Преобразователь поверхностных акустических волн

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК СТВУ саицатип ТОРСК,Н 0141/О ПОВЕРХ НОСТ-держащийнные на ееные структуГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ССОР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИ ПИСАНИЕ ИЗОБРЕ. НЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛН, сопьезоподложку и расположеповерхности две электрод 0.1015484 03 Н 9/145; Н ОЗ,Н 9/42;03 Н 9/64 ры, каждая из .которых аодержит контактные площадки и две разнополярныегруппы параллельных перекрывающихсяатыревых электродов, причем штыревыеэлектроды одной из групп обеих электродных структур гальванически соединены между собой, штыревые электродыдругой группы соединены гальванически с соответствующей контактной площадкой, а перекрытие штыревых электродов в первой электродной структуре выполнено неравномерным, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с.цельюуменьшения искажений амплитудно-частотной характеристики, между электродами первой электродной структурырасположено резистивное покрытие. Еизобретение относится к радиоэлектронике и может быть использовано вустройствах обработки сигналов на поверхностных акустических волнах (ПАВ).Известен преобразователь ПАВ, вкотором взвешивание интенсивности 5возбуждения ПАВ встречно-штыревымиэлектродами осуществляется путем изменения величины резистивной связиэтих электродов с контактными площадками. Этот преобразователь содержитпьезоподложку и расположенные на ееповерхности две электродные структуры - основнуй, состоящую из двухразнополярных групп электродов и дополнительную структуру в виде однойгруппы электродов, выполненных изрезистивного покрытия, при этом каждый электрод дополнительной структуры с одной стороны гальванически соединен с первой контактной площадкой,сдругой стороны гальванически соединенс соответствующим электродом одной из разнополярных групп электродов, а электроды второй разнополярнойгруппы основной структуры гальванически связаны со второй контактнойплощадкой 11.Недостатками указанного устройстваявляются технологические трудностиизготовления и невысокий процент выхода годных изделий. ЗОНаиболее близким к предлагаемомуявляется преобразователь ПАВ, содержащий пьезоподложку и расположенные .на ее поверхности в параллельных акустических каналах две электродные 35структуры, каждая из которых содержит контактные площадки и две разнополярные группы перекрывающихся штыревых.электродов, причем штыревыеэлектроды одной из групп обеих электродных структур гальванически соединены между собой, штыревые электроды другой группы соединены гальванически с соответствующей контактнойплощадкой, а перекрытие штыревых 45электродов в одной из электродныхструктур выполнено неравномерным 2).Недостатком известного преобразователя является наличие значительныхискажений (АЧХ) амплитудно-частотнойхарактеристики в полосе пропускания,возникающие из-за наличия паразитныхемкостей между группами электродов,которые особенно проявляются в области с малыми перекрытиями электродов,Цель изобретения - уменьшение искажений АЧХ преобразователя,Поставленная цель достигается тем,что в преобразователе ПАВ, содержацемпьезоподложку и расположенные на ееповерхности в параллельных. акустичесОких каналах две электродные структуры, каждая из которых содержит контактные.плоцадки и две разнополярныегруппы вараллельных перекрывающихсяэлектродов, причем штыревые электроды 65 одной из групп обеих электродныхструктур гальванически соединены между собой, штыревые электроды другойгруппы соединены гальванически с соответствующей контактной площадкой, аперекрытие штыревых электродов в первой электродной структуре выполненонеравномерным, между электродами первой электродной структуры расположено резистивное покрытие.На чертеже показана структурнаясхема предлагаемого преобразователя ПАВ.Преобразователь содержит пьезоподложку 1 и расположенные на ее поверхности в области 2 две электродныеструктуры 3 и. 4, каждая из которыхсодержит контактные площадки 5 и би две разнополярные группы параллельных штыревых электродов 7, 8 и 9, 10соответственно. В струКтуре 3, поменьшей мере, часть электродов имеетперекрывающиеся участки разной величины. Все электроды .9 и 10 в структуре 4 имеют перекрытия равной протяженности. При этом расстояние междуцентрами смежных электродов в различных группах могут быть выбраны различными. В пространстве между электродами 7 и 8 размещено резистивноепокрытие 11. Электроды 10 гальванически соединены с контактной площадкой б, а электроды 9 отделены от неезазором и гальванически соединены сэлектродами 8. Электроды 7 гальванически соединены с контактной плоцадкой 5, электроды 8 отделены от неезазором. Каждый электрод 9 электрически связан с контактной плоцадкой 5посредством емкостно-резистивной связи, которая образована электродами 8и резистивным покрытием 11. Величинаэтой емкостно-резистивной связи зависит от величины перекрытияэлектродов 9 и 10 и удельного сопротивлениярезистивного покрытия и варьируетсяпо длине преобразователя в соответствии с законом изменения перекрытияэлектродов 7 и 8. Указанный законопределяется по импульсному отклику устройстваУстройство работает следующим образом.При подаче высокочастотного сигнала от генератора 12 на контактныеплощадки 5 и б, между электродами 9и 10 структуры 4 возникает знакопеременная разность потенциалов. Напряжение между электродами и, следовательно, величина заряда на каждом изэлектродов 9 и 10 зависит от величины перекрытий электродов структур 3 и4, а также величины удельного сопротивления резистивного покрытия, Врезультате в материале подложки 1возбуждаются ПАВ. Амплитуда волны,возбуждаемой каждым электродом, пропорциональна величине заряда на нихСоставитель В.БанковРедактор Н.Ковалева ТехредС.Мигунова КорректорС,Шекмар Заказ 3230/51 Тираж 936 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская иаб., д.4/5 Филиал ППП фПатент", г.ужгород, ул.Проектная, 4 3 .1015 и, следовательно, зависит от величины участков перекрытия электродов 7, 8 и 9,. 10, а такие величины удельного сопротивления покрытия 11. Таким образом, в преобразователе осуществляется взвешивание интенсивности вдэ Суждения ПАВ в соответствии с заданным импульсным откликом. При этом ПАВ,. возбуждаемая структурой 4, имеет равномерный волновой Фронт по апертуре луча, так как электроды 9 и 10 имеют 10 одинаковые участки перекрытия. Использование, изобретения позволя.- ет уменыаить искажения АЧХ устройст-: ва за счет того, что при соответствующем выборе материала резистивного покрытия имеется возможность пренебречь наличием паразитной емкостной свяи между электродами из-за наличия переходной области 13, необходимой для гальванической связи структур 3 й"4,Предлагаемый преобразовагель имеет АЧХ с малыми искажениями и техно- логичен в изготовлении.