Способ определения толщины покрытия
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик и 953453(22)Заявлено 28.01,81 (2 ) 3262248/18-28 с присоединением заявкиЪаударственный комнтет СССР(23) Приоритет ла делам изооретеннй и открытий(72) Авторы изобретения о телаВитебское отделение Института Физики тве и полупроводников АН Белорусской С) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЯ 1обретение относится к контрольно-измеритель в частности для измер оля толщины покрытий, использовано в любой о остроения. ультразвуной техково нике ения и и може конт быть маши трасл НаиЬолее близким по технической сущности к изобретению является способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохро матическим световым потоком, выявляют степень взаимодействия его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами для образцового покрытия и подложки и по результатам сравнения определяют толщину 11.Способ основан на использовании свойства монохроматического линейнополяриэованного потока изменять степень и вид поляризации на границе "воздух-слой" и "стеклянная подложка - слой". 2Недостатком указанного способа является требование оптической про" зрачности подложки и, следовательно, ограниченность возможностей способа. Кроме того, точность спосоЬа существлено зависит от точности измерения показателей преломления подложки,Цель изобретения - повышение производительности и расширение диапазона определяемых толщин.Поставленная цель достигается тем, что согласно спосоЬу определения толщины покрытия, заключающемуся в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком, выявляют степень взаимодействия его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами для образцового покрытия и подложки и по результатам сравнения определяют толщину, световой поток модулируют переменной частотой, а степень взаимодействия его выявляют по отклонению изменения амплитуды акусти ческого сигнала от линейной зависимости.Способ основан на оптоакустичес" ком эффекте в твердом теле и регистрации амплитуды звуковой волны, возникающей в газовой среде при поглощении взаимодействующего с этим телом модулированного по интенсивности светового потока, Величина оптоакустического сигнала в большой степени зависит от теплофизических характеристик облучаемого твердого тела. Например, коэффициент тепловой диффузии 0 зависит от частоты и) модуляции источника светового пото- ка где 3=Кфс - коэффициент теплопроводности образца,20К - коэффициент температуро"проводности;у - удельная плотность,с - удельная теплоемкость.Дпя твердого тела, представляющего собой двуслойную разнородную структуру, например тонкую пленку, при достаточно высоких частотах модуляции светового потока в энергетическом балансе процессов, сопровождающихся поглощением света и возникновением волны давления в окружающей газовой среде, основную. роль играет пленка, а именно ее оптические и теплофизические характеристики. С понижением частоты модуляции растет длина те35 пловой диффузии в пленке и при некоторой частоте в перераспределение поглощенной энергии включается под.- ложка, Такое взаимодействие находит отражение в зависимости амплитуды40 акустического сигнала от частоты модуляции света и позволяет использовать его при определении толщины покрытий.Способ осуществляется следующим образом.Аттестованные образцы толщины покрытия на образцовых подложках поочередно облучают со стороны покрытия монохроматическим световым 50 потоком, который модулируют вращающимся диском с отверстиями при плавной регулировке частоты модуляции. При некоторой частоте ц,модуляции имеет место отклонение от линейной 55ВНИИПИ Заказ 6260/67 Т 4зависимости величины акустического сигнала, для покрытия толщиной с 1, а для покрытий толщиной С и С - соответственно и(, и ы . (1 о полученным значениям строят градуировочный график, где по оси абсцис откладывают частотуыг модуляции Гц светового потока, соответствующую точке перегиба зависимости частота модуляции светового потока - амплитуда акустического сигнала, а по оси ординаттолцины оЬразцовых покрытий 1, й,Затем облучают световым потоком определяемое покрытие, изменяя при этом частоту модуляции. Определяют при какой частоте со; имеет место отклонение от линейной зависимости величины акустического сигнала и по градуировочному графику находят соответствующую толщину с. покрытия.Измерения толщины покрытий проведены для йольгированных стеклотекстолитов, антифрикционных покрытий (окиси хрома, карЬида вольфрама и окиси алюминия) на стальных подложках чОХНИ и 12 Х 18 Н 10 Т и титановых покрытий на латуни.Способ позволяет в несколько раз повысить производительность и расширить диапазон определяемых покрытий.Формула изобретенияСпособ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком,выявляют степень взаимодействия егос покрытием и подложкой, сравниваютс теми же параметрами для образцового покрытия и подложки и по результатам сравнения определяют толщину,отличающийся тем, что,с целью повышения производительностии расширения диапазона определяемыхтолщин, световой поток модулируютпеременной частотой, а степень взаимодействия его выявляют по отклонению изменения амплитуды акустического сигнала от линейной зависимости.Источники информации,принятые во внимание при экспертизеИетфессель С, Тонкие пленки,их изготовление и измерение. М."ЛГосэнергоиздат, 1963 (прототип).ираж 614 Подписное
СмотретьЗаявка
3262248, 28.01.1981
ВИТЕБСКОЕ ОТДЕЛЕНИЕ ИНСТИТУТА ФИЗИКИ ТВЕРДОГО ТЕЛА И ПОЛУПРОВОДНИКОВ АН БССР
АГЕЕВ ВИТАЛИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ГРАДЮШКО АЛЕКСАНДР ТИХОНОВИЧ, ЕГОРОВ ВЛАДИМИР ДМИТРИЕВИЧ, НЕДЕЛЬКО МИХАИЛ ИВАНОВИЧ, БАРТЕНЕВ ВЛАДИМИР ЯКОВЛЕВИЧ, БАННИКОВ ВЛАДИМИР СТЕПАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/06
Опубликовано: 23.08.1982
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-953453-sposob-opredeleniya-tolshhiny-pokrytiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения толщины покрытия</a>
Предыдущий патент: Устройство для измерения шага точных винтов
Следующий патент: Устройство для измерения деформаций внутренних цилиндрических поверхностей объектов
Случайный патент: "фильтр для очистки жидкостей "гидроробот"