Способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз СоветскнхСоциалистнческикРеспубпнк ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(22) Заявлено 22.08.77 (21) 2523014/23-2 51)М, КлЯ 01 С 01 присоединением заявки 31/00 33/12 Гасударственный коетите СССР во делает изобретений и открытий23) Приоритет Опубл иков о 05.12.79. Бюллетень РЙ 45 43.06 088.8) 53) УД та опубликования опнсанття 10,12,(72) Авторы изобретения ов и С, С, Астацтева(54) СПССОБ ВЫЯВЛЕНИЯ СТРУКТСЛОЕВ МЕТАЛЛОВ 1 ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ Изобретение относится к способам выявления структуры тонкопленочных слоев металлов и может быть использовано в электронике для выявления микроструктуры в новых резистивных сплавах, применя емых для тонкопленочных резисторов.Известен способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов, заключающийся в том, что образец обрабатывают раствором-травителем и затем исследуемую поверхность фотографируют. В качест ве раствора-травителя применяют водный раствор, содержатций 5-15 вес, ч. хлорис,тоаммиачной меди, 1 тикриновую кислоту и этиловый спирт 11,Однако таким раствором-травителем нельзя выявить микроструктуру тонкопленочных силицидов переходных металлов.Целью изобретения является разработка способа, позволятощет.о производить анализ исследуемой микроструктуры тонкопленочных сипицидов переходных металлов. Цель достигается способом, включающим обработку водным раствором, содержащим 5-15 вес. ч. хлористоаммиачной меди, и последующее фотографирование исследуемой поверхности, отличительные признаки которого состоят в том, что и водный раствор дополнительно вводят 5-10 вес,ч, азотнокислого серебра и повторно обрабатывают поверхность перекисью водорода, содержащей 5-10 вес.ч, азотнокислого серебра. П р и м е р, 5 г хлористоаммиачной меди растворяют в 100 мл дистиллированной воды и к раствору добавляют 5 г кристаллической азотнокислой соли серебра. Затем полученным раствором обрабатывают поверхность исследуемой пленки силицида переходного металла и нанесенный на поверхность раствор выдерживают в течение 40 мин. Образовавцтийся прн этом рыхлый осадок азотнокислого серебра смывают водой, Далее на поверхность ттаносят второй раствор, приготовлеттный раст3 702ворением 5 г азотнокислого серебра в100 мл перекиси водорода,Протравленную пленку высущиваютфильтровальной бумагой. Структуру пленфки изучают при помощи оптического мик5роскопа, Полученную пленку также фотографируют и готовит фотоснимок,Предложенный способ дает воэможностьпроизводить анализ микроструктуры тонких пленок силицидов переходных металлов, что позволяет изучать структуру тон-копленочных резисторов, а в целом рещатьпроблему создания материалов с заранеезаданными свойствами.формула изобретенияСпособ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов, включающий об 296работку водным раствором, содержащим 5-15 вес.ч, хлористоаммиачной меди, и последующее фотографирование исследуемой поверхности, о т л и ч а ю щ и й - с я тем, что, с целью анализа микроструктуры тонкопленочных силицидов переходных металлов, в водный раствор дополнительно вводят 5-10 вес,ч. а;ютнокислого серебра и повторно обрабатывают поверхность перекисью водорода, содержащей 5-10 вес,ч. аэотнокислого серебра. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Коваленко В, С. Металлографические реактивы, Справочник. М.,50,1973, с, 37 (прототип).Составитель Ю. КуценкоРедактор 3, Бородкина Техред С,Мигай Корректор Н. СтецЗаказ 7580/41 Тираж 1073 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открыти 113035, Москва, Ж, Раушская набд. 4/5 Филиал Г 1 ПП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4
СмотретьЗаявка
2523014, 22.08.1977
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-8525
МИНЕЕВ АЛЕКСЕЙ СЕМЕНОВИЧ, КАРЫМОВ ИГОРЬ ПАВЛОВИЧ, КОЧУКОВ ВАЛЕРИЙ ИВАНОВИЧ, АСТАШЕВА СВЕТЛАНА СЕРГЕЕВНА
МПК / Метки
МПК: G01N 31/00
Метки: выявления, металлов, слоев, структуры, тонкопленочных
Опубликовано: 05.12.1979
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-702296-sposob-vyyavleniya-struktury-tonkoplenochnykh-sloev-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ выявления структуры тонкопленочных слоев металлов</a>
Способ наплавки металлов на внутреннюю поверхность полых металлических деталей
Номер патента: 376196
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: B23K 20/12
Метки: внутреннюю, металлических, металлов, наплавки, поверхность, полых
...отдельных элементов стружки наносимого сплава не должен затруднять ее засыпку в приспособление.Для наплавки может использоваться стружка антифриюционных сплавов из отходов механической обработки, подвергнутая при необходимости, магнитной сепарации для удаления примесей черного металла.После засыпки стружки в приспособление туда же вставляют второй пуансон 3. Перед наплавкой стружку в приспособлении предварительно уплотняют под давлением 15 - 20 кг/мм с помощью одновременного встречного движения пуансонов, в результате чего образуется плотный брикет, Для проведения ,процесса наплавки приспособление с закрепленной в нем заготовкой приводят во вращение со скоростью о=4 в м/сек (относительно поверхности диаметром л.у,), а пуансоны...
Сварочная головка для наплавки металла на внутреннюю поверхность цилиндрического изделия
Номер патента: 1298021
Опубликовано: 23.03.1987
Авторы: Гатаулин, Зраковский, Новиков
Метки: внутреннюю, головка, изделия, металла, наплавки, поверхность, сварочная, цилиндрического
...расположены оси роликов, на шесть, получаем шаг между парами роликов на винтовой линии с расчетным зчачением угла ее наклона в тангенциальном направлении Отношение шага Ь, к шагу 1 дает значение тангенса расчетного значения угла наклона винтовой линии.При наплавке неплавящимся электродом с присадочным материалом в виде металлического порошка работа сварочной головки происходит следующим образом.Загружают в бункер 26 присадочный материал в виде металлического порошка, который через отверстие 25 попадает в шнековый дозатор. Зафиксированные относительно друг друга при помощи втулок 20 губки 18 вместе с неплавящимся электродом 19 соединяют с помощью винтов 40, проходящих через отзерстия указанных втулок, с выходным патрубком 4. Винтами...
Раствор для очистки металлической поверхности
Номер патента: 881151
Опубликовано: 15.11.1981
Авторы: Антонова, Басенкова, Зубкова, Лопанов
МПК: C23G 1/14
Метки: металлической, поверхности, раствор
...катиона алюминия по сравнению с одновалентным.катионом натрия (правило Шульце-Гарди). Отмывка стружек раствором без сульфата алюминия даже при нагревании до 80 С позволяет отмыть стружку только на 53,7%, в то время как введение сульфата алюминия улучшает обезжиривающий эффект предложенной смеси почти вдвое даже при температуре 25 С и составляет " 97%.П р и м е р 1. Готовят моющий раствор сЛедующего состава, г/л:Полиэтиленгликольалкилфениловый эфир 1Гидроксид калия 3Сульфат алюминиякристаллогидрат 6 Фосфат калия 3Вода До 1 л1 О мл моющего раствора отливаютв стакан, погружают в него навеску(1 г) загрязненной маслом ИСстружки из сплавов на основе меди (алюминия). Стакан помещают в водяной термостат, с помощью мешалки...
Раствор для очистки металлической поверхности
Номер патента: 936642
Опубликовано: 23.10.1992
Авторы: Андросов, Бибикова, Волкова, Иванов, Игнатьев, Петров, Солуянов, Цмакалова
МПК: C23G 5/02
Метки: металлической, поверхности, раствор
...фракцииС 1-С 8 с содержанием в среднем 3 молейокиси этилена на моль спирта (оксанол ЦО, ТУ 6-14-924-73) и полиэтиленгликолевый эфир олеилового спирта,содержащий 18 моль окиси этиленана моль спирта (оксанол 0-18, ТУ 614-275-69), в строго определенномсоотношении 30:70 по массе введеныв состав для снижения поверхностногонатяжения на границе раздела фаз,улучшения условий смацивания загрязненной поверхности, эмульгированиязагрязнений и их солюбилизации.Кроме того, введение указанныхПАВ позволяет улучшить качество очистки поверхности и уменьшить продолжительность процесса,Предлагаемый раствор для очисткиготовят путем введения в рабочую ванну указанных компонентов в следующейпоследовательности: карбонат натрия,пирофосфат натрия, бура, нитрит...
Раствор для очистки поверхности олова и его сплавов
Номер патента: 1093730
Опубликовано: 23.05.1984
Авторы: Климас, Скоминас, Фридман, Ягминас
МПК: C23G 1/10
Метки: олова, поверхности, раствор, сплавов
...поверхности до И) и после И)40ее обработки, Относительное изменение отражательной способности (К )рассчитывают по формулеК = ---- 1003Вк - Нн 45отИзмерение контактного сопротивления поверхности олова и его сплавов до и после обработки в укаэанных в таблице растворах проводят миллиом метром Е 6-12 методом наложения кольцевого серебренного контакта с геометрической площадью 0,5 см, Сила нагрузки 20 г/см . (Измеренное таким образам контактное сопротивление чистой поверхности олова и его сплавов составляет 16-20 мОм/см, в зависимости от состава сплава). 730 4Водные растворы готовят произвольным растворением всех компонентов. Результаты обработки сплава олова в растворах даны в таблице.Очистка поверхности олова и его сплавов со свинцом...
Предыдущий патент: Способ контроля сплошности
Следующий патент: Способ приготовления сорбента для газо-жидкостной хроматографии
Случайный патент: Установка для формования сшитого чулка заготовки обуви