Способ изготовления магнитной головки

( )752464 ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических Республик(23) Приорите СССР по делам изобретений и открытий) Опубликовано 30.07.80. Бюллетень) Дата опубликования описания 30.07.8(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАГНИТНОЙ ГОЛО Это достигается благодаря тому, что при способе изготовления магнитной головки, включающем нанесение износостойкого слоя на рабочую поверхность головки путем напыления в вакууме, бомбардировку пучком ионов элементов насыщения, в качестве износостойкого слоя используют магнитомягкий материал, например феррит или сендаст, а в качестве элементов насыщения - аргон или азот с энергией 160 - 200 КЭВ и дозой облучения 10" - 10" см-, после чего проводят отжиг магнитной головки в атмосфере азота или аргона при температуре 550 в 6 С в течение 60 мин.Бомбардировка поверхности нанесенного магнитомягкого слоя высокоэнергичными ионами с большой дозой приводит к тому, что атомы магнитомягкого слоя, в данном случае феррита или сендаста, от внедряемых высокоэнергичных ионов аргона или азота получают достаточную энергию для самовнедрения в приповерхностный слой рабочей стороны магнитной головки. Прн этом из-за больших доз внедрения одновременно происходит процесс распыления ферритового слоя.Так как внедренные в рабочую поверхность примесные атомы феррита или сендаста занимают произвольное расположение в кристаллической решетке магныьной 1Изобретение относится к области магнитной записи, в частности к технологии изготовления магнитных головок.Известен способ, при котором повышение износостойкости магнитной головки дости гается электролитическим осаждением на рабочую поверхность защитного покрытия, содержащего частицы магнетика или ферриа с твердостью выше, чем у рабочей поверхности головки 11, 10Недостатком его является то, что этот способ не позволяет получать износостойкие покрытия с необходимой адгезией. В процессе эксплуатации износостойкие покрытия отслаиваются и крошатся, тем са мым не обеспечивают необходимых механических параметров головки.Из известных технических решений наиболее близок по технической сущности к изобретению способ изготовления магнитной головки, включающий нанесение износостойкого слоя на рабочую поверхность головки путем напыления в вакууме, бомбардировку пучком ионов элементов насыщения 21.25Недостатком известного способа является низкая износостойкость магнитной головЦель изобретения - повышение износойкости магнитной головки.30 с и Б. Е. 1 ЯйнйКа 4 1 Ф 3 .:1,;.-:,752464 Толщинаферритового слоя, А Энергия ионоваргона, КЭВ Доза ионов аргона, см Увеличениеизносостойкости, раз 1000 1000 1000 2000 2000 2000 10 дт 10 д 10 д 7 5 10 д 7 5 10 д 5 10 д 160 175 200 160 175 200 1,8 - 2 1,9 - 2,2 2,0 - 2,5 1,9 - 2,4 2,3 - 2,8 2,4 3,0 О+ Составитель Л. БеспаловаТехред А, Камыдпникав Корректоры; Л. Слепаяи О. Иоанесян ктор И. Грузова Подписи д 1 ча 393 Тираж 6Типография, пр, Сапунова, 2 каз 145 головки, то, с целью увеличения их электрической активности, необходим отжиг, после которого примесные атомы феррита илисепдаста располагаются в строго установленных местах, например в узлах решетки,тем самым формируя новые соединения сосновным материалом поверхности головки,Таким образом, на приповерхностномслое формируется тонкий слой с увеличенной износостойкостью.На чертеже поясняется принцип способа.На рабочую поверхность А - А магнитной головки 1 наносят износостойкий слой2 феррита или сендаста толщиной 0,1 - 150,5 мкм и при помощи ионов аргона илиазота В, с энергией в диапазоне 160 -200 КЭВ и дозой 10" - 10 гз см впроизводят вбивание феррита в рабочую поверхность магнитной головки при одновременпо происходящем распылении.При реализации способа было произведено увеличение износостойкости рабочейповерхности магнитных головок типа6 Д 24 Н.10, при различных энергиях и дозах 25ионов аргона и разных толщинах слоя феррита. Вбивание феррита (ада = 1000) в рабочую поверхность магнитной головки производилась на ионно-лучевой установке Везувий, а напыление слоя феррита - на 30установке УВНМ. После внедрения проводился отжиг головок в атмосфере аргонапрп температуре 550 С в течение 60 мин.Полученные результаты представленыв таблице. 35Использование предложенного способаизготовления магнитной головки обеспечивает повышение износостойкости рабочейповерхности магнитной головки, не ухудшая ее электрических параметров. 40 ф о р м ул а изо бр етения Способ изготовления магнитной головки, включающий нанесение износостойкого слоя на рабочую поверхность головки путем напыления в вакууме, бомбардировку, пучком ионов элементов насыщения, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения износостойкости магнитной головки, в качестве износостойкого слоя используют магнитомягкий материал, например феррит или сендаст, а в качестве элементов насыщения используют аргон или азот с энергией 160 - 200 КЭВ и дозой облучения 10" - 10" см - , после чего проводят отжиг магнитной головки в атмосфере аргона или азота при температуре 550 - 650 С в течение 60 мин.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент США3737583, кл. 179 - 100.2, 1973.2. Патент США3566045, кл, 179 - 100.2, 1971 (прототип).