Способ осаждения ферромагнитногопокрытия носителя записи

Союз Советскнк Социалистичесмнк Республик(22) Заявлено 27. 09. 76 (21) 2408906/18.-21 Рф) М Кфф с присоединением заявки М С 23 С 13/02 Государствеииый комитет СССР ио делам изобретеиий и открытий(23) Приоритет Опубликовано 15.07.81, Бюллетень И 9 26 Дата опубликования описания 15, 07. 81(54) СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ ФЕРРОМАГНИТ ПОКРЫТИЯ НОСИТЕЛЯ ЗАПИСИ слк ажд проекция схс для осажокрытия наи; на фиг,2 аку с- ами 1 с приь 3 ферр диск ител кран женны испа напр а дис Устрой водом 2 в магнитног с окнами вращающим Стрелками осаждения между телем ления прав ала1662. 3 Изобретение относится к технике осаждения металлических покрытий в вакууме, а конкретно к технологии осаждения ферромагнитных покрытий носителей .записи.Известен способ осаждения магнитных покрытий на основу путем одновре менного испарения и осаждения в вакууме по направлению, совпадающему с нормально к основе, ферромагнит ного и немагнитного материалов )1 .Данный способ не позволяет получить носители записи с высокой разрешающей способностью ввиду низкой коэрцитивной силы ферромагнитного покрытия (не более 10 Э), обусловленной нормальным осаждением ферромагнитного материала,Наиболее близким по техниче сущности к изобретению являетс способ осаждения ферромагнитно покрытия носителя записи путем умного термического нанесения кольких слоев на основу под уг относительно нормали,к поверхности основы, превышающими 60О причем угол между проекциями н лений потока осаждаемого матер на основу для смежных слоев 18 Полученное по этому способу ферромагнитное покрытие обладает при достаточной величине коэрцитивной силы 5(несколько сотен эрстед) низким значением коэффициента выпуклости (0,50,6) петли гистерезиса, что снижаетего разрешающую спосОбность. Этотнедостаток проявляется особенно сильно при суммарной толщине магнитногослоя, превышающей 500 А, т.е. притолщинах, наиболее приемлемых длямагнитной записи.Цель изобретения - повышение разрешающей способности носителя записи, 5 цель достигается тем, что наносятой одинаковой толщины, а толщинаого слоя не превышает 50 А. На фиг. 1 приведена мы устройства, служаще ения, ферромагнитного исковый носитель запи о же, вид А на фиг, 1 ство содержит ращения, испа о материала,5 и 6, распол ся диском 1 и 7 обозначены потока пара846596 И Заказ, 5382/37 1048 Подписное Способ осуществляется следующим образом.Диск 1 с приводом 2 вращения устанавливают относительно испарителя 3 так, чтобы. угол между нормалью к диску и направлениями осаждения пара в зонах осаждения, ограниченных окнами 5 и б экрана 4, составлял 65 ф, а угол между проекциями направлений на диск для каждого участка диска при его переходе к следующей зоне осаждения находился в пределах 18060. При равномерном вращении диска йрб исходит последовательное для каждого . его участка осаждение слоев ферромагнитного материала в зонах, ограниченных окнами 5 и б. Симметричное рас положение окон 6 тносительно испарите- . ля обеспечивает одинаковость скоростей и времен осаждения каждого слоя. Время осаждения выбирают, исходя из скорости осаждения, соответствую О щим нанесению слоя толщиной не более 50 А путем изменения скорости вращения диска. При превышении у отдельных слоев указанной толщины в 50 Х, а также при йарушении равенства толщин этих слоев происходит снижение коэффициента выпуклости петли гистерезиса полученного ферромагнитного покрытия с пЬявлением характерных изломов на ее боковых ветвях. Эти изломы свидетельствуют о том,что данное покрытие становится в магнитом отношении неоднородным. При скорости вращения диска 3000 об/мин и скорости осаждения кобальт-никелевого сплава 70 Со) 50 А/с время осаждения одного слоя 2 мс, что соответствует толщине слоя 0,1 Я. Интервал между осаждениями 4 мс и 12 мс,что соответствует времени прохождения участком диска зон, затененных ниж ней и верхней частями экрана 4.Покрытие осаждается в течение 3 минРи/4 до получения суммарной толщины 1800 А. Полученное магнитное покрытие обладает магнитной анизотропией с направлением легкого намагничивания, перпендикулярным радиусу диска в каждой его точке, и имеет коэрцитивную силу 500 Э, коэффициент выпуклости л 1, коэффициент прямоугольности ю 1. Указанные параметры получены для широкого диапазона суммар-, ных толщин магнитного покрытия (200-20000 А) и практически не изменяются при изменении последних.Использование предлагаемого изобретения позволяет получить высокоэрцитивные магнитные носители записи с высокой разрешающей способностью, что, способствует расширению оперативных возможностей вычислительных устройств и снижению стоимости хранения единицы информации. формула изобретения Способ осаждения ферромагнитногопокрытия носителя записи путем вакуумного термического нанесения нескольких слоев на основу под угламик нормали, превышающими 60; причемугол между проекциями направленийпотока осаждаемого материала на основу для смежных слоев 180 + 60о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения разрешающей способности, наносят слой одинаковой толщины, а толщина каждого слоя не превышает 50 А.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент ФРГ Р 1621263,кл. С 23 С 13/02, опублик. 1971.2. Патент Англии Р 1104709,кл. С 23 С 13/02, опублик. 1965