Устройство для измерения остаточныхнапряжений при непрерывном травлении

О П И С А Н И Е (и 838444ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советск ихСфваиалистичесиикРесаубпии К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ительное к авт. свнд-ву У 330360 о 13, 12. 79 (2 ) 2849456/8- ениеи заявки ЭЙ -В) Доп 3(22)Заявле с прнсоеди Гееударставниыа кфиатвт СССР аа делам изабрвтвккй в аткритак(088.8) Дат ликования опнсани 72) Автор нзобретенн Куйбышевское агрегатное производственно-конструкторско объединение) Заявитель 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОСТАТОЧНЫХ НАПРЯЖЕН ПРИ НЕПРЕРЫВНОМ ТРАВЛЕНИИ ующеи показания шкал истпа явсвязанв проИзобретение относится к измерительной технике и может применяться для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образцов.По основному авт.св. Р 330360 известно устройство для измерения остаточных напряжений при непрерьтвном травлении, используемое для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении образца, помещаемого в ванну с реактивом и закрепляемого в расположенном над ванной приспособлений: для крепления, содержащее датчик деформации, прибор, по показаниям которого. судят о толщине стравливаемого слоя, и регистрирующую аппаратуру. Для определения толщины стравливаемого слоя, используются аналитические весык одному из плеч коромысла которых, ра полагаемых над ванной, подвешивается приспособление для крепления образца а устройство снабжено фотокиноприставкой, Фиксирприборов .1Недостатком данного устроляется погрешность измеренияная с увеличением веса нити 5цессе ее выхода из жидкого реактива .при непрерывном взвешивании травящегося образца.Поскольку в площадь нити включают- .10ся провода тензодатчика с экранирующей изоляцией, свидетельствующегоо деформации образца, а в случае электрохимического травления так же включается и провод питания гальванической ванны при этом погрешность измеВрения, связанная с выходом на поверхность электролита указанной системыподвески, может быть недопустимо болвшой при исследовании тонких слоевобразца.Цель изобретения - повышение точности измерения,Эта цель достигается тем, что вустройство введена дополнительнаяФормула изобретения НИИПИ Заказ 442/61 ираж 907 Подписное Филиал г, УжгПатентул. Проектная,4 3 83844 ванна с реактивом, сообщенная каналом: с основной, при этом между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режимами травления.На чертеже изображено устройство, общий вид.На поворотном столе 1 находится ванна 2 с водой и сообщающиеся ванны 3 с реактивом, снабженные заслонкой 4, и шкала 5. Над ванной с реактивом устанавливаются аналитические весы 6, к коромыслу которых через нить 7 подвешивается образец 8, снабженный датчиком 9 деформаций, сигнал с которого поступает на регистрирующий прибор 1 О и счетчик 11 времени, Одно- временная регистрация шкалы аналитических весов, измерителя деформации и счетчика времени осуществляется фотокиноприставкой 12.Устройство работает следующим образом.Перед началом процесса травления подвешенный к коромыслу аналитических весов образец, снабженный датчиком деформации, опускается в ванну с водой и уравновешивается. Затем вводится поправка с учетом разностИ удель-1 ных весов воды и реактива, после чего образец опускают в основнуй ванну с реактивом, уровень которого ниже 4 4уровня дополнительной ванны. Включением тока начинают процесс травления и одновременно открывают заслонку сообщающихся ванн, устанавливая ее в соответствии с выбранным током скоростью травления , что определяется предварительной градуировкой.В процессе травления образца регистрируется дефбрмация образца, толщина стравленного слоя и время травления. По этим данным производят расчет остаточных напряжений. Устройство для измерения остаточных напряжений при непрерывном травлении по авт.св. У 330360, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измеренияв него введена дополнительная ванна с реактивом, сообщенная каналом с основной, при этом. между ваннами расположена заслонка, установленная с возможностью регулирования перекрытия канала в соответствии с режимами травления. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРМф 330360, кл. 6 01. 1/22, 27.04 е 70