Аюханов

Номер патента: 1151816

Опубликовано: 23.04.1985

Авторы: Аюханов, Кремков, Черненко

МПК: G01B 15/02

Метки: покрытий, толщины

...получают из онного источника, работающего на принципе катодного распыления в виде отрицательных ионов поверхностей, активированных щелочными ионами. Образовавшиеся отрицательные ионы ускоряющим полем вытягиваются из источника, и сформированный пучок попадает в 90-градусный цилиндрический электростатический конденсатор, который осуществляет монокинетизацию пучка. Далее пучок моноэнергетических отрицательных ионов с энергией Е фокусируют на объект контроля нормаль. но поверхности или под некоторым углом М относительно нормали к поверхности. Уголвыбирают в диапазооне углов 0се 70, что связано с геометрией системы и необходимостью проникновения ионов на некоторую глубину в образец. Энергия первичных ионов выбирается в пределах 100 эВ 4 Е р 4...