Криовакуумная установка

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 091178 (21) 2682294/25-06 Р 04 В 37/06 с присоединением заявки МВ -Государственный комитет СССР ио делам изобретений и открытий(088. 8) Дата опубликования описания 300782(54) КРИОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА и криопанели, выполненной в виде емкости, снабжена изолированным трубопроводом с запорной арматурой, объе- диняющим емкости в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей.На чертеже.показана схема предлагаемой криовакуумйой установки.Установка содержит три крионасоса1, 2 и 3, каждый иэ которых содержит герметичный корпус 4, внутри которого размещена криопанель 5, окруженная защитными экранами 6 и 7. Криопанель 5 выполнена в виде емкостина наружной поверхности которой находится сорбент 8.Охлаждение криопанели 5 . осуществляется криогенератором 9.Вентили 10 и 11 служат для подачи . хладагента из .криогенератора 9 ккриопанели 5. Изолированный трубопровод .12 соединяет полости криопанелей 5 всех трех крионасосов 1, 2 и 3. На трубопроводе 12 перед каждой криопанелью 5 Установлен вентиль 13. Крионасосы 1, 2 и 3 подсоединяются к откачиваемрму объекту через патрубки 14 с вентилями 15. Для создания вакуума в полости крионасосов 1, 2 и 3 в период их регенерации служат вакуумные насосы 16 и,система соедини- О тельных трубопроводов с вентилями 17,Изобретение относится к вакуумнойтехнике и касается криовакуумных ус.тановок, предназначенных для созданиявакуума путем конденсации и адсорбциигазов.Известна криовакуумная установка,содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости. Перед откачкой вакуумируемого объекта криопанельизолируетсяот него и охлаждается криогенератором, Аккумулированный в ней холодрасходуется в период откачки вакуумируемого объекта 1),Недостатком такой криовакуумнойустановки является низкая эффективность, обусловленная тем, что регенерации и охлаждению до рабочих температур перед откачкой вакуумируемогообъекта .подвергается вся масса криопанели, вследствие чего увеличиваются затраты энергии на проведение этихпроцессов.Цель изобретения " повышение эффективности установки.Поставленная цель достигается тем,что криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы,каждый из которых состоит из корпуса в 947466 .947466 3 Формула изобретения ВНИИПИ .Заказ 5585/53 Тираж 678 Подписи Ужгород,ул.Проектная,ППП "Патент" Фили Прогрев сорбента 8 при регенерации осуществляется подогревателем 18. Для заполнения полостей криопанелей 5 рабочим телом, например водородом, служит патрубок с вентилем 19.Криовакуумная установка работает 5 следующим образом.В работе находится один иэ крио"насосов, например 1. У него вентили 15 и 13 открыты, а вентили 10, 11 и 17 закрытыоткачиваемый газ поступаО ет в. крионасос 1 через патрубок 14, проходит защитный экран 7 и поглощается сорбентом:8, вызывая испарение жидкого .водорода в криопанели 5. Образующиеся пары. водорода из криопане-,5 ли 5 через вентиль,13 и изолированный: трубопровод 12 поступают в полость криопанели 5 крионаооса 2, который находится в стадии подготовки;к работе, У этого крионасоса 2 вентили 10, 11 и 13 .открыты, а вентили 15 и .17 закрыты. Криопанель 5 крионасоса 2.в данный период охлаждаетсякриогенератором.9. В полости охлаждаемой криопанели 5 от паров водорода отводится скрытая. теплота испарения и пары конденсируются, Накапливаемый в полости криопанели 5 крионасоса 2 жидкий водород аккурулирует холод криогенератора 9.После испарения всего водорода из полости криопанели 5 крионасоса 1 и конденсации его в полости криопа нели 5 крионасоса 2 производят переключение крионасосов 1, 2 и 3. В работу включают крионасос 2, для че-. 31 го открывают вентиль 15 и закрывают вентили 10 и .11 крионасоса 2 На подготовку .к работе ставят крионасос 3, прошедший регенерацию, открывают вентили 10, 11 и 13 и закрывают вен тили 17 крионасоса 3. Отработавший крионасос 1 ставят на регенераций, для чего закрывают принадлежащие ему вентили 13, 15, включают подогреватель 18, открывают вентиль 17 и производят откачку полости крионасоса 1 вспомогательным вакуумным насосом 16.Соединение емкостей криопанелей 5 изолированным трубопроводом 12 с запорной. арматурой позволяет повысить эфФективность криовакуумной установки эа счет того, что в процессе регенерации нагреву подвергаются лишь незначительная часть рабочего тела и полая криопанель небольшой массы. Ос,новная масса рабочего тела не участвует в процессе регенерации, а с низкой. температурой поступает в охлаждаемую криопанель 5 по изолированному трубопроводу 12.. Криовакуумная установка, содержащая криогенератор и крионасосы, каждый из которых состоит из корпуса и криопанели, выполненной в виде емкости, о т л и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения эффективности, емкости объединены в группы, состоящие по меньшей мере из трех емкостей, соединенных изолированным трубопроводом с. запорной арматурой. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США У 3485054,; кл.62-55.5, 1969.