Способ активного контроля толщины пленки

Номер патента: 1177663

Опубликовано: 07.09.1985

Авторы: Захаров, Колбун

МПК: G01B 15/02

Метки: активного, нанесения, пленки, скорости, толщины

...прямоугольного СВЧ-волновода измеряют амплитуды проходящей и отраженной от элемен та-свидетеля СВЧ-волны и в моменты1 1177663 2Изобретение относится к контроль- ку. Одновременно измеряют амплитуды но-измерительной технике и может проходящей и отраженной СВЧ-волны; быть использовано для контроля от элемента-свидетеля. толщины и скорости роста пленки впроцессе ее нанесения на подложку.В момент равенства амплитуд отраЦель иэббретения - повышение точ- женкой и прошедшей СВЧ-волны протягиности контроля толщины и скорости вают дискретно элемент-свидетель нанесения пленки, таким образом, чтобы в волноводе по-:Способ осуществляется следующим мещался новый отрезок элемента-свиобразом, 10 детеля с первоначальными параметраВ зоне контроля...

Номер патента: 1456765

Опубликовано: 07.02.1989

Авторы: Коман, Юхимюк

МПК: G01B 7/06

Метки: датчик-свидетель, диэлектрической, емкостный, напыляемой, пленки, толщины

...дляконтроля толщинынапыляемой диэлектрической пленки; нафиг,2 - сечение А-А на фиг,1.Емкостный датчик содержит основание 1, выполненное в виде цилиндра .из диэлектрика, установленного с возможностью вращения вокруг его продольной оси 2, и размещенные по всейплощади его внешней поверхности свернутые в кольцо. плоские электроды 3 и4, имеющие гребенчатую форму и обраещенные один к другому своими зубцами, которые расположены в промежутках между зубцами противолежащегоэлектрода,Емкостный датчик-свидетель работа"ет следующим образом.Во время вакуумного напыленияосаждаемая пленка образует диэлектрическое покрытиена внешней поверхностицилиндрического основания 1 и на элек"тродах 3 и 4 емкостного датчика, которое изменяет электроемкость...

Номер патента: 132273

Опубликовано: 01.01.1960

Автор: Соловьев

МПК: H04B 3/42, H04M 7/12

Метки: дифсистемы, импульсов, набора, обход, передачи, сквозной

...могут поступать со стороны междугородного канала с коррекцией их в ВКТН или со стороны регистро132273 Предмет изобретения Способ сквозной передачи импульсов набора в обход дифсистемы со стороны приборов с четырехпроводным разговорным трактом, соединенной на входе с четырехпроводным трактом одной системы связи и на выходе - с двухпроводным трактом другой системы связи, отл ич а ющийся тем, что, с целью исключения трансляции импульсов набора при обходе дифсистемы, к средней точке обмотки дифсистемы, соединенной с неиспользуемой при передаче импульсов парой проводов четырехпроводного тракта, присоединяют реле, которое производит своими контактами сквозное соединение передающей пары проводов четырехпроводного тракта к двухпроводному...

Номер патента: 241701

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Кедра, Прудвиблох

МПК: G01B 11/06

Метки: изделие, нанесения, пленки, процессе, толщины

...способу; на фиг. 2 - измерительный импульс; на фит. 3 - разностный импульс; на фиг. 4 - элементарный положительный импульс,Контроль толщины пленки в,процессе еенанесения,на катод согласно предложенному способу осуществляют следующим образом.Короткими периодическими вспышками 5 света освещают эталон и свидетель. Эталонный импульс (см, фпг. 1) является постоянньвм по величине и полярности. Измерительный импульс (см. фиг. 2), прошедший через свидетель, находится в противофазе эталон ному и уменьшается (по абсолютному значению),по мере увеличения оптической плотности (или толщины) наносимого слоя.Вследствие этого, разностный импульс (см.фиг. 3) также уменьшится. При каждой 15 вспышке производится измерение величиныразностного импульса...

Номер патента: 1155735

Опубликовано: 15.05.1985

Авторы: Ахметзянов, Ковшов, Прищепов, Шулаков

МПК: E21B 47/12

Метки: забойных, кабельный, канал, параметров, передачи, связи

...соединениями, при этом герметизирующий узел установлен в гибком шланге, а быстроразъемные соединения на концах участков кабеля, причем запасник рас.положен в верхней части бурильных труб 50и механически и электрически связан с наружным участком кабеля, пропушеннымчерез герметизируюший узел.На чертеже представлен общий вид кабельного канала связи, 35Устройство содержит скважинный прибор1 с кабельной головкой 2, кабель 3, запас.ник с кассетой 4 и кабельной головкой 5,Фь установленной в верхней части бурильныхтруб 6, герметизирующий узел 7, уставов.ленный в гибком рукаве 8, наземный регистрирующий блок 9, узел крепления запасника к буровой трубе 10, наружныйучасток кабеля 11,Устройство работает следуюшим образом.Перед началом...