Способ изготовления трафарета для ориентации ферритовых сердечников в запоминающей матрице

(51)М. Кл,Ь 11 С 5/02 с присоединением заявки Рде -Воударстввииый комитет СССР ао делам иэобретеиий и открытий(23) ПриоритетОпубликовано 05,12,79, Бюллетень 1 дй 4 дДата опубликования описания 08,12,79(72) Авторы изобретения Ленинградский завод художественноддв-аекда.И 1 С,(54) СПОСОБ, ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИГ НТАЦИИ ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ В ЗАПОМИНАЮЩЕЙ МАТРИЦЕИзобретение относится к вычислительной технике, может быть использованов технологическом процессе изготовления запоминающих матриц,Известен способ изготовления трафарета для ориентации сердечников в запоминающей матрице путем химического:протравливания сквозных отверстий в металлической пластине через маску 1,Способ состоит в том, что на пластину из бериллиевой бронзы толщиной примерно 50 мкм с двух сторон наносят слой фоторезиста, экспонируют ее через фотошаблон, протравливают засвеченные участки до получения сквозных отверстий и удаляют слой оставшегося фоторезиста, Трафарет требуемой толщины изготавливают путем прецизионного совмещения нескольких пластин с их последующей фиксацией.Недостатком этого способа является высокая трудоемкость, процесса, связана.дя с травлением большого количества тонких слоев, их совмещением и фиксацией при наборе в трафарет,Наиболее близок к предлагаемомуспособ изготовления трафарета цля ориентации ферритовых сердечников в запоми 5нающей, ьдатрице, при котором пластинутрафарета изготавливают из светочувствительного стекла и, не покрывая фото-резистом, обрабатывают через фотошаб 10лон ультрафиолетовьдми лучами, послечего экспонированную пластину проявляют термообработкой, а затем травят нанеобходимую глубину 21.Однако при облучении светочувстви 15тельного стекла через фотошаблон из-оаего неплотного прилегания, связанногос неровностями поверхности пластины,световой поток:воздействует на пластину на разных участках по-разному, Вследствие этого после обработки светочувствительного стекла и трафарете образуются отверстия, размеры которых имеютразброс 7-10% по сравнению с размерами фотошаблона.3 7024Этот недостаток трафарета приводитк недостаточному заполнению отверстийферритовыми сердечниками, что требует-"ручного заполнения ими каждого свободного отверстия трафарета.В результате технологический процесс сборки матрицы существенно усложйяейся"итрудоемкбсть его возрастает.Цель изобретения - повышение точностй воспроизведения микрогеометриитрафарета.Поставленная цель достигается тем,что при изготовлении трафарета для ориентации ферритовых сердечников Ь. запоминающей матрице, предлагаемым способойЪкйюфТакйим селективное экспони"роваФЙе йластины из светочувствительного стекла, проявление ее путем термообработки, травление экспонированныхучйбИов"до получения сквозных отверстйй, перед селективным экспонирова-нием на поверхности пластины формиру-ют контактную маску из фоторезиста,Пример изготовления трафарета пред-лагаемым способом,На пластину из светочувствительногостекла, например фотоситалла, любойтолщины наносят с одной стороны слойфоторезиста, затем накладывают шаблонтребуемой конфигурации, например, с 30-пряМоугольными отверстиями, и экспонируют фоторезист через шаблон с последующим проявлением и задублива-нием дообразования открытых участков светочувствительного стекла,Образовавшиеся в фоторезисте окнаподвергают через фотошаблон воэдействию ультрафиолетовых лучей высокойсинтенсивности.При воздействии на фотоситалл све 40=ФЬвого потока во всем эасвечиваемом .объеме равномерно изменяются свойства.Поскльку свет распространяется прямолинейно и дифракции в отверстиях шабло 09 4на не происходит, при облучении изменяются свойства только объемов, ограниченных окнами фотошаблона и толщиной пластины светочувствительного стекла. Затем пластину подвергают термообработоке в электропечи при 550-650 С и травлению в 5-15/о-ном растворе плавиковой кислоты до полного растворения проявленных участков, Облученные участки по сравнению с необлученными отличаются высокой растворимостью и при травлении удаляются до образования сквозных отверстий заданной формы,Данный способ исключает влияние.неплотного прилегания фотошаблона к поверхности трафарета, так как слой фоторезиста плотно прилегает ко всем участкам поверхности пластины из светочувствительного стекла, в результате чего повышается точность заданных размеров отверстий и перемычек трафарета. формула изобретенияСпособ изготовления трафарета дляориентации ферритовых сердечников взапоминающей матрице, включающий селективное экспонирование пластины из1:веточувствительного стекла, проявление ее путем термообработки, травлениеэкспонированных участков до получениясквозных отверстий, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышейия" точности восйроизведения микрогеометрии трафарета, перед селективнымэкспонированием на поверхности пластины формируют контактную маску иэ фоторезиста.Источники информации,принятые во"внимайие при экспертизе1. Патент США % 3808001,кл. 96-36, .1974.2, Бережной А. И. Ситаллы и фотоситаллы, М., 1966, с. 288, 299 (прототип), Составитель О, Павлова Редактор Б. Федотов Техред 3, ФантаКорректор Н, СтецЗаказ 7599/48 Тираж 681 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4/5 филиал ППП Патент, , Ужгород, ул, Проектная, 4