Способ изготовления пьезоэлектрических керамических элементов

О П И С АН И Е1687494ИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалистическихРеспублик(511 М. Кл.Н 01 Ь 41/1.С 04 О 35/ОО асудВРс 13 юньй ююиет СССР аа диан азабрамеа в атаййв(71) Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ КЕРАМИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВзо 20 Изобретение относится к технолагии изготовления пьезоэлектрической керамики.Известные способы изготовления пье элементов заключаются в формованни из делий из пьезокерамического материала, обжиге, механической обработке для придания пьезоэлементам заданной формы и размеров, металлизацни части поверхностей вжигании электродов, поляризации, состариванни и измерении электрофнзиче.1 ких характеристик11 .Недостатком известных способов является наличие термических микротрещинна поверхности пьезоэлементов, возникающих прн вжигании электродов и уменьшающих их механическую прочность, иотсутствие операций по их устранению,Бель изобретения - повышение механической прочности пьезоэлектрическихкерамических элементов,Это достигается тем, что при изготовлении пьезоэлектрических керамическихэлементов, включаюшем формование и делий, обжиг, механическую обработку, металлязацию части поверхностей, вжигание электродов, поляризацию и состернвание, неметаллизированные поверхности дополнительно сошлифовывают на глубину от 0,05 до 3 мм перед илн после поляризации, нлн после состаривания.П р и м е р 1. Из предварительно приготовленного пьезокерамического материала, например методом прессования, формуют заготовки пьезоэлементов необходимой конфигурации с припуском на усадку и механическую обработку. Затем заготовки подвергают обжигу при температуре, например, 1200 С. После обжиога осуществляют механическую обработку заготовок (шлифование, токарную, фрезерование) для снятия припуска и придания заготовкам формы готовых иэделий, Прн этом с поверхностей, подлежащих металлнзацнн, снимают весь припуск, а на псверхностях, не подлежащих металлиэациоставляют часть прнпуска величиной0,1 мм, После этого соответствующие6874 94 4татами испытаний пьезоэлементов, данные о которых приведены в таблице. Предлагве Пример 1 . Пример 2 Пример 3 О 0 0 0 мула изоб енн тров;предлагаемого способа элементов по сравнеодтверждвется реэуль Составитель Н, Фельдманорозова Техред . 3, фанта Корректор М. Шароши Редакто Подписноекомитета СССРи открытийаушская нвб., д, 4 Тираж 923Государственноелам изобретенийМосква, Ж 35,./47ЦНИИпо1303 аказ Филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул, Проектная 3поверхности пьезоэлементов метвллизируют и затем вжигают электроды при температуре 600-85 С С, зависящей от состава металлосодержащей пасты. После вжигания электродов осуществляют окончательное сошлифовывание неметвллизированных поверхностей на глубину 0;1 мм, Это позволяет устранить с поверхностей микротрещины, образовавшиеся при температурном воздействии на пьезоэлементы в процессе вжигания электродов, и тем самым увеличить механическую прочность пьезоэлементов. Затем пьезоэлементы попяризуют, подвергают старению и проверке параметров. 15П р и м е р 2, Все операции изго товления пьезоэлементов осуществляют в той же последовательности, что и в примере 1 до операции поляризации включительно, в окончательное сошлифовывание неметаллиэированных поверхностей осуществляют после поляризации, Последующие операции выполняют также, как в примере 1.П р и м е р 3, Все операции выпол няют в той же последовательности, что и в примере 1 до операции старения вклю. чительно, а сошлифоввние неметаллиэированных поверхностей осуществляют после старения. Затем выполняют операцию 3 о по проверке парамеЭффективностьизготовления пьезонию с известным п Способ изготовления пьезоэлектрических керамических элементов, включающий формование изделий, обжиг, механическую обработку, метвллизвцию части поверхности, вжигвние электродов, поляризацию и состарнвание, о т л и ч в ю щ и йс я тем, что, с целью повышения механической прочности пьезоэлектрических элементов, неметаллизированные поверхности дополнительно сошлифовывают нв глубину от 0,05 до 3 мм, перед или после поляризации, или после состаривания.Источники и о мации, ц инятые во нфр Рвнимание при экспертизе1 Окадзвки К. Технология керамических диэлектриков. М., Энергия", 1976.