Термометр сопротивления

Номер патента: 665216

Авторы: Смыслов, Соколова, Суханов, Школьников

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(43) Опубликовано 30.05.79. Бюллетень2 (45) Дата опубликования описания 30.05.79 сударственный комитет СССР о делам изобретений и открытий(71) Заявите 4) ТЕРМОМЕТР СОПРОТИ ИЯ я зонами с ия и с отноПленка к аждением ожку и л и 510" с 03 Ом см общей пло гируется м- (удел емния гстероэпитак наносится на сапфи гируется бором до - (удельное сопроЗона, составляюи пленки, допол м до концентрасопротивление Примерсиальным осровую подл15 концентрацитивление 0,0щая 3/4 отнительно леции 10" с20 0,001 Ом см щад боро ьное вух последовасо значениям из дзона 1 гря сопомулазермометрри гр0,5%. ения р по лег ротивл значен а,обе пповоечивает градуиИзобретение относится к области термометрии, а именно к пленочным термометрам сопротивления.Известны термометры сопротивления, выполненные из монокристаллических слоев твердых растворов бе+51, выращенных на диэлектрической подложке 11, либо из эпитаксиальной высоколегированной пленки кремния одного типа проводимости, выращенной на кремниевой подложке другого типа проводимости 21.Недостатком этих устройств является узкий диапазон рабочих температур,Известен также термометр сопротивления на основе гетероэпитаксиальной структуры кремний на сапфире, в котором чувствительным элементом является полупроводниковая пленка, легированная примесью и нанесенная на диэлектрическую подложку 3.Недостатком этого термометра являет довольно значительный разброс темпер турного коэффициента сопротивления ( 10% ) при массовом производстве,Цель изобретения - достижение унификации градуировочных характеристик термометров сопротивления при массовом производстве.Поставленная цель достигается тем, что в термометре сопротивления, содержащем чувствительныи элемент в виде полупроводниковой пленки, легированной примесью и нанесенной на диэлектрическую подложку, полупроводниковая пленка выполнена в виде последовательности зон с различной степенью легирования.Пленку выполняют с двумразличной степенью легированшенисм температурных коэфф1,1 - 1,3. Термометр состоит тельно соединенных ТКС 0,15% и 0 13% н 25 Подготовка значени зистора к номинальн осуществляется лучом Предлагаемый тер точность измерения п 30 ровке приблизительно665216 Составитель Ю. АндрияновТехред А, Камышникова Корректоры: Л. Орлова и Т. Добровольская Редактор Т. Рыбалова Заказ 831/18 Изд. Уо 321 Тираж 779 Подписное НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 Формула изобретения1. Термометр "сопротивления, содержащий чувствительный элемент в виде полупроводниковой пленки, легированной примесью и нанесенной на диэлектрическую подложку, отличающийся тем, что, с целью достижения унификации градуировочых характсристик термометров сопротивления прп массовом производстве, полупроводниковая пленка выполнена в виде последовательности зон с различной степенью легирования. 2, Термометр по п. 1, отличающийсятем, что пленка содержит две зоны с различной степенью легирования, причем отношение температурных коэффициентов зон5 составляет 1,1 - 1,3,Источники информации,принятыс во внимание при экспертизе1, Авторское свидетельство СССРМа 478202, кл. 6 О 1 К 7/16, 1973.10 2, Патент США Уз 3881181, кл. 358 в ,опублик, 1966.3. Авторское свидетельство СССРМо 602796, кл. 6 01 К 7/16, 1976.

Смотреть

Заявка

2568184, 09.01.1978

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3759

СУХАНОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, СОКОЛОВА АЛЛА АЛЕКСЕЕВНА, СМЫСЛОВ ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ, ШКОЛЬНИКОВ ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: G01K 7/16

Метки: сопротивления, термометр

Опубликовано: 30.05.1979

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-665216-termometr-soprotivleniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Термометр сопротивления</a>

Похожие патенты