Преобразователь давления

О П И С А Н И Е .,787920ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскнхСоциалистическихРеспублик Фф/="(22) 3 а я влено 02.11.77 (21) 2541141/18 - 10с присоединением заявки Лвпо долам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения М,И. Лунев, В. Н, Коковина и В. А. Жуков Опытное конструкторско. технологическое бюро "Кристалл"с опытным производством Ленинградского технологическогоинститута им. Ленсовета(54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ Изобретение относится к контрольно-измерительной, технике, а именно к устройствам измерения давления.Известно устройство, содержащее мембрану,.заделанную в корпусе с нанесенными на нейтенэореэисторами 11.Недостатком устройства является необходимость создания автоматического регуляторатемпературы.Наиболее близким по технической сущностии достигаемому результату к предлагаемомуявляется, устройство, содержащее основаниеи соедине;ную с ним полупроводниковую пластину, с выполненными в ней мембранами, сразмещенными на них тенэорезисторами измерительного и: деформированного компенсационно го преобразователя 21.Недостатком указанного решения являетсянедостаточная точность из.за нестабильностидеформации компенсационного преобразователя.Цель изобретения - повышение точностиизмерения,Указанная цель достигается тем, что полость,образованная основанием и профилем мембраны компенсационного преобразователя, эапол. иена материалом, коэффициент температурного расширения которого равен коэффициенту температурного расширения материала пластины.На фиг, 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид; на фиг. 2 - измерительная схема,Преобразователь давления содержит полупроводникову;о пластину 1, на котор:й методами планарной технологии сформированы мембрана 2 измерительного и мембрана 3 компенсационного преобразователей давления.Мембрана 2 жестко соединена при помощи связующего ьещества 11 с основанием 4, образуя, таким образом, вакуумную ячейку 5 измерительного преобразователя. Полость в полупро. водниковой пластине 1 с мембраной компен. сационного преобразователя заполнена связующим веществом 11, образуя ячейку 6 компенсационного преобразователя. На мембране 2 измерительного преобразователя размещен изме. рительный преобразователь 7 деформации в электрический сигнал, а на мембране 3 компенсационного преобразователя давления размещен787920 4поступают на вход схемы 10 обработки, гд9 из сигнала с измерительного преобразователя 7исключается температурная составляющая. ПредПредлагаемое изобретение обеспечивает точностьизмерения, расширяет рабочий температурныйдиапазон прибора, высокую технологичностьизготовления преобразователя,7 г Г 3 Фие. / е.8 Составитель В. Козловхред Ж. Кастелевич,рректор Г. Назаров едактор М, Келемеш Тираж 1019НИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий13035, Москва, Ж - 35, Раушская наб., д. 4 Подписно Заказ 8338 Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,3компенсационный преобразователь 8 деформации в электрический сигнал. Выход источника питания соединен со входами измерительного и компенсационного преобразователей деформа ции в электрический сигнал, выходы которых, в свою очередь, соединены со входом схемы 10 обработки.Устройство работает следующим образом.Напряжение с выхода источника 9 питания подается на вход измерительного 7 и компен сационного 8 преобразователей деформации в электрический сигнал. При воздействии на мембрану 2 измеряемого давления на выходе измерительного преобразователя 7 деформации в электрический сигнал появляется сигнал, зависящий от величины измеряемого давления и температуры преобразователя 7. Сигнал с компенсационного преобразователя 8. деформации в,электрический сигнал зависит только от его температуры и не. зависит от величины измеряемого давления, так как мембрана 3 компенсационного преобразователя деформирована во время формирования ячейки 6 компенсационного преобразователя и жестко зафиксирована, например, связующим веществом 11. Так как измерительный и компенсационный преобразо ватель деформации расположены на одной плас. тине 1, то температура их близка друг другу. Сигналы с выхода измерительного 7 и компенсационного 8 преобразователей деформации 1 О Формула изобретения Преобразователь давления, содержащий основание и соединенную с ним профилированнуюполупровЪцниковую пластину с выполненнымив ней мембранами с размещенными на нихтензорезисторами измерительного и деформиро.ванного компенсационного преобразователей,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с цельюповышения точности измерения, полость, образованная основанием и профилем мембраныкомпенсационного преобразователя, заполненаматериалом, коэффициент температурного расширения которого равен коэффициенту температурного расширения материала пластины.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент ГДР У,.110343, кл, 42 К 7/05,1975,2. Авторское свидетельство СССР по заявке9 2497514/18 - 10, кл, 6 019/06, 17.06,77.