Способ изготовления точечного термокатода

(5М. Кл.Н 01 Э 9/04 с присоединением заявки3 Ъеуааретюай коиятет СССР ае аелам язобретеяяЯ к етхрытяЯ(53) УДК 621.385 ,032.213 (088.8) Дата опубликования описания 15.05.82 мин, А; "АСинцов,Ю. Б, Глушанок, С. В. Г. А.) Заявител енинградское научно 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОЧЕЧН ЕРМО КА разогретая до в -2400 С) прону Изобретение относится к способу изготовления катодов для микрофокусных рентгеновских трубок.1Известен способ изготовления точечного тер.мокатода в виде острия из эмиссионно активного материала, закрепленного в изгибе прово- злочиой петли 11,Однако технология изготовления катодадостаточно сложна,Известен способ изготовления точечного тер-;мокатода путем формования петли из прово- тЕl.лочной заготовки 12),Источником электронов в таких катодах.является вершина петли, ысокой температуры (2200сканнем тока по петле.Недостатком такого катода является то, чтопрактически получить достаточно сфокусиро.ванный точечный источник электронов не удавется, так как электроны эмитируются не только с вершины, но и с боковых сторон петли,что усложняет юстировку электроннооптической системы и получение электронного потоказаданной формы (сечения). Цель изобретения - улучшение фокусировки электронного потока, исходящего из источника электронов,Иоставлениая цель достигается тем, что со.гласно способу изготовления точечного термо.катода путем формования петли из проволочной заготовки, в качестве материала заготовкииснольэуют лаитанированный иридий, а послеформования петли производят отжиг ее вер.шины нри 1650 - 1750 С в течение 30 - 40 мии,Лантаиированный иридий представляет собой материал, у 1 соторого прн определеннойтемпературе происходят фазовые превращенияи работа выхода электронов становится значительно ниже, Это явление использовано приизготовлении точечного источника электронов.На петле, изготовленной из лантанированногоиридия и помещенной в вакуумный объем,отжигается локально вершина при температу.ре фазового превращения не ниже 1650 С втечение не менее 30 мин. Однако для обеспечения локальности нежелательно производитьотжиг прн температуре выше, чем 1750 С,и времени, большем 40 мин.928459шение требований к параметрам фокусирующих элементов, так как фокус точечный; снижение процента брака при выпуске рентгенов.ских трубок для микроскопии; улучшение разрешения микроскопов эа счет уменьшения размеров и улучшения фокусяруемого пятна. 10 Составитель Г, Жукова Техред Ж, Кастелевич Редактор Л. Веселовская Корректор С. 111 омак Заказ 3254/67 Подписное Тираж 758 ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4/5Фвпвял ПП Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Температура фиксируется оптическим микро пирометром с площадью визирования 0,1 х х 0,1 мм (например, ВИМП О 5 М), Ло. кальность нагрева может быть достигнута раз личными способами: лазерным нагревом, пря монакальным нагревом с подбором теплоот. водящих держателей, нагревом электронным потоком (в этом случае у вершины петли ставят экран, находящийся под потенциалом не ниже потенциала электрода, с которого исходит нагревающнй электронный ток),Отожженный таким образом катод работает при температуре значительно ниже, чем температура отжига (1400 С). При этом эмитиГует только отожженная часть катода,Использование предлагаемого способа изго товления катодов для микрофокусных рентгеновских трубок обеспечивает по сравнению с существующими способами следующие преимущества: возможность увеличения максимальной удельной мощности трубки, вследствие уменьшения размеров фокусного пятна и уве. личения эмиссионного тока за счет уменьшения работы выхода электронов; упрощение конструкции электронно-оптической системы и, следовательно, облегчение ее юстировки; уменьФормула изобретения Способ изготовления точечного термокатода,путем формования петли иэ проволочной за.готовки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью улучшения фокусировки электронного потока, в качестве проволочной заготовки используют лантанированный иридий, апосле формования петли производят отжигее вершины при 1650 - 1750 С в течение 30 -40 мин.2 о. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент США йф 4137476, кл, Н 01 11(16,опублик. 30,0.79.2, Быстров Ю, А., Иванов С. А. Ускорителии рентгеновские приборы, М "Вышя шквала",1976, с. 170.