Патенты с меткой «прирентгеноструктурном»

Номер патента: 798569

Опубликовано: 23.01.1981

Авторы: Лопатин, Ременюк, Фомин, Хацкевич

МПК: G01N 23/207

Метки: анализе, крепления, образцов, прирентгеноструктурном

...,пластинтак какв этом случае практически невозможнозакрепить образец без его деформиро вания и возникновения дополнительныхнапряжений, которые могут исказитьрезультаты анализа. Цель изобретения - улучшение воспроизводимости и уменьшения погреш ности анализа изогнутых образцов эа ,счет предотвращения возникновения в них напряжений.798569 1 Эф.о 126 ОКАБ)ХЮ диаметр структуры 40 мм, толщйнаэпитаксиального слоя кремния, легированного фосфором, 15 мкм, толщинаподложки кремния, легированного сурьмой,250 мкм, Иэмерейие кривизныструктур выполняют на двухкристалльном рентгеновском спектрометре, смоктированном на установке ДРОН, сгониометром ГУРи гониометрическокголовкой ГП. Исследуемые образцыпомещают в полиэтиленовый пакет 1 зквадратной формы...