Спектрометр оже-электронов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 783661
Автор: Адельсон
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик(1)М К 3 6 01 И 23/227 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытнй(72) Автор изобретения Я. М. Адельсон Научно-исследовательский институт прикладной Физики при Иркутском государственном университете им. А;А. Жданова(54) СПЕКТРОИЕТР ОЖЕ-ЭЛЕКТРОНОВ Изобретение относится к области эмиссионной оже-спектроскопии и может быть использовано при измерениях спек. троэнергий оже-электронов, испускаемых веществом.Известен спектрометр оже-электронов в котором возбужцающее излучение модулируют гармойическим сигналом и используют Фазочувствительное детектирование вторичного излучения.Данный спектрометр сложен в техническом исполнении и имеет малую разрешающую способность. Известен спектрометр оже-электронов, содержащий источник возбуждения образца, энергоанализатор, источник напряжения развертки и модулирующий генератор, подключенные к энергоанализатору, детектор электронов, усили О тель, подключенный через разделительный конденсатор к детектору электронов, избирательный усилитель, Фазочувствительный детектор, соединенный вторым входом с выходом модулирующего генератора, и регистрирующее устройство, подключенное вторым входом к источнику напряжения развертки. Однако известный спектрометр имеет низкую чув" ствительность и точность измерений. Целью изобретения является повыше-. ние чувствительности и точности изме" рений.Поставленная цель достигается тем, что в спектрометр введены второй модулирующий генератор, подключенный к энергоанализатору, второй фазочувствительный детектор и полосовой фильтр, при этом полосовой фильтр и второй Фазачувствительный детектор последовательно включены между усилителем и избирательным усилителем, а второй вход второго Фазочувствительного детектора соединен со вторым выходом второ 1 э модулирующего генератора.На чертеже приведена Функциональная схема описываемого спектрометра ожеэлектронов. Спектрометр содержит источник 1 возбуждения образца, исследуемый образец 2, знергоанализатор 3, источник 4 напряжения развертки и модулирующий генератор 5, подключенные к энергоанализатору 3, детектор 6 электронов, разделительный конденсатор 7, усилитель 8, избирательный усилитель 9, Фазочувствительный детектор 10, подсоединенный вторым входом к модулирующему генератору 5, регистрирующее уст. 783661 Формула изобретения аказ 8532/45одписное НИИПИираж 1019 илиал ППП "Патент", Ужгород, ул. Проек ройство 11, подсоединенное вторым входом к источнику 4 напряжения развертки, второй модулирующий генератор 12, подключенный к энергоанализатору 3, последовательно соединенные полосовой Фильтр 13 и второй фазочувствительный детектор 14, подсоединенный вторымГвходом к выходу модулирующего генератора 12.Спектрометр работает следующим образом.Источник 1 возбуждения образца воз- действует на исследуемый образец 2, в результате чего образцом 2 испускается поилок электронов, поступающий на энер-: гоанализатор 3, к которому прикладыва ется сигнал от источника 4 напряжения 15 развертки и сигналы от модулирующих генераторов 5 и 12, частоты которых Я,и 03 соответственно установлены далекими по отношению друг к другу, а именно ЫЯ., Прошедший через энер О гоанализатор 3 электронный потокрегистрируется детектором 6 электронов, Сигнал детектора б через разделительный конденсатор 7 поступает на предварительный усилитель 8, а затемэЯ на вход полосового фильтра 13, где выделяется сигнал с несущей частотойЫ и модулирующей частотой Я который затем детектируется фазочувствительным детектором 14, Опорный сигнал на Фазочувствительный детектор 14 пода- Э ется от второго модулирующего ге" нЕратора 12. С выхода второго фазочувствительного детектора 14 сигнал поступает на избирательный усилитель 9, настроенный на частоту Д., и детектируется фазочувствительным детектором 10, опорный сигнал на который подается от модулирующего генератора 5, Выходной сигнал ФФЪоЧувствительного детектора 104 О поступает на регистрирующее устройство 11,на второй вход которого подается сигнал от источника 4 напряжения разверткиПрименение в описанной схеме измерения второй производной тока ожеэлектронов с использованием двух частот имеет значительные преимуществаперед обычным одночастотным методом.Возможность одновременного измерения первой и второй производных токаколлектора является отличительной особенностью предложенного устройства ипозволяет идентифицировать сигнал отслучайных помех и Флуктуации шумов,что значительно повышает чувствительность и тЬЧность измерений,Спектрометр оже-электронов, содержащий источник возбуждения образца, энергоанализатор, источник напряжени развертки и модулирующий генератор, подключенные к энергоанализатору, детектор электронов, усилитель, подключенный через разделительный конденсатор к детектору электронов, избирательный усилитель, фазочувствительный детектор, соединенный вторым входом с выходом модулирующего генератора к источнику напряжения развертки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения чувствительности и точности измерений, в спектрометр введены второй модулирующий генератор, подключенный к энергоанализатору, второй фазочувствительный детектор и поло совой Фильтр, при этом полосовой Фильтр и второй Фазочувствительный детектор последовательно включены между усилителем и избирательным усилителем, а второй вход второго Фазочувствительного детектора соединен со вторым выходом второго модулирующего ,генератора.
СмотретьЗаявка
2698365, 18.12.1978
НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ ПРИ ИРКУТСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. А. А. ЖДАНОВА
АДЕЛЬСОН ЯКОВ МОИСЕЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01N 23/227
Метки: оже-электронов, спектрометр
Опубликовано: 30.11.1980
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-783661-spektrometr-ozhe-ehlektronov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Спектрометр оже-электронов</a>
Предыдущий патент: Коллимирующее устройство
Следующий патент: Устройство для измерения температурной депрессии раствора
Случайный патент: Тампонажный раствор