двусторонней гребенки на противоположных сторонах пленочной проводящей спирали смещены друготносительно друга на величину,равную половине шага гребенки,На фиг. 1 изображен пленочный ре 5эистор, на фиг. 2 и 3 - фрагментыЮтонкопленочного резистора,Диэлектрическая подложка 1 служит для размещения на ней пленочныхэлементов, Внутренняя контактная10 площадка 2 выполнена в форме круга., расположена в центре диэлектрической подложки 1 и размещенаконцентрически по отношению к внешней контактной площадке 3, котораяосуществляет коммутацию пленочногорезистора с другими элементамимикросхемы при помощи навесной перемычки, Резистивный элемент 4 круглой формы, размеры и материал которого определяют сопротивление пленочного резистора, расположен между внешней 3 и внутренней 2 контакт.ными площадками. Проводящая пленочная спираль 5, выполненная изпроводящего материала в форме двусторонней гребенки с шагом С (расстояние между смежными выступами),соединяет внешнюю 3 и внутреннюю 2контактные площадки и предназначена30для дискретной подгонки сопротивления пленочного резистора. Под проводящей пленочной спиралью 5 расположена сплошная подгоночная канавкаб, ширина которой меньше шириныпроводящей пленочной спирали в зо 35 нах выступов и больше ширины проводящей пленочной спирали в зонахвпадин межцу выступами двусторонней гребенки, Благодаря этому выступы двусторонней гребенки частич 4 О но соприкасаются с резистивньм элементом 4 и соединяют между собойего участки, расположенные по противоположным сторонам проводящейпленочной спирали 5.Подгонка пленочного резистораосуществляется вначале полным перерезанием проводящей пленочной спирали 5 на одном из участков и затем последовательным перерезаниемв зонах над подгоночной канавкойвыступов двусторонней гребенки проводящей пленочной спирали 5 посредством электронного луча, лазера или электроэррозионного процесса.При этом сопротивление резистораувеличивается в большей или меньшей степени в зависимости от последовательности перерезания выступовдвусторонней гребенки проводящейпленочной спирали. Максимальная60 точность подгонки обеспечиваетсяпри последовательном перерезаниипо одному высту,.у двухступенчатойгребенки с каждой иэ противоположных пленочной проводящей спирали65 5, на которых выступы смещены друг1051590 Я т РР Составитель Т. Цекинаактор А. Курах Техред Т.фанта Корректо ят 03 Подписого комитета СССРний и открытийаушская наб., д, 4/ 677/51 Тираж ВНИИПИ Государствепо делам изобре .035, Москва, Ж,Зака Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 зотносительно друга на величину,равную половине шага гребенки,Для проводящей пленочной спирали 5, выполненной в виде симметричной двусторонней гребенки(фиг, 2), при значении разрешающей способности (ширине выступа100 мкм, шаге гребенки С 200 мкм),т,е, при перерезании одного выступа проводящей пленочной спирали 5расстояние между внешней 3 и внутренней 2 контактными площадками(электрическая длина резистора)изменяется на 200 мкм, т,е, точность подгонки в 2 раза выше, чему прототипа. Для проводящей пленочной спирали, выполненной в видедвусторонней гребенки (фиг, 3),выступы на противоположных сторонах которой смещены друг относитель.но друга на величину, равную половине шага гребенки, т,е. на100 мкм, при перерезании одного выступа электрическая длина резистораизменяется на 100 мкм, что даетточность подгонки в 4 раза вышепо сравнению с прототипом,При наличии сплошной подгоночной канавки 6 сопротивление пленочного резистора определяют выражениемде К - сопротивление квадрата материала резистивной пленки,ф0 - э лек триче ск а я длина ре з истора, т.е. кратчайшее расстояние между внешней 3 ивнутренней 2 контактнымиплощадками;Ь - ширина пленочного резистора, т.е, расстояние междусмежными витками подгоночной канавки б.Таким образом, в результате увеличения величины Кпри неизменном значении К,; повышается отно шение К, - /к, а следовательно, расширяется и диапазон регулирования сопротивления пленочногорезистора,Процесс регулирования сопротивщ ления пленочного резистора является обратимым, т,е, позволяет изменять сопротивление не только всторону увеличения, но и в сторонуего уменьшения путем шунтирования р 5 навесной перемычкой центральнойчасти проводящей пленочной спирали5 и отрезанной части выступа двусторонней гребенки, контактирующейс резистивным элементом 4.Использование изобретения позволяет увеличить точность пленочного резистора в 2-4 раза и расширить диапазон регулирования его соп.ротивления