Тензометрический преобразователь

Союз Советских Социалистических РеспублинОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДИТВЗЬСТВУ(22) Заявлено 210379 (2) 2739566/18-10 (5 ф) М Кл с присоединением заявки М 0 019/04 Государственный комитет СССР по делам изобретений и открытий(54) ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ О Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь. зовано при конструировании датчиков неэлектрических величин, например датчиков давления,По основному авт. св. Р 605131 известно тензометрическое устройство, содержащее тензорезисторы, например из кремния, воспринимающие деформацию и преобразующие ее в изменение сопротивления плеч мостовой схемы, резисторы балансировки, выполненные из того же материала и включенные параллельно меньшим частям тензореэисторов, сопротивление которых равно где кн, йи к ; номинальное,20 максимальйое и мийимальное значения тензорезисторов, получаемые в результате технологического разбаланса 13 .25Недостатки устройства - необходимость применения дополнительных элементов термокомпенсации, изменения чувствительности при проведении измерений в условиях меняющихся температур, В этом случае применяются навес-З 0 ные терморезисторы, что снижает точность тензопреобраэователя.Цель изобретения - повышение точности тензопреобразователя.Указанная цель достигается тем, что в устройство введен термореэис" тор, выполненный иэ полупроводникового материала, расположенный сим" метрично относительно плеч мостовой схемы, ориентированный в продольном направлении под углом 45 к кристаллографическим осям.Кроме того, терморезистор выпол" нен иэ кремния и подключен через до" полнительный резистор к выходной диагонали мостовой схемы.На фиг. 1 изображена конструкция устройства; на фиг. 2 - электрическая схема тензопреобразователя.Тензопреобразователь включает подложку 1, на которой размещены тензорезисторы 2-7, элементы балансировки 8 и 9, образующие мостовую схему, .терморезистор 10 .расположенный симметрично относительно плеч мостовой схемы и внешний резистор 11.Тензопреобразователь работает следующим образом.Воздействие механического парамет ра, например давления, вызывает де800742 Формула изобретения формации в кремниевой подложке 1,которая передается к тенэорезисторам, вызывая появление раэбаланса мостовбй схемы, Терморезистор 10 воспринимает деформации в меньшей степени за счет того, что он имеет меньшие габариты и ориентирован под 45 ф и направлениям кристаллографических осей кремния, например к направлениям И 11 и 01 Д кристаллографической плоскости 100 .Воздействие температуры на тензопреобразователь одновременно передается как тенэорезисторам, так и терморезистору, так как они расположены в теле одной подложки 1 и их связь с ней осуществляется на атомарном уров не без применения клеев и других соединяющих элементов. Сопротивление терморезистора образует делитель выходного напряжения мостовой схемы, состоящий иэ внутреннего сопротивле О ния моста, образованного тензорезисторами 2-7 и элементами 8 и 9 балансировки внешнего резистора 11, и сопротивления. терморезистора, с которого снимается выходное напряжение.Внешний резистор 11 необходим для согласования границ изменения сопротивления терморезистора из-за технологического разброса его температурного коэффициента сопротивления (ТКС),а также величин сопротивлений тензорезисторов.Использование предлагаемого тенэометрического преобразователя позволяет повысить точность и стабильность измерений датчиков механических величин,. упростить изготовление, настройку и снизить их стоимость. 1. Тензометрический преобразователь по авт. св. Р 605131, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности в него введен терморезистор, выполненный из полупроводникового материала, расположенный симметрично относительно плечмостовой схемы и ориентированный впродольном направлении под углом45 к кристаллографическим осям.2. Преобразователь по п,1, о тл и ч а ю щ и й с я .тем, что терморезистор выполнен иэ кремния и подключен через дополнительный резистор к выходной диагонали мостовойсхемы.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРР 605131, кл. 0 019/04, 16,06.76,ВНИИПИ Заказ 10404/ Тираж 918 Подписн Филиал ППП "Патент",г.ужгород,ул.Проектна