Устройство для измерения угловыхперемещений обекта

с.оюз .оеетскихСоциалистическихРеспублик ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ(61) Дополнительное к авт. свмд-ву(22) Заявлено 08.06. 79 (21) 2777822/25-28с присоединением заявки Йо -(51)М; КлР 6 01 В 11/26 С 01 В 9/02 Государственный комитет СССР яо дедам изобретений и открытий.1 С 088.8) Дата опубликования описания 250381(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙОБЪЕКТА ния разности оптических ходов лучейот угла поворота объекта и в низкойчувствительности измерения.Целью изобретения является повышение чувствительности и линейностиизмерения.Поставленная цель Достигается тем,что устройство снабжено идентичнымоптическим элементом, жестко связанным с первым и установленным в другомплече интерйерометра.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измеренияугловых перемещений объекта.15 Устройство содержит источник 1света, светоделитель 2, два жесткосвязанных идентичных оптических элемента 3 и 4для параллельного смещения луча, опорные отражатели 5 и б и20 приемный блок 7,Работает устройство следующим образом.Параллельный пучок света от источника 1 света делится светоделителем2 на две ветвиВ каждой ветви лучи,пройдя через оптические элементы 3 и4,параллельно смещаются и далее, отразившись от опорных отражателей 5 и6, возвращаются по первоначальному30 пути на светоделитель 2, интерфери-Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых перемещений объекта, например подвижного зеркала дефлектора.Известен двухлучевой интерферометрдля измерения линейных перемещений, в измерительном плече которого под некоторым углом к световому лучу установлены два параллельных зеркала. Интерферометром можно измерять угловые перемещения, если оба зеркала закрепить на подвижном объекте 11.Недостаток известного интерйерометра заключается в явно выраженной нелинейной зависимости изменения разности оптических ходов лучей от угла поворота объекта.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является . устройство для измерения угловых перемещений объекта, содержащее источник света, двухлучевой интерферометр, в одном плече которого установлен укрепленный на объекте оптический элемент для параллельного смещения луча, и Приемный блок 2;Недостаток устройства заключается в нелинейной зависимости изменеСпециальное конструкторское бюро научного приборостроения СО АН СССР-Оа,е 3=4 дзи 1 Для устроментами, каждв виде двух,параллельныхческих ходов гд ВНИИПИ Заказ 1011/66 Тираж 642 Поцписн Филиал ППП "Патент", г.ужгород,ул.Проектная,руя между собой. При угловом перемещении жестко связанных между собой оптических элементов 3 и 4 меняется разность хода в двух ветвях интерферометра, что приводит к смещению интерференционной картины. Процесс регистрируется приемным блоком 7.Для устройства с оптическими элементами, каждый из которых выполнен в виде преломляющей пластинки, разность оптических ходов равна А угол падения лучей на пластинку в исходном положении;угол поворота пластинки относительно ее исходного положения;д - толщина пластины, и - показатель преломления дляматериала пластинки. При малых, величинахформула обретает вид ства с оптическими элеый из которых выполненразделенных воздухом,зеркал, разность оптиравна=4 ЙЧ зпА,угол падения лучей на зеркала в исходном положении;(. - угол поворота зеркал относительно их исходного положения;д - расстояние между зеркалами.Предлагаемое устройство имеет более высокую чувствительность и линейность измерения.Повышение линейности измеренияобъясняется тем, что нелинейность визменении длины оптического пути отугла поворота объекта в одном плечекомпенсируется нелинейностью в изменении длины оптического пути во второмплече интерферометра.В качестве оптического элементадля параллельного смещения луча можетиспользоваться непосредственно зеркало механического дефлектора, свободное таким образом от дополнительных масс, что приведет к повышениюбыстродействия дефлектора.Формула изобретенияустройство для измерения угловыхперемещений объекта, содержащее источник света, двухлучевой интерферометр, в одном плече которого установлен укрепленный на объекте оптический элемент для параллельногосмещения луча, и приемный блок, о тл и ч а ю щ е е с я тем, что, сцелью повышения чувствительности илинейности измерения, оно снабженоидентичным оптическим элементом,жестко связанным с первым и установленным в другом плече интерферометра.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 418711, кл. 8 01 В 9/02, 1974.2. Патент СНА Р 3782826,кл. 6 01 В 9/02, 1974(прототип) .