Способ получения нетканого полировального материала

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о 1953037(61) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 120181 (21) 3238765/23-05М. Кл.О 04 Н 5/02 О 04 Н 1/64 С 0811/02 с присоединением заявки Мо(23) Приоритет -Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НЕТКАНОГО ПОЛИРОВАЛЬНОГО МАТЕРИАЛАИзобретение относится к текстильной промышленности, в частности к производству нетканых полировальных материалов.Известен способ получения. нетканого полировального материала, в котором.используется связующее на основе бутадиенакрилонитрильного латекса, алюмометилселиконата натрия, орто-. фосфорной кислоты и мочевины, а также электрокорунда 1) .Недостатком указанного способа является наличие на получаемых полировальных материалах абразивных частиц электрокорунда, которые мешают получению высококачественных полировальных поверхностей полупроводников и диэлектриков. Кроме того, эти материалы химически нестойки при полировании в агрессивных средах.Частично задача повышения прочности, износо- и химической стойкости нетканых полировальных материалов решена известным способом их получения, заключающимся в том, что холст формируют из смеси 20-50 вес,Ъ акрилонитрильных и 50-80 вес.Ъ полиамидных волокон, иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим из смеси 60-75 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч. дисперсии сополимера хлоропрена с метилакрилатом,сушат и вулканизуют при. 155165 о С 2 .Но известный способ не обеспечивает получение материалов с удовлет 10 ворительными эксплуатационными свойствами, так как их прочность, износои химическая стойкость остаются недостаточными для успешного проведе.ния процесса полирования полупроводников и. диэлектриков,Целью изобретения является улучшение эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышения его прочности,износо- и химической стойкости (в агрессивных средах)Поставленная цель достигаетсятем, что в способе получения нетканого полировального материала, включаю"щем пропитку иглопробивного холстаиз синтетического волокна вспененным25 связующим из смеси 60-75 вес.ч.карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и 25-40 вес,ч.дисперсии сополимера хлоропрена сметилметакрилатом, сушку и последую 30 щую вулканизацию, пропитывают холст953037 Составитель В. ОстровскийРедактор О. Половка Техред З.Палий Корректор А. Ференц Заказ 6223/47 Тираж 431 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент", г. ужгород, ул. Проектная, 4 из полиэфирного волокна связующим,содержащим дополнительно 0,0110 вес.ч, гидроокиси щелочного металла и 0,0001-0,1 вес.ч. алюминиевыхквасцов, а вулканизацию проводятпри 120-170 С: 5П р и м е р 1. Формируют нетканый холст из 100 вес.Ъ полиэфирноговолокна, иглопрокалывают, пропитываютвспененным связующим из смеси60 вес.ч. карбоксилсодержащего бутадиенкрилонитрильного латекса и40 вес.ч, дисперсии сополимера хлоропрена с метилметакрилатол с добавками 0,1 вес.ч. гидрата окиси щелочного металла и 0,0001 вес.ч. алюминиевых квасцов. Затем сушат и проводят вулканизацив при 120 фС.. П р и м е р 2Формируют нетканый холст из 100 вес,% полиэфирныхволокон, иглопрокалывают, пропитывают вспененным связующим из смеси67,5 вес.ч. карбоксилсодержащегобутадиенакрилонитрильного латексаи 32,5 вес.ч, дисперсии сополимерахлоропрена с метилметакрилатом сдобавками 5 вес,ч, гидрата окисищелочного металла и 0,05 вес.ч,алюминиевых квасцов. Сушат и проводят вулканизацию при 145 ОС.П р и м е р 3. Формируют нетканый холст из 100 вес.Ъ полиэфирныхволокон., иглопрокалывают, пропитыван 1 т вспененным связующим из смеси75 вес.ч, карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильноголатекса и25 вес".ч. дисперсий сополимера . 35хлоропрена с метилметакрилатом сдобавками 10 вес.ч. гидрата окисищелочного металла и 0,1 весч.алюминиевых квасцов. Затем сушати проводят вулканизацию при 170 С. 40Предлагаемый способ позволяетполучать полировальный материал,превышающий материалы, производимыепо известному способу, по прочности в 2 раз а, по из нос о- и химической стойкости в 7-10 раз.В отличие от ранее известиых, нетканый полировальный материал, получаемый по предлагаемому способу, применим также в процессах обработки высокотвердых диэлектриков, причем во всех агрессивных средах.Кроме того, использование нетканого полировального материала, получаемого согласно предлагаемого способа, позволит значительно интенсифицировать процессы химико-механической полировки, а также резко повысить качество и выход приборов электронной техники. на основе полупроводниковых соединений и диэлектриковФормула изобретения Способ получения нетканого полировального материала, включающий пропитку иглопробивного холста из синтетического волокна вспененным связующим из смеси 60-75 вес.ч, карбоксилсодержащего бутадиенакрилонитрильного латекса и 25-40 вес.ч, дисперсии сополимера хлоропрена сметилметакрилатом, сушку и последующую вулканизацию, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью улучшения эксплуатационных свойств полировального материала за счет повышенияего прочности, износо- и химическойстойкости, пропитывают холст изполиэфирного волокна связующим, содержащим дополнительно 0,01-10 вес.ч,гидроокиси щелочного металла и0,0001-0,1 вес,ч. алюминиевых квасцов, а вулканизацию проводят при120-170 фС.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 685671, кл. С 089/04, 1978,2, Авторское свидетельство СССРР 460337,кл, О 04 Н 5/00,1975(прототип).