Устройство для получения шарика на микропроволоке при сварке

СОЮЗ ООВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК 119) (11)1,51) В 2 0 ЮС СЗСНиру ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ нь кович ния кая стаь.(54)(57ШАРИКАКЕ, прсборки ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ДЕЛАМ ИЗОБ ЕТЕНИЙ И(56) 1. Авторское свидетельство СССРВ 571997, кл. В 23 К 20/00, 1975.2. Евтифеев П.И. Стыковая микросварка, Л., Машиностроениеф,1977с. 88-903 Патент Англии Р 1536872,кл. ВЗВ 1979 (прототип) . УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯМИКРОПРОВОЛОКЕ ПРИ СВАРмущественно.в процессахлупроводниковых приборов,содержащее механизм подачи микропроволоки, сварочную головку с капилляром-йнструментом, трубопроводдля подачи инертного газа, электрод и.источник постоянного напряжения, подключенный своими полюсами соответственно к микропроволокеи электроду, о.т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышечества сварки, путем повышенибильности образования шарика иобеспечния его симметрии относително оси микропроволоки, электродвыполнен в виде трубки, соосноустановленной по отношению к капилляру-инструменту и соединеннойс трубопроводом для подачи инертного газа.О 6065 Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов иможет быть использовано в оборудовании на операциях сборки методомоплавленного шарика. Присоединениеможет осуществляться ультразвуковой сваркой, термокомпрессией и т,дИзвестно и широко используетсяустройство для получения шарикана микропроволоке, преимущественнозолотой, содержащее механизм подачи микропроволоки, сварочную головку с капилляром-инструментом иэлектродом 11 .Недостатком устройства являетсято, что оно не обеспечивает однозначного направления импульсного разряда, что во многих случаях приводит .к асимметрии шарикаотносительно оси проволоки.Известно устройство для получения шарика на микропроволоке,содержащее механизм подачи микропроволоки, сварочную головку скапилляром-инструментом, каналподачи инертного газа и электрод 2 .Однако это устройство не обеспечивает симметрии шарика относительно оси проволоки,Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство для получения шарика на .микропроволоке при сварке, преимущео венно в процессах сборки полупровод. никовых приборов, содержащее механизм подачи микропроволоки, сварочную.головку с капилляром-инструментом, трубопровод для подачи инертного газа, электрод.и источник постоянного напряжения, подключенный своими полюсами соответственно к микропроволоке и электроду 3Недостатком известного устройствг является то, что при использовании электрода с плоской поверхностью импульсный электрический разряд может произойти из любой. точки плоской поверхности, т.е. не обеспечивается определенность направления разряда, что приводит к образованию шарика со смещением его по отношению к оси проволоки в направлении воздействия импульсного разряда. Это достаточно ярко проявляется при образовании шарика на алюминиевой микропроволоке. Смещение шарика относительно оси микропроволоки приводит к его нестабильности размеров и снижению качества последукщего присоединения выводов. Для создания инертной среды требуются дополнительные устройства, снижающие производительность оборудования.Цель изобретения - повышение качества сварки путем повышения стабильности образования шарика и обеспечения его симметрии относительно оси микропроволоки.Поставленная цель достигается тем, что в устройстве для.получения шарика на микропроволоке при сварке, содержащее механизм подачи микропроволоки, сварочную головку с капилляром-инструментом, трубопровод дляподачи инертного газа, электрод и источник постоянного напряжения, подключенный своими полюсами соответственно к микропроволоке и электроду, электрод выполнен в виде трубки, соосно установленной по отношениюк капилляру-инструменту и соединен 15 ной с трубопроводом для подачиинертного газа.На чертеже представлена схемаустройства для получения шарика намикропроволоке при сварке.Устройство содержит механизм подачи микропроволоки с катушкой 1, сварочную, например ультразвуковую,головку 2,с капилляром-инструментом 3,предМетный столик 4 для размещенияподложки и электрод в виде трубки 5из электропроводного материала, ус,тановленной соосно капилляру-инстру,менту 3 и соединенной .с.трубопроводом для подачи инертного газа в зонуоплавления микропроволоки и образования шарика, и источник б постоянного напряжения,Устройство работает следующим образом.Микропроволока с помощью механиз 35 ма подачи через катушку 1 подаетсяв направляющий капилляр-инструмент3 сварочной головки 2На микропроволоку и электрод в виде трубки 5подается электрический заряд про 40 тивоположного знака. При перемещениимикропроволоки на определенное расстояние по отношению к торцу трубкивозбуждается импульсный электричес- кий разряд под воздействием радиаль 45 ного электрического поля, происходитоплавление микропроволоки и образование шарика в сфере инертного газа,например аргона,подводимого черезтрубку-электрод 5.После образованияшарика электродный узел уводится всторону и перемещением сварочной головки 2 с капилляром-инструментом Эи шариком на его торце осуществляетсяприсоединение микропроволоки к кон 55тактной площадке подложки. Поскольку электрод выполнен в виде трубки, соосно установленной к капилляру, т.е, оси микропроволоки, то между микропроволокой и кольцевой образующей трубки в момент импульсного электрического разряда существует радиальное электрическое поле, вектор напряженности которого равномерно распределен по образующей боковой поверхности микропроволоки и торцу3 10078794трубки. В результате этого происходит от регулирования давления инертного четкая ориентация импульсного разряда газа.;и равномерное его распределение по Использование устройства для полу- боковой поверхности микропроволоки чения шарика на микропроволоке при и трубки-электрода, что устраняет сварке в процессах сборки полупроводсмещение шарика по отношению к оси 5 никовых приборов по сравнению с иэмикропроволоки и обеспечивает повы- вестными позволяет повысить качество шение,стабильности его образования. и стабильность шарика, а следователь- Подача инертного газа через трубку- но, процент выхода годных, а также электрод в зону образования шарика получать шарики заданной формы и раз" позволяет дополнительно управлять 10 меров, что значительно расширяет ноего формой.и размерами в зависимости менклатуру собираемых приборов.Составитель В,КатинРедактор И.Ковальчук ТехредМ.Костик КорректорА. ференцЭакаэ 2202/16Тираж 1104 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5Филиал ППП фПатентф 1, г. ужгород, ул. Проектная, 4