Интегрально-оптический тензодатчик
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 815488
Авторы: Быковский, Смирнов, Толстопятов
Текст
Союз Советскик Социалистическик РеспубликОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕПЬСТВУ о 1815488(22) Заявлено 04.06.79 (21) 2776521/25-2с присоединением заявки Нов(23) Приоритет -51)М. Кл 11/16 осударствемиый комитет СССР по делам изобретеиий и открытий(72) Авторы изобретен ыковский, В. Л. Смирнов и О о Красного Знинститут сковский ордена Трудо инженерно-физически1) Заявите ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ТЕНЗОДАТЧИК ия - повышение чу прощение конструк ометля из я кт ьзован апряже атчик тоящие етовод ия по о Изобретение относитс енз рии и может быть испол о д мерения механических н ний,Известны оптические д и механи ческих напряжений, сос из опти ческого волоконного св а и внеш них источников излучен , ляризатора, анализатора и Фотоприемника 1Недостатком этого устройства является низкая чувствительность к механическим напряжениям из-за деполяризации излучения в волоконном све товоде.;Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является интегральной-оптический тензодатчик, сс 4 цержащий источник излучения, Фото- приемник и подложку с тензочувствительным элементов в виде полупроводникового волновода, выполненногО по планарной технологии, соединенные между собой волоконными световодами 21.Недостатком этого устройства явля ется то, что необходимы внешние источник излучения и Фотоприемник, чт усложняет конструкцию, а наличие волоконных световодов снижает чувствительность устройства из-за деполяризации излучения. Цель изобретен вствительности и уции тензодатчика.С этой целью источник излученияи фотоприемник выполнены из полупроводника на той же подложке по планарной технологии, асостав материалполупроводника волновода отличаетсяна 1-5 по одной из компонент от материала полупроводника источника излучения и Фотоприемника.На чертеже показана схема интегрально-оптического тензодатчика,Тензодатчик содержит подложку 1с нанесенными на нее по планарнойтехнологии источником 2, Фотоприемником 3 и тензочувствительным элементом в виде волновода 4.Интегрально-оптический тензодат чик работает следующим образом.Световое излучение от источника2 распространяется по полупроводниковому волноводу 4 и регистрируетсяфотоприемником 3. При приложении механического воздействия Р к волноводу 4 его параметры изменяются, чтоприводит к модуляции излучения и изменению сигнала с фотоприемника 3.Интегрально оптический датчик подоб ного типа обладает небольшими габа815488 Формула изобретения Сос итель Н. Ужовд ИабУРКа Корректор И. ИабИ Тираж 642ВНИИПИ Государственного по делам изобретений и Подписноеомитета СССткрытийская наб 333033 Иоокиа К"33, Рауш д. 4/5еилиал ппп патеит, г. укгород, ул. проектеаи ритами и имеет высокую чувствительность Интегрально-оптический тензодат- . чик, содержащий источник излучения, фотоприемник.и подложку с тензочувствительным элементом в виде полупроводникового волновода, выполненного по планарной технологии, соединенные между собой волоконными световодами, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и упрощения конструкции, нсточник излучения и фотоприемник выполнены из полупроводника на той же подложке, а состав материала полупроводника волновода отличается на 1-5по одной из компонент от материалаисточника излучения и фотоприемника. Источники информацииупринятые во внимание при экспертизе1. Патент СЮА Р 3645603,кл. 350-149, 1972-(аналог) .2. Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2633824/25-28кл. О 01 В 11/16, 1978 прототип).
СмотретьЗаявка
2776521, 04.06.1979
МОСКОВСКИЙ ОРДЕНА ТРУДОВОГО КРАСНОГОЗНАМЕНИ ИНЖЕНЕРНО ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ
БЫКОВСКИЙ ЮРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, СМИРНОВ ВЛАДИМИР ЛЕОНИДОВИЧ, ТОЛСТОПЯТОВ ОЛЕГ ИВАНОВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/16
Метки: интегрально-оптический, тензодатчик
Опубликовано: 23.03.1981
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-815488-integralno-opticheskijj-tenzodatchik.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Интегрально-оптический тензодатчик</a>
Предыдущий патент: Способ измерения геометрическихразмеров прозрачных труб
Следующий патент: Устройство для измерения угла поворотаобектов
Случайный патент: Орудие для полосной расчистки вырубокkf. fr-. ffi7 fif 1 а ут-•1янпатенш-яхнгиеск: