Способ изготовления сердечниковмагнитных головок

О П И С А Н И Е842944ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскииСоциалистически кРеспублик(23) Приоритет Опубликовано 30,06,81. Бюллетень Рй 24 по делам изобретений и открытий(53) УДК 534,852. .2 (088.8) Дата опубликования описания 30.06,81(72) Авторы изобретения Л.ф. Бондарев, М.Б. Халецкий, Г.М. Глеб аявитель 4) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕРДЕЧНИКОВ МАГНИТНЫХ . ГОЛОВОК к приборотехнике магИзобрете роению, в тной запи Известен е относи астности 5 нитопроводов и соединяемых собой посредс стекла магнит оксидирование в течение 120Однако в и чаемая толщин частично раст слоение оксид ого слоя б изготовлени оловок, вклюзанных техномагнитомягк существляемое и термообра 500-55 Оосчего на плас водят склеив ю кристалициент росффициент екоторые . а ЗОЕ и. ен также спосоов магнитныхрмирование свямн перемычкамиердечников, орафированием,на воздухе при2-3 ч. Послет клей и прои Извес еердечни чающий ф логическ пластин фотолито ботку их в течени ны,нанос лическ та (из термич окислы более) етения - повышение аьщтной характеристикихода годных магнитных Цель изоб тудно-част процента в пособ изготовления магиз пакета оксидируемыхпод давлением между твом расплавленного омягких пластин, где проводят при 300-500 ОС 115 , .г 1звестном,способе полу- а слоя 3-5 мкм, который воряется в стекле, и отние пластин в пакет под давлением в специальном приспособлении Г 21.Недостатками этого способа являются большая толщина изоляционного слоя,разброс по толщине и отслоение слоя от основного металла, что снижает амплитудно-частотную характеристику магнитной головки и процент выхода годных.Причиной указанных недостатков может быть многообразие окислов, получаемых при термическом окислении, например, для пермаллоя: ЕеО, Ю =ЕеаОЗ, е =ЕеОф И Оэф М 10 а, ЕеО, й 10, МоОз и МоО.Каждый окисел имеет своую структуру, коэффменение объема), коэеского расширения (нимеют прирост объем42944 4толщиной, при которой изоляции неменее 40 Мом при напряжении 100 В.Далее прЬводят склеивание пластинв пакеты под давлением до 100 кг/смв специальном приспособлении. Придальнейших операциях - сборке, шлифовке и доводке магнитных головокрасслоения сердечников отслоениеизоляционного слоя не происходит.10 При использовании предлагаемогоспособа улучшается и становится более равномерной амплитудно-частотная характеристика магнитной головки:повышается в 3-5 раэ выход годных 15 магнитных головок по сопротИвлениюизоляции между пластинами. головок путем получения тонкого изоляционного слоя, однородного по толщине, имеющего .сцепление с основным металлом.Поставленная цель достигается тем, что в способе, включающем формирование связанных технологическими перемычками магнитомягких сердечников, осуществляемое фотолитографированием, термообработку и склеивание пластин в пакет под давлением, после фотолитографирования наносят слоя алюминия уолщиной 0,3-0,5 мкм, а термообработку ведут в кипящей воде в течение 1 ч.При кипячении происходит окисление алюминия и полученная окись алюминия имеет прочность сцепления такую же, как у алюминия - 500- 900 кг/см, а это выше чем при нанесении окиси алюминия и много выше чем прочность сцепления окисной пленки магнитомягкого сплава.Способ осуществляют следующим образом,Формула изобретения"пособ изготовления сердечников20 магнитных головок, включающий формирование фотолитографированием связанных технологическими перемычкамимагнитомягких пластин сердечников,ух термообработку и склеивание в па 25 кет под давлением, о т л и ч а ю -щ и й с я терм, что, с целью улучше-. ния амплитудно-частотной характеристики и повышения выхода годных магнитных головок, после фотолитографиро 30 вания наносят слой алюминия толщиной0,3-0,5 мкм, а термообработку ведут.в кипящей воде в течение 1 ч.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе35 1, Авторское свидетельство СССР432586, кл. С 11 В 5/42, 23.06.72.2. Авторское свидетельство СССР613380, кл. С 11 В 5/42, 31.01.77(прототип). П р и м е р. Ппастины пермаллоя 81 НМА толщиной 20 мкм терморихтуют, между поликоровыми пластийамй при 800 оС в течение 30 мин в вакууме, затем фотолитографированием формируют связанные технологическими перемычками магнитомягкие пластины сердечников и наносят слой алюминия толщиной в пределах 0,3-0,5 мкм вакуумным испарением, возможно и катодным распылением или конденсацией с ионной бомбардировкой. Толщина в пределах 0,3-0,5 мкм является той минимальной Составитель Н, БалбашоваТехред 3. Фанта Корректор М. Демчик Редактор В. Матюхина Заказ 5118/67 Тираж 645 ВНИИПИ Государственного комитета СССР. по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4