Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 5 С 47 00 ЕТЕНИЯ ИСАНИ ТОР СКОМУ ЕТЕЛЪСТВУ тельство ССС РТНЭИЦИЮновагибаюриания ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(56) 1. Авторское свидепо заявке Р 3303717/ОЗкл. В 65 6 47/00, 1981.2. Авторское свидетельство СССРпо заявке 9 2889715/28,кл.б 01 В 5/00, 1979 (прототип),(54)(57)УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРОВАНИЯ И ПОДАЧИ НА РАБОЧУЮ НОПЛОСКИХ ДЕТАЛЕЙ, включающее осние, транспортирующие шнуры, ощие ведомые и ведущие шкивы, ивод и механизм подъема и опуск ЯО 1046177 А транспортирующих шнуров, о т л и -.ч а ю щ е е с я тем, что, с цельюрасширения технологических воэможностей устройства, ведомый и ведущишкив каждого транспортирующего шнурсоединены между собой посредствомпланки, при этом транспортирующиешнуры имеют механизм раздвижения,выполненный в виде смонтированнойна основании приводной шестерни ивзаимодействующих с ней цилиндрических реек, каждая иэ которыхжестко связана с одной из планок иустановлена на основании посредствомцилиндрической направляющей с возможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположеныв горизонтальной плоскости перпенди"кулярно планкам,Устройство для Транспортированияи подачи на рабочую позицию плоскихдеталей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4ролики, попарно соединенные междусобой планками 5 и б и сгибаемыетранспортирующими шнурами 7 и 8,смонтированные на основании цилиндрические направляющие 9 и 10, механизм раздвижения в виде. цилиндрических зубчатых реек 11 и 12, электропривода 13 и закрепленной на еговалу шестерни 14, входящей в зацепление с цилиндрическими зубчатымирейками, механизм подъема и опускания в виде эксцентрика 15 с приводом16 и привод транспортирующих шнуров,содержащий. электропривод 17, натяжные ролики 18, приводной ремень 19.Планка 5 посредством кронштейна 20жестко соединена с цилиндрическойзубчатой рейкой 11. Планка б посредством кронштейна 21 жестко соединена с цилиндрической зубчатойрейкой 12. Эксцентрик 15 установленс возможностью взаимодействия с ведомыми роликами 3. Цилиндрическиенаправляющие 9 и 10 расположены вгоризонтальной. плоскости перпенди-кулярно планкам 5 и б,Устройство для транспортированияи подачи изделий на рабочую позициюработает следующим образом,В исходном положении эксцентрик 15обращен своим наибольшим радиусом 35 40 45 50 5560 65 мым роликам 3, при этом транспортирующие шнуры 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2. В исходном положении расстояние между внутренними ветвями транспортирующих шну - ров несколькоменьше соответствующего габаритного размера транспортирующего изделия, Изделие, например полупроводниковая пластина или заготбвка фотошаблона из кассеты( не показана загружается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения с рабочей позицией 2, представляющей собой, например ротор центрифуги, При совмещении иэделия с позицией обработки электро- привод 17 отключают и включают привод 16. При этом эксцентрик 15 поо ворачивается вокрг своей оси на 180 вследствие чего планки 5 и б поворачиваются вокруг соответствующих осей направляющих 9 и 10, транспортирующие шнуры 7 и 8 опускаются ниже плоскости рабочей позиции 2 и обрабатываемое изделие устанавливается на рабочую позицию. В этом положении включают привод 13. Шестерня 14, по-. ворачиваясь вокруг своей оси, перемещает цилиндрические зубчатые рейки 11 и 12, по направляющим 9 и 10 во взаимно противоположных направлениях. При этом закрепленные на Изобретение относится к транспортирующим устройствам и может бытьиспользовано, в частности, в полупроводниковом производстве для подачиполупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки. 5Известно устройство для транспортирования и подачи на рабочуюпозицию плоских деталей, включающееоснование, транспортирующие шнуры,огибающие ведомые и ведущие шкивы, 10привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров 1 .Недостатком данного устройстваявляется передача изделий одних типоразмеров и подача их только на 15рабочую позицию, расположенную выше транспортирующих шнуров.Известно устройство для транс. -портирования и подачи на рабочую поз.ицию плоских деталей, включающее.основание, транспортирующие шнуры,огибающие ведомые и ведущие шкивы,привод и механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров 2.Недостатком данного устройстваявляется передача изделий одних ти;.поразмеров с незначительным их подьемом и опусканием, чтоснижает технологические возможности устройствапри передаче деталей разных размерови расположении рабочей позиции нади под транспортирующими шнурами назначительных расстояниях. При этомтранспортирующие шнуры препятствуют .процессу обработки полупроводниковых ф(относительно оси вращения) к ведопластин и фотошаблонов, например вцентрифугах или в ванных за счет ихрасположения в этих зонах.Цель изобретения - расширениетехнологических возможностей устройства,Указанная цель достигается тем,что в устройстве для транспортирования и подачи на рабочую позициюплоских деталей, включающем основание, транспортирующие шнуры, огибающие ведомые и ведущие шкивы, приводи механизм подъема и опускания транспортирующих шнуров, ведомый и ведущий шкив каждого транспортирующегошнура соединены между собой посредством планки, при этом транспортирующие шнуры имеют механизм раздвижения, выполненный в виде смонтированной на основании приводной шестерни и взаимодействующих с ней цилиндрических реек., каждая из,которыхжестко связана с одной из планоки установлена на основании посредством цилиндрической направляющейс воэможностью поворота, причем цилиндрические направляющие расположены в горизонтальной плоскости перпендикулярно планкам.На фиг,1 изображено устройство,общий вид; на фиг.2 - разрез А-А нафиг.1.орректор.А. Зимокосо Подпи комитета СС и открытийшская наб.,ал ОПП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная рейках 11 и 12 планки 5 и б вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 роликами и транспортирующими шнурами 7 и 8 раздвигаются и транспортирующие шнуры 7 и 8 выходят из эоны обработки, После этого рабочая позиция 2 накрывается специальным колпаком( не показан), под которым производится технологическая операция, например, нанесение слоя фоторезиста на подложку или ее отмывка. По истечении определенного времени колпак снимают и включают привод 13. Шестерня 14, поворачиваясь вокруг своей осиперемещает рейки 11 и 12 с закрепленными на них планками 5 и б и транспортирующими шнурами 7 и 8 навстречу друг другу. При этом транспортирующие шнуры 7 и 8, сближаясь, оказываются под обрабатываемым изделием. После .этого включают привод 16 поворота эксцентрика 15. Эксцентрик 15 поворачивается на 180 , при этомотранспортирующие шнуры 7 и 8 поднимаются с обрабатываемым изделием с рабочей позиции. Затем включают привод 17, который через приводной ремень 19 приводит в движение транспортирующие шнуры 7 и 8. При этом обрабатываемое изделие подается в каэ 7639/19 Тираж 949 ВНИИПИ Государственного по делам изобретени 113035, Москва, Ж, РауФприемную кассету, а очередное иэцелие из подающей кассеты поступает на транспортирующие шнуры (кассеты не показаны), Цикл повторяется. Переналадка устройства на другие типо размеры изделий при сохранении тойже оси транспортирования изделий осуществляется путем установки в исходном положении необходимого расстояния между транспортирующими шнура ми, что достигается поворотом шестерни 14 на определенный угол приводом 13. Предлагаемая конструкция устройства для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей позволяет осуществлять в автоматичес-. ком режиме загрузку иэделий на. рабо. чую позицию, расположенную как над транспортирующими шнурами, так и под ними, что делает его универсальным, пригодным для использования в различном технологическом оборудовании. Быстрая переналадка устройства на различные типоразмеры транспортируемых изделий позволяет испольэовать оборудование, оснащенное предлагаемым устройством для обработки большой номенклатуры изДелий,