Устройство для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин

(22) Заявлено 28.08,78 (21) 2662766/25-23 1) М КлзВ 24 В 41/00 явкиприсоединением Государственный комите 6 С С,Р(088.8) по делам изобретений н открытии2) Авторы изобретения 71) Заявител 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИСПРАВЛЕНИЯ УГЛА СРЕЗАСТАЛЛОГРАФИЧЕСКИ ОРИЕНТИРОВАННЫХ ПЛАСТИ Изобретение относится к области радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении пьезокварцевых пластин.Известно устройство для исправления угла среза пьезокварцевых пластин, содержа,щее корпус и рабочие секции, служащие для размещения на них пластин и выполненные в виде параллельно расположенных линеек - столов,11.Недостатком известного устройства явля ется необходимость в наличии мерных плиток, соответствующих возможным отклонениям партий пластин от кристаллографических осей.Недостатком известного устройства явля- тб ется невысокая точность обработки и узкие технологические возможности вследствие применения устройства только на плоско- шлифовальных станках с прямоугольным столом. 20Целью изобретения является повышение точности обработки и расширение технологических возможностей,Данная цель достигается тем, что в уст,ройстве для исправления угла среза кристаллографически ориентированных пластин, состоящем из корпуса и рабочих секций, служащих для размещения на них пластин, каждая из рабочих секций выполнена в виде одной неподвижной и одной подвиж нои втулок, установленных на общем валу, имеющих по одному перпендикулярному и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующих друг с другом по перпендикулярным торцам, причем на скошенном торце подвижной втулки, снабженной фиксатором, укреплена поворотная кассета имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой пластины.На чертеже изображена конструкция одной рабочей секции устройства и схема настройки секции на определенную поправку по углу среза.Каждая рабочая секция состоит из двух втулок - подвижной 1 и неподвижной 2, общего пустотелого вала 3, с помощью которого втулки крепятся к корпусу 4, в полости которого создается вакуум; фиксатора 5 и кассеты б. Каждая из втулок имеет соответственно перпендикулярные и скошенные под одинаковыми углами торцы, Постоянный контакт втулок при взаимном вращении осуществляется по перпендикулярным торцам, при этом один из скошенных торцов постоянно служит основанием, а на торце второго базируется исправляемая пластина, Фиксатор 5 служит для фиксирования относительного углового положения втулок 1 и 2, а в сквозное отверстие вращающейстткйссеть 1 о устайавливается обрабатываемая пластина 7.Настройка осуществляется следующим образом. Базовая плоскость скошенного торца подвижной втулки 1 ориентируется на требуемый угол, равный поправке угла плоскости среза пластины, путем вращения подвижной втулки 1 относительно неподвижной втулки 2 по лимбу. Для данных условий угол поворота подвижной втулки 1 может быть определен по формулесов р - совзар = агссоз81 пфа где р - угол поворота подвижной втулки;р - угол пойравки угла плоскости среза пластины;а - постоянный угол скоса торцов втулок.Требуемый угол фиксируется фиксатором 5. Далее в соответствии с формулой, выведенной методами сферической тригонометрии, должно быть откорректировано направление наклона плоскости среза где р - угол направления наклона плоскости среза.Корректировка направления наклона плоскости среза пластины осуществляется за счет поворота кассеты б по лимбу на требуемый угол гр. Исправляемая пластина 7 устанавливается в кассеТу. Такая жепроцедуа выполняется с другими секциями. После Рэтого создается разрежение в полости с екции, и пластина фиксируется на поверхности втулки 1 в соответствии с выбранной ориентировкой. При повороте втулки 1 на угол Р от 0 до 180 угол поправки среза р изменяется в пределах от 0 до 2 а. Диапазон изменения угла р устанавливается в зависимости от точности пластин по углу среКорректор Т Трушкина хред И, Пенчко актор В. Смирягина Поди ис ирах д,495 аказ 1990/5 Типография, пр. Сапунова, 2 ср = агс 1 д сова 1 д - ,2,за на операцйях резки й составляет в ре альных условиях 10 - 15. Исходя из этого, значения постоянных углов а выбираются в пределах -5 - 8, но могут в общем 5 случае иметь практическое значение до 45.Угол скоса торцов втулок а в общем видеопределяется выражением45- а) 10Где рпах - максимальная поправка угла среза исправляемых пластин.Предложенное устройство повышает точность обработки по сравнению с предыду щими методами в 5 и более раз за счет уве.личения передаточного о- ггошения движения регулирования к двпи нрпо установки. Формула изобретения20Устройство для исправления угла срезакристаллографически ориентированных пластин, состоящее из корпуса и рабочих секций, служащих для размещения на них пластин, отличающееся тем, что, с целью повышения точности обработки и расширения технологических возможностей,каждая из рабочих секций выполнена в виде одной неподвижной и одной подвижнойвтулок, установленных на общем валу,30имеющих по одному перпендикулярному иодному скошенному под равными угламиторцу и контактирующих друг с другом поперпендикулярным торцам, причем на ско 35 щенном торце подвижной втулки, снабженной фиксатором, укреплена поворотнаякассета, имеющая сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправляемой пластины,Источники информации,40принятые во внимание при эксперти ез1. Авторское свидетельство СССРМ 296371, кл, В 24 В 41/00, 12.03.б 9.