Способ крепления образцов прирентгеноструктурном анализе

О И-ЪЙ Союз Советских Соцмалнстнческмх республик(22) Заявлено 04. 04,79 (21) 2741288/18-25 с присоединением заявим Йо -6 01 й 23/207 Государственный комитет СССР но делам изобретений н открытий(088,8) Дата опубликования описания 26.0181(72) Авторы изобретения В.Г.Фомин, Е,В.Лопатин, М.М.Хацкевич и П.И.Ременюк Государственный ордена Октябрьской Революции научноисследовательский и проектный институт редкометаллургическойпромышленности(54) СПОСОБ КРЕПЛЕНИЯ ОБРАЗЦОВ ПРИ РЕНТГЕНОСТРУКТУРНОМ АНАЛИЗЕ Поставленная цель достигается тем,что в способе крепления образцовзаключающемся в установке образца взажимной рамке, образец помещают впакет из слабопоглощающего рентге новское излучение мягкого, материала,и в зажимной рамке закрепляют свободные края укаэанного пакета.1П р и м е р. Способ проверяют при ЗД исследовании кривизны партии эпитакИзобретение относится к области рентгеноструктурного анализа кристаллических материалов и может быть применено в рентгеновской дифракто.- Метрии .плоских пластин полупроводни,- Мовых материалов при контроле совершенства строения подложек и эпитаксиальных структурИзвестен способ крепления образцов при рентгеноструктурном анализе с помощью механизма поджатия к рамке с опорными поверхностями 1.Известны также способы крепления плоских образцов к опоркой поверхности с помощью вакуумной присоски (,2) и с помощью клея или пластилина 3.Однако все указанные способы тем или иным образом вызывают возникновение напряжений в тонких пластинах, что приводит к искажению результатов измерений.Наиболее близким к предлагаемому . техническим решением является способ крепления образцов, заключающийся в установке образца в зажимной рамке и позволяющий .проводить исследования плоских пластин беэ возникновения ,в них напряжений 4). Однако данный способ не применимпри исследовании структурных особен- .ностей (кривизны атомных плоскостей, 5 напряжений блочности и т.п,) изогнутых тонких (толщина много меньше остальных размеров) ,пластинтак какв этом случае практически невозможнозакрепить образец без его деформиро вания и возникновения дополнительныхнапряжений, которые могут исказитьрезультаты анализа. Цель изобретения - улучшение воспроизводимости и уменьшения погреш ности анализа изогнутых образцов эа ,счет предотвращения возникновения в них напряжений.798569 1 Эф.о 126 ОКАБ)ХЮ диаметр структуры 40 мм, толщйнаэпитаксиального слоя кремния, легированного фосфором, 15 мкм, толщинаподложки кремния, легированного сурьмой,250 мкм, Иэмерейие кривизныструктур выполняют на двухкристалльном рентгеновском спектрометре, смоктированном на установке ДРОН, сгониометром ГУРи гониометрическокголовкой ГП. Исследуемые образцыпомещают в полиэтиленовый пакет 1 зквадратной формы (сторона квадратана 2 мм больше диаметра структуры)..Затем свободные концы пакета зажимают,в рамке гониометрической головкиГПи проводят измерение кривизны 20структуры по смещению пиков К сиК с( компонента дублета характеПредлагаемый способ Известный способ м-" И 1 расч;.Авторское свн 7913, .6 01 М ельство СССР3/201973дЬ 45 252,Патент США 9 4078175, 250-277,опублик. 1978,З.Хейкер Д.И. Рентгеновская дифрактометрия монокристаллов Л.,"Машиностроение,"1973, с,128.ф 4.техническое описание и инструция по эксплуатации гониометра ГУРЛ 1972, с.31 (прототип).Тираж 918 ПодписноеУжгород, ул. Проектная, 4 Ю 5 Филиал ППП "Патент.иальных структур кремния ориентации (111 ) марки Формула изобретенияСпособ крепления образцов при рентгеноструктурном анализе, заклю,чающийся в установке образца в зажимной рамке, о т .л и ч а ю щ и й с тем, что, с целью улучшения воспроизводимости и уменьшения погрешности анализа изогнутых образцов за счет предотвращения возникновения .в них напряжений, образец помещают в пакет из слабопоглощающего рентгеновское излучение Мягкого материала, и в зажимной рамке закрепляют свобод ные края укаэанного пакета.ВНИИПИ Заказ 10012/52 ристического излучения,СцК, - отражения (444), Путем. зажима структуры непосредственно в гоннометрической головке ГПпроводят измере ние кривизны другой партии этих же структур. Кривизну измеряют в четырех точках, расположенных крестообразно, и определяют среднее значение. Кривизна, как правило, имеет сферический характер. В таблице приведены сравнительные данные кривизны структур, полученные при двукратном закреплении известным способом и предлагаемым.Как видно из таблицы применение предлагаемого способа крепления образца значительно улучшает воспроиэводимость и уменьшает погрешность измерений кривизны образцов, так отклонение измеренных значений от рассчитанных (погрешность абсолют" ных измерений ) в среднем уменьшается от 51 до 8, а невоспроизводимость результатов от 62 до 4,8.г Источники ин