Датчик давления

Сеюз СееетскикСоциалистическихРеспублии ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДИТЕ,ееЬСТВУ в 815538 61) Дополнительное к ввт. свид-ву22 Заявлено 25,05.79 (21) 2769374/18 3.0присоединением заявки М)М,К 1 Ь 21/1 Геерервтееенвй пюют СССР ее деам аэабрвтенее(7 Заявит ЧИК ДАВЛЕНИЯ 2Цель изобретения - увеличение чувствительности датчика и расширение диапазона измеряемых давлений.Поставленная цель достигается тем,что термореэистивный элемент выполненф в виде консолй из тензочувствительногоматериала с диэлектрическим покрытием,причем материалы термореэистивного элемента и покрытия выбраны с различнымикоэффищсентами температурного расширения, Покрытие на терморезистивном элементе датчика может быть выполненомногослойным.Нв фиг. 1 изображен предлагаемыйдатчик давления, общий вид; на фиг. 2 -то же, но при другой температуре.Нвгреваемый током терморезистивный элемент датчика 1 имеет консолеобразиую, в частности, П-образную, форму и выполнен иэ тенэочувствительного Юматериала, например кремния, Консолеобразнвя выступающая часть имеет поиз диэлектрика, например изкремния, с коэффициентом лиИзобретение относится к технике измерения давления, в частности к вакуумметрическим преобразователям, и можетбыть использовано для измерения давления разреженного газа в вакуумных установках различного назначения,Известны датчики давления, основанные на тепловых методах измерения давления в вакуумных системах 1.Наиболее близким к предлагаемому потехнической сущности и достигаемомуэффекту является датчик давления, содержащий термореэистивный элемент, подключенный к источнику питания. Терморезистивный элемент нагревается проходящим через него электрическим током;молекулы разреженного газа осуществляют перенос тепла от нагреввемогоэлемента, Значение давления определяется по изменению сопротивлении терморезистивного элемента 2,Однако датчики обладают недоста"очновысокой чувствительностью, а диапазонизмеряемых давлений ограничен,крмтие 2 двуокиси9 Тираж .907 П ВНИИПИ Государственного коми по делам изобретений и откр 13035, Москва, Ж, Раушскаяаказ 1021/6 одписноетета СССытийнаб д; 5 ал ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная нейного расширения, отличающимся от коэффициента линейного расширения тензочувствительного материала. Нагреваемый током элемент датчика закреплен в держателе 3 таким образом, что выступающая консолеобразная часть датчика может беспрепятственно изгибаться под действием возникающих при изменении температуры напряжений. К датчику подходят токоподводы 4.Датчик работает следующим образом.Понижение давления разреженного газа вызывает увеличение температуры терморезистивного элемента датчика и, в соответствии с температурным коэффициентом сопротивления материала, изменение его электрического сопротивления, Кроме того, изменение температуры терморезистивного элемента датчика при изменении давления благодаря указанным конструктивным особенностям приводит к изгибу выступающей (консолеобразной) части нагреваемого электрическим током элемента датчика консолеобразной формы (фиг.2), Изгиб, деформация элемента, в свою очередь, вызывают дополнительное изменение сопротивления датчика и обес, печивают дополнительное увеличение сигнала. Таким образом, отличительные особенности конструкции датчика давления специально предусматривают создание условий для возникновения механи 5538 4ческих напряжений, приводящих к дефор- .мации, и их использование для повышения чувствительности и расширения диапазона измеряемых давлений,Использование предлагаемого устройства позволяет увеличить выходной сигнал и чувствительность датчика и расширить диапазон измеряемых давлений. Формула изобретения Датчик давления, содержащий терморезистивный элемент, подключенный к источнику питания о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения чувствительности и расширения диапазона измерения, терморезистивный элемент вы.полнен в виде консоли из тензочувствительного материала с диэлектрическим покрытием, причем материалы терморезистивного элемента и покрытия выбраны с разными коэффициентами температурного расширения. 25И:точники информации,принятые во внимание при экспертизе3 Востров Г. и др. Вакуумметры. Л.,1967, с. 51.