Способ определения проводимости вакуумной системы

Номер патента: 892254

Авторы: Зуева, Леонов, Мухин, Фатеев, Юшин

ZIP архив

Текст

(22) Заявлено 07,03. 78 (21) 2588614/25-06с присоединением заявки ЭЙОпубликовано 23,12.81. Боллетень47 ао делам изобретений и открытии(5 ЙДК 621.527,8(088,8) Дата опубликования описания 23. 12.8 1(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОВОДИМОСТИ ВАКУУМНОЙСИСТЕМЫ Изобретение относится к вакуумнойтехнике, а именно к способам определения проводимости вакуумной системы.Известен способ определения проводимости вакуумной системы путем по 3дачи в последнюю потока рабочего телаи измерения расходов и давления в системе без и с испытуемым элементом 111,Однако этот способ не обеспечивает точности определения в молекулярном режиме течения.Целью изобретения является повьппение точности в молекулярном режиметечения,Поставленная цель достигается тем,что после введения испытуемого элемента .уменьшают величину рабочегопотока до установления давления всистеме без испытуемого элемента, апроводимость определяют как изменение 0расхода рабочего тела.На чертеже схематично изображенаустановка для реализации предлагаемого способа. Установка содержит вакуумную систему, включающую камеру 1 с датчиком 2 давления и бюреткой 3, подключенную к вакуумному насосу 4. Испытуемый элемент 5 установлен в вакуумной системе между камерой 1 и насосом 4,Способ осуществляется следующим образом; В камеру 1 подают поток рабочего тела и измеряют его расход бюреткой 3. Давление в камере измеряют датчиком 2. Замеры проводят без испытуемого элемента 5 и с испытуемым элементом, установленным в системе После введения испытуемого элемента 5 в систему уменьшают величину рабочего потока до установления давления в камере 1 равным далению в системе без испытуемого элемента. При этом изменение расхода рабочего тела регистрируют с помощью бюретки 3. Проводимость испытуемого эле892254 Формула изобретения 2 Составитель Т,Довгелактор И,Николайчук ТехредЛ.Пекарь ректор К. Рошко ираж 910рственного комиобретений и отк а, Ж, Раушск 16/62ВНИИ 11 И Госупо делам113035, Мос Подписно аказ 1 та СССРтийнаб., д, 4/ Филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул. Проектная, 4 мента определяют как изменение расхода рабочего тела.При определении проводимости вакуумных систем таким образом точность измерения повышается на 15-20% в результате замеров давления одним датчиком, что уменьшает относительную погрешность измерения в молекулярном режиме течения. Способ определения проводимости вакуумной системы путем подачи в по следнюю потока рабочего тела и измерения расхода и давления в системебез и с испытуемым элементом, о т -л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности в молекулярномрежиме течения, после введения испытуемого элемента уменьшают величинурабочего потока до установления давления в системе беэ испытуемого эле 1 О мента, а проводимость определяют какизменение расхода рабочего тела.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе,1. Френкель Н.З. Гидравлика, М. - ;Л., Госэнергоиздат, 1956, с. 264.

Смотреть

Заявка

2588614, 07.03.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3605

ЛЕОНОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ, МУХИН ВИКТОР МАКСИМОВИЧ, ЗУЕВА ГАЛИНА ВЛАДИМИРОВНА, ФАТЕЕВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ЮШИН НИКОЛАЙ ПЕТРОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01M 13/00

Метки: вакуумной, проводимости, системы

Опубликовано: 23.12.1981

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-892254-sposob-opredeleniya-provodimosti-vakuumnojj-sistemy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения проводимости вакуумной системы</a>

Похожие патенты