Электрохимический управляемый резистор

9/2 Н й НИЕ ИЗОБРЕТЕНИ жидким злект щенньми в н и резистнвн в виде посло рнческую под тантала, ине активного сл о т л и ч а с целью пов метров регул резистора, р держит проме женный между сло ям и и вып раствора пла 9 30С.А. Овчинников идетельство СССР 54/04 16,12,66етелвство СССР 9/22, 07.04.78 ЕСКНЙ УПРАВЛЯЕ-ащий заполненный 2 ДАРственнЮ нОмитетделам изоьщтений и ТОМСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(прототип) . 54) (57) ЭЛЕКТРОКИМИЫИ РЕЗИСТОР, соде ролнтом,корпус с разме= ем управляющим электродом ьи электродом, выполненньи йно нанесенных на диэлек ложку адгезионного слоя ртного слоя платины и оя на основе серебра, ю щ и й с я тем что, ышения стабильности параирования и надежности езистивный электрод сожуточный слой, располоактивньи и инертным олненный в виде твердого тина - серебро.Изобретение относится к хемотронике, а именно к конструкции электрохимического управляемого резистора.Известен управляемый электрохимический резистор, выполненный в видеразмещенных в корпусе с электролитомуправляющего электрода и резистйвного электрода. Резистивный электродвыполнен вакуумным послойным. напылением металлов на диэлектрическуюподложку и состоит из двух основныхчастей: инертной и активной. Активнаячасть резистора изменяет свои свойства в процессе работы резистора. Вкачестве инертной части резистивногоэлектрода -применяются плерки благородных металлов 11.Однако из-за низкой адгезии пленокблагородных металлов, полученныхвакуумным напылением, к диэлектрической подложке (стекду, керамикеи т.п.) .такой резистор имеет ограниченную надежность.Известен также электрохимическийуправляемый резистор, в котором резистивный электрод выполнен в видепослойно нанесенных слоев тантала,слоя платины (образующего ийертнуючасть электрода).и слоя серебра(образующего регулируемую по сопротивлению активную часть электрода) .Использование дополнительного слоятантала обеспечивает высокую адгезию к подложке резистивного электрода 2 1,Однако при многократном изменениивеличины активной части электрода З 5происходит изменение параметров регулирования и общее снижение ресурсной надежности, что однозначно связано со степенью и глубиной связина границе инертной и активной части 40электрода. При слабой связи активного и инертного слоя происходит нарушение контакта на их границе, что ."вызывает изменение пределов регулирования и резкое снижение ресурса. Прибольшой глубйне связи возрастает Нелинейность и нестабильность верхнегопредела регулирования резистора.Бель изобретения - повышениестабильности параметров регулированияи ресурсной надежности управляемыхрезисторов.Поставленная цель достигается. тем, что в электрохимическом управляемом резисторе, содержащем корпус,заполненный жидким электролитомс размещенньм в нем управляющимэлектродом и пленочным резистивиьиэлектродом, выполненным в виде послойно нанесенных на диэлектрическуюподложку адгезионного слоя тантала,инертного слоя платины и активйогослоя серебра, введен промежуточныйслой, состоящий из твердого раствора платина-серебро и расположенныймежду активным и инертным слоем.На фиг,1 схематически показана .конструкция предлагаемого электромхимического управляемого резисторана фиг.2 - резистивный электрод.Резистор представляет собой герметичный корпус 1, заполненный электролитом 2, в которам находятся управляющий серебряный электрод 3 ипленочный многослоййый резистивныйэлектрод 4 на диэлектрической под-ложке 5 с токовыводами б. Резистив-.ный электрод 4 состоит из напиленныхна диэлектрическую подложку 5 слоевтантала 7, платины 8, промежуточногослоя 9 (твердый раствор платина-серебро переменного состава) и слоясеребра 10,При прохождении электрического тока управления через электролит проис:ходит окисление или восстановление слоя активного вещества резистивного электрода 4 и соответствующие этим процессам увеличение или уменьшение его сопротивления, являющегося основньм параметром регулирования управляемого резистора, Окисление до верхнего предела регулирования по сопротивлению заканчивается внутри промежуточноао слоя 9 на глубине, пропорциональной приложенному напряжению в схеме управления.Таким образом, в промежуточном слое 9 всегда. имеется некоторое ко" личество активного. вещества, обеспе чивающее равномерную кристаллизацию его на последующих стадиях восстановления и, следовательно, воспроизводимость параметров регулирования по сопротивлению,управляемые резисторы, выполненные по предлагаемому изобретению, характеризуются высокой обратимостью параметров регулирования при длительном циклировании и их стабильностью и вывйсокой ресурсной надежностью.5843/52 Тираж 703ВНИИПИ Государственного ком по делам изобретений и открыт 113035, Москва, Ж, РаушскаПодписноеета СССРийнаб., д.4/5 лнал ППП Патентф, г.ужгород, ул.Проектная,4 Составитель О.Обрубов ор К,Волощук Техред М,надь: .КорректорА.Дзят