Способ изготовления фазовых рэндомизирующих масок

Номер патента: 703513

Авторы: Вербовецкий, Генкина, Крюкова, Федоров, Шитова

ZIP архив

Текст

ОП ИКАНИЕ И ЗОБРЕТЕ Н ИЯ Союз СоветвкнкСоциалистическихрекйублкк щ,703513А. ФР, .-(61) Дополнительное к авт. свил-ву(22)Заявлено 03,10,77 (21) 2532028/29-33 с присоединением заявки М -ВвудврвтваеМ каепт ьь.ь.р йе айам зебретенкк й вйфьпвй(088. 8) Дата опубликования описания 19.12.79 Э, В. Щитова, Н. А, Генкина; Н. Н. Крюкова, А. А. Вербовецкий и В. Б. Федоров(72) Авторы изобретения Горьковский исследовательский физико технический институтпрн Горьковском Государственном университете(54) СПССОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАЗОВЫХ РЭНДОМ ИЗИРУЮ 1 ИИХ МАСОК1Изобретение относится к области галогрвфии и может бйть использовано в:информации.Известен способ получения фазовыхрендомизнрующих масок в фоточувствитепьном слое; йанесенном на стеклинную пластинку, нуем засвечиванйя ипроявления выполняют рельеф, представляющий собой совокуйность равнобедрен ных треугольников с равными высотами,основания треугольников, располагаютсяпо случайному закону в одной и той жегоризонтальной плоскости,Недостатком этого способа являетсято, что слой фотоэмульсии обладает,большой поглощательной способностьюпо сравненщо со стеклянным споем тойже тоааины. Из-за поглощения света вфотоэмульсни интенсивность света с фао.:зовым сдвигом в 180 уменьшается цо.сравнению с интенсивностью света с фа-зой 0 почти на 30% 1. Наиболее близким к изобретению по технической сущности является способ изготовления фазовых рэндомизирующихмасок, Способ, заключается в следующем 2).На стеклянные пластинки методом испарения осаждают слой серебра толщиной 2000 А . На слой серебра наносятоспой фоторезиста, на котором контактным способом. осуществляют отпечаток изображения. При появлелии в восстановителе Фармера пленка фоторезиста удаляется с неэкспонированных участков. Травление стекла осуществляют в растворе, в которых входят 10 см,45%,НГ н 200 см дистиллированной воды, После чего оставшийся спой фотореэиста удаляют,Недостатком, этого способа является то, что при использовании травителя указанного состава из-за присутствия в стекле окислов с различной скоростью травления на поверхности стекла появляется матовый налет, существенно изменяющий прозрачность маски, Пропускание масок, полученных описанным спо

Смотреть

Заявка

2532028, 03.10.1977

ГОРЬКОВСКИЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ПРИ ГОРЬКОВСКОМ ГОСУДАРСТВЕННОМ УНИВЕРСИТЕТЕ ИМ. Н. И. ЛОБАЧЕВСКОГО

ШИТОВА ЭЛЬВИРА ВАЛЕРИАНОВНА, ГЕНКИНА НЭЛА АЛЕКСАНДРОВНА, КРЮКОВА НАТАЛЬЯ НИКОЛАЕВНА, ВЕРБОВЕЦКИЙ АЛЕКСАНДР АЛЕКСЕЕВИЧ, ФЕДОРОВ ВЯЧЕСЛАВ БОРИСОВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 15/00

Метки: масок, рэндомизирующих, фазовых

Опубликовано: 15.12.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-703513-sposob-izgotovleniya-fazovykh-rehndomiziruyushhikh-masok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления фазовых рэндомизирующих масок</a>

Похожие патенты