Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении

ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскнхСоцналнстнческнхРеспублик и 964489(61) Дополнительное к авт. свкд-вуР 838444 (22) Заявлено 17,04.80 (21) 2912147/18-10 с присоединением заявки РЙ -Опубликовано 07,10.82. Бюллетень Р 637Дата опубликования описания 07.10.82 по делам изобретений и открытий(71) Заявитель Куйбышевское агрегатное производственно-конструктобъединение(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕНИЙ ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ1Изобретение относится к измерительной технике, в частности для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образцов. По основному авт. св, У 838444 известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении, используемое для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца; помещаемого в одну из двух сообщающихся ванн с реактивом и закрепляемого в располагаемом над ванной приспособлением для его крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого судят о толщине. стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру, в качестве прибора по показаниям; которого судят о толщине стравливаемого слоя, использованы аналитические весы, с одним из плеч коромысла которого связан образец-анод, и фотокиноприставка, фиксирующая показание шкал, Устройство также содержит ванну с водой и поворотный стол, на котором установ. лены указанные ванны 11. 2Недостатком устройства является неудобствов работе, связанное с необходимостью уравно.вешивания образца в ванне с водой и введе.нием поправки,учитывающей разницу плотности воды и электролита, Кроме того,. в уст ройстве имеется погрешность измерения деформаций, связанная с температурными напряжениями при электрохимическом травлении.Цель изобретения - повышение . точностиизмерения и удобства в работе.Указанная цель достигается тем, что внего введены образец-катод с датчиком деформаций, связанный с вторым плечом коромысла весов и размещенный в дополнительнойванне с реактивом, и второй измеритель деформации.На чертеже изображено устройство общийвид, На столе 1 находятся сообщающиесяванны 2.с реактивом, снабженные заслонкой203. Над ваннами с реактивом устанавливаютсяаналитические весы 4, к коромыслу которыхчерез нити 5 подвешиваются образец. анод би образец-катод 7, снабженные датчиками 8деформаций, сигналы с которых доступают964489 20 ВНИ акаэ 7617/22 Тираж 887 Подписн иал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 3на регистрирующие приборы 9 и 10 и счет.чик 11 времени, Одновременная регистрацияшкалы аналитических весов, измерителей деформаций и счетчика времени осуществляет.ся фотокиноприставкой 12. Вес, размеры иматериал образца-катода выбираются соответ., ствующими образцу-аноду,Устройство работает следующим образом.К коромыслу аналитически весов падвешиваются образец-анод и образец. катод,снабженные датчиками деформации, и опуска.ются в сообщающиеся ванны с электролитом.. Включением тока начинают процесс травления и одновременно открывают заслонкусообщающихся ванн, устанавливая ее всоответствии с выбранным током (скоростьютравления), что определяется предварительнойградуировкой.По деформациям образца, толщине снятого слоя и времени травления производят расчет остащаых напряжений. В процессе трав.пения регистрируется деформация образца-анодаи образца.катода, что позволяет учесть температурную погрешность измерения, Кроме того, увеличение веса образца. катода, пропорци. ональное уменьшению веса. образца. анода, равноценное увеличению цены деления шкалы ана. литических весов в два раза, приводит к уменьшению ошибки измерения снятого слоя. Формула изобретения 16 Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении по авт. св. Х 838444, о т л и ч й ю щ е е.с я тем, что, с целью повышения точности измерения и удобства в работе, в него введены образец-катод с датчиком деформации, связанный с вторым плечом коромысла ве сов и размещенный в дополнительной ванне с реактивом, и второй измеритель деформа.ции. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свццетельство СССР Р 838444,кл. (3 01 1. 1/22, 13.12.80.