Способ изготовления емкостного датчика давления

Сеез СоветсиияСоциалистическихРеспублик ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 080777 (21) 2505324/18-10 34 М, Кд,з с присоединением заявки Мо(23)Приоритет - 09.04.76 О 01 1 9/12 Государственный комитет СССР но делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ И 31 ОТОВЛЕНИЯ ЕИКОСТНОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯИзобретение относится к технической физике, в частности к способам изготовления датчиков давления.Известен способ изготовления датчика давления емкостного типа с воздушным зазором между обкладками, в котором упругим элементом, воспринимающим давление, является одна иэ обкладок конденсатора (1).Однако изготовленный таким спосо-. бом датчик не обеспечивает достаточной чувствительности.Известен способ изготовления пленочного датчика. давления емкостного типа, заключающийся в том, что между металлическими обкладками раз" мещавт диэлектрическую плевку из материала типа Кароп с модулем упругости Е = 5 10 з кгс/смд, что еоответ" ствует чувствительности датчика 8 щ 210Ъ 21Недостатком известного способа изготовления емкостного датчика является сложность нанесения слоя металлизации на поверхность диэлектри-ческой пленки, а датчик,изготовлен ный таким образом, имеет недостаточную чувствительность и требует большей трудоемкости при установке на измерительной поверхности сложнойформы,Цель изобретения - повьыение чув.ствительности емкостного датчикадавления путем снижения модуляупругости диэлектрической пленкиза счет образования в ней микропористой структуры с закрытыми "порами.1 О Поставленная цель достигаетсятем, что на металлическую обкладкунаносят первый слой термореактив-ного лака и полимериэуют его путемнагрева с выдержкой при установившейся температуре, охлаждают, затем наносят второй слой лака, накладмвают вторую обкладку и подвергают всю структуру повторной полимериэации.Причем в качестве лака используют 20 вннифлексовый лак ВЛ, полимеризуемый прн температуре 180 - 190 С свыдержкой в течение двух часов длякаждого слоя.При этон во избежание деформации 25 слоя фольги, применяемой в качествеметаллических обкладок, в процессетермообработки последняя находитсяпод небольшим давлением. Толщинаслоя лака с образованной в нем микЗ 0 ропористой структурой 20 - 30 мкм.2364/51 Тираж 882 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж, РаушЗаказ Подписно комитета СССР открытий акая наб., д. 4/5 Филиал ППП фПатент, г, Ужгород, ул, Проектная,На чертеже представлена кривая зависимости чувствительности датчика от измеряемого давления при постоянном напряжении питания (П =70 В), полученная в ударной трУбе.Чувствительность датчика, изготов-:5 ленного предлагаемым способом, в несколько десятков раз выше чувствительности датчика, изготовленного известным способом,и составляет 10 - 2.10 , При этом вследствие 10- - ймалости толщйны диэлектрической плен ки и слоев металлизации частотный диапазон датчика остается достаточно широким (сотни килогерц).Повышенная чувствительность позволяет использовать изготовленный предлагаемым способом датчик при исследованиях на поверхностях сложной формы в машиностроении, турбостроении и т. д. 20 1, Способ изготовления емкостно 25го датчика, давления, заключающийсяв том, что между металлическими обкладками размещают диэлектрическуюпленку, о тличающийс ятем, что, с целью повышения чувствительности датчика путем снижениямодуля упругости диэлектрическойпленки за счет образования в неймикропористой структуры с закрытымипорами, на металлическую обкладкунаносят первый слой термореактивного лака и полимеризуют его путемнагрева с выдержкой при установившейся температуре, охлаждают, наносят второй слой лака, накладываютвторую обкладку и подвергают егоструктуру повторной полимериэации.2", Способ по п, 1, о т л и ч а ющ и й с я тем, что в качестве лакаиспользуется винифлексовый лак ВЛ-б,полимериэуемый при температуре 180190 С с выдержкой в течение двухчасов для каждого слоя.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1.Туригин А.М, Электрические измерения неэлектрических величин. М.,1966, с, 44-46.2, Шателье М. Пленочный датчик,давления. Франция, изд-во ОБА, 1976прототип),