Способ подгонки сопротивления пленочного резистора

Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик К АВТОРСКОМУ СВИЯЕТЕЛЬСТВ нительное но 19.12,вт. свид-ву -опол(51) 11. Кл.Н 01 С 17 22) Заявл 7 (21) 2554841/18-21 присоединением зая23) Приоритет - Опубликовано 1 Дата опубликов ки-Государстеенный комитет СССР по делан изобретений(72) Авторы изобрете Вьяль Ф. Чеченов, А. И. Буфетов 1) Заявител 54) СПОСОБ ПОДГОНКИ СОПРОТИВЛЕНИ ПЛЕНОЧНОГО РЕЗИСТОРАИзобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано при изготовлении микросхем для подгонки величины сопротивления пленочного резистора в номинал анодированием материала резистора,Известен способ, включающий одновременное пропускание через подгоняемый резистор постоянного тока анодированияи переменного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора 11. Способу свойственна невысокая точность подгонки сопротивления резисторов в номинал.Известен способ, включающий пропускание через подгоняемый резистор пульсирующего тока анодирования и пульсирующего тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, причем процесс пропускания указанных токов через подгоняемый резистор разделены во времени на полпериода питающего тока 12. Этому способу также свойственна невысокая точность подгонки.Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропускание через подгоняе.04.80. Бюллетень14ния описания 25.04.80 9мый резистор постоянного тока анодирования и постоянного тока измерения величинысопротивления подгоняемого резистора, причем процессы пропускания токов анодирования и измерения разделены во времени 3.Цель изобретения - повышение точностиподгонки,Достигается это тем, что в известномспособе подгонки сопротивления пленочногорезистора, включающем пропускание черезнего постоянного тока анодирования и поп стоянного тока измерения величины сопротивления подгоняемого резистора, пропускание токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.На чертеже представлена структурнаясхема устройства для осуществления предложенного способа.Устройство содержит источник 1 постоянного тока анодирования, регулятор 2 токаанодирования, электрод 3 зонда анодирования, источник 4 постоянного тока измерения,20 измерительный мост 5, состоящий из образцовых резисторов 6, 7 и переменного резистора 8, и нуль-органа 9.Способ осуществляется следующим образом.728172 Формула изобретения СоставительТехред К. ШТираж 844твенного коретений и35, Раушскг. Ужгород,актор Е. Гончараз 147(50ЦНИИПИ Государсно делам изоб113035, Москва, Ж -филиал ППП Патент,мнтета СССРоткрытийая набд,4ул. Проектна 3Для подгонки величины сопротивленияпленочного подгоняемого резистора 10 в номинал его резистивный слой, выполняющий роль анода, погружают в жидкий электролит или накладывают на него вязкий электролит 11 и включают подгоняемый резистор 10 в плечо измерительного моста 5"для контроля величины сопротивления подгоняемого резистора 10, Переменным резистором 8 задают конечную величину сопротивления подгоняемого резистора 10. С учетом допустимой мощности рассеивания на подгоняемом резисторе 10 через него снача" ла с помощью источника постоянного токаизмерения 4 пропускают предельно допустимый постоянный ток измерения. Затем источником 1 постоянного тока анодирования и регулятором 2 тока анодирования устанавливают рабочий ток анодирования.Электрод 3 зонда анодирования, выполняющий роль катода, подключают к минусу источника 1 постоянного тока анодирования через регулятор 2 тока анодирования и к электролиту 11. Окончание процесса анодирования индуцируется наличием нулей на всех разрядах цифрового нуль-органа 9 и автоматическим отключением электрода 3 зонда анодирования от источника 1 постоян ного тока анодирования.В процессе подгонки через подгоняемыйрезистор течет ток, равный сумме токов измерения и анодирования, что позволяет совместить во времени процессы анодирования и измерения и повысить производительность подгонки величины сопротивления пленочных резисторов в номинал, Источни 4ком 4 постоянного тока измерения устанавливают ток измерения, превышающий ток анодирования более, чем на порядок. При этом влияние тока анодирования на точность измерения сопротивления подгоняемого резистора 10 пренебрежимо мало, чем обеспечивается повышение точности подгонки величины сопротивления этого резистора в номинал. Применение предлагаемого способа позй воляет повысить производительность и точность подгонки величины сопротивленияпленочного резистора в номинал. Способ подгонки сопротивления пленочного резистора, включающий пропусканиечерез него постоянного тока анодированияи постоянного тока измерения величины со "противления подгоняемого резистора, отличаюи 4 ийся тем, что, с целью повышенияточности подгонки, пропускание токов измерения и анодирования осуществляют одновременно.Источники информации,7 а ПрИНятЫЕ ВО ВНИМаНИЕ ПрИ ЭКСПЕртИЗЕ1. Авторское свидетельство СССР400894, кл. Н 01 С 17/00, 28.04.69.2. Авторское свидетельство СССР487425, кл. Н 01 С 17/00, 01,10.73,3. Авторское свидетельство СССР351250, кл. Н 01 С 17/00, 15.05.68 (прототип). С. Бычков рнч , Корректор М. Демчик Нодо всвое