Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру

Номер патента: 746450

Автор: Фокин

ZIP архив

Текст

сее из на н лестен.нс ь А 6 Ям(61) Дополнительное к авт. свид-ву 2) Заявлено 10,04.78 ( 1) 2602558/18Мо присоединением эаявк23) Приоритет Опубликовано 07,07, Дата опубликования О 7/03 осударственнцй иамитет СССР по делам изобретений и открытий(72) Автор изобретен 54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ НАТЕКАНИЯ ГАЗА В ВАКУУМНУЮ КАМЕРУо изобретение област мо л Изобретение относится к области вакуумной техники, может быть использовано во всех случаях, когда требуются малые, точно колибронанные расходы газа, например, в газовых натекателях вакуумных камер.Известно устройство для регулирования малых расходов газа 11 .Недостатком известного устройства являются высокие требования к точности изготовления регулирующих элементов, недостаточная точность и малый диапазон регулирования.Известно также устройство для ре гулиронания натекания газа н вакуумную камеру, содержащее корпус с входной и выходной диафрагмами,полость между которыми соединена сизмерителем давления, и первый регулирующий вентиль, устанонленный перед входной диафрагмой (2).Недостатком известного устройства является невозможность регулирования малых расходов газа (порядка 10 а г/с), так как диафрагмы на такие расходы изготовить практически невозможно, а регулирующий вентиль ,в этом случае превращается в самостоятельнцй натекатель,30 Целы ния являетсярасшире и применения. Устройства,Укаэанная цель достигается тем,что оно снабжено вторым регулирующиМвентилем, соединяющим полость междудиафрагмами с вакуумнасосом,На чертеже изображено предлагае еустройство.Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру содержит корпус 1 с входной 2 и выходной3 диафрагмами, полость 4 между которыми соединена с измерителем 5 давления, первый регулирующий вентиль6, установленный перед входной диафрагмой 2, и нторой регулирующий нентиль 7, соединяющий полость 4 свакуумнасосом (вакуумнасос на чертеже не показан).Устройство закреплено на накуумнойкамере 8, На корпусе 1 имеются щтуцеры 9"10.Устройство работает следующим образом.Вакуумная камера 8 находится нрабочем состоянии. Запускается вакуумнасос, полностью открывается регуирующий вентиль 7 и открывается ре), .гулирующий вентиль 6, сообщающийвходную диафрагму 2 с атмосферой. Гаэ прбходитчерез диафрагму 2 в полость4, иэ которой часть газа откачивается через вентиль 7, а оставшаясячасть проходит через диафрагму 3 ввакуумную камеру 8. Проходное сечение регулируюЩего вентиля 7 выбиаетсяйз"условия откачки максималь "Йогорасхода, проходящего через.диафрагму 2 при минимальном рабочем давлений"в полости 4. На диафрагме 3устанавливается сверхкритический режим "истечения газа, расход которогозависит только отдавления в по" лости 4. Прикрйвая регулирующийвентиль 7, устанавливаем по измерителю 1 давления в полости 4 требуемое давление,а значит, требуемый расход газа в вакуумную камеру,Изобретение позволит обеспечитьточность регулирования в широкомдиапазоне измерения расходов. Формула изобретения Устройство для регулированиянатекания газа в вакуумную камеру,содержащее корпус с входной и вы 5 ходной диафрагмами, полость междукоторыми соединена с измерителемдавления, и первый регулирующийвентиль, установленный перед входной диафрагмой, о т л и ч а ю щ ео е с я тем, что, с целью расширения области применения устройства, оно снабжено вторым регулирующим вентилем, соединяющим полость между диафрагмами с вакуумнасосом,15Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство .СССР Р 301691, кл, 0 05 О 7/00, 1965,2 О 2. Кремлевский, .Расходомеры, М Машгиэ, 1963, с. 98 (прототип),

Смотреть

Заявка

2602558, 10.04.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8685

ФОКИН ВЛАДИМИР ЯКОВЛЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: G05D 7/03

Метки: вакуумную, газа, камеру, натекания

Опубликовано: 05.07.1980

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-746450-ustrojjstvo-dlya-regulirovaniya-natekaniya-gaza-v-vakuumnuyu-kameru.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для регулирования натекания газа в вакуумную камеру</a>

Похожие патенты