Устройство для измерения сопротивления проводящих пленок

Союз СоветскихСоциалистических ОПИСА ИЗОБРЕТК АВТОРСКОМУ СВИДЕ (61) дополнительное к авт. (22) Заявлено ОЗ,0577 (21) 2 с присоединением заявки Ю (23) ПриоритетОпубликовано 2503,79, Б Дата опубликования оп Республик Госуцарственный комитет 7/ 681,12888,8) 2) Авторы изобретени ович, В. А,Сокол и С, Р Костюченк а аявител нский радиотехнич инстит ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ СОПРОТИВЛЕНИОДЯЩИХ ПЛЕНОК(54) УСТРОЙСТ Изобретение относится к областимикроэлектроники и может быть использовано для контроля сопротивления металлических пленок в процессе их формирования на рельефных подложкахИзвестно устройство для контроляэлектрического сопротивления металлических пленок, содержащее подложкус нанесенным на нее исследуемым материалом, на который нанесены электрические контакты, соединенные с измерительной схемой 1 .Недостатком этого устройства является отсутствие возможности контроля сопротивления непосредственнов вакуумной камере в процессе формирования пленок,Известно также устройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащее диэлектрическую подложку с расположенными на ней токопроводящими электродами, соединенными с измерительной схемой, и диэлектрическим слоем между электродами,копланарно с ними размещенными 2, 5 зображен опротивл стройс измере пленок одложк а явя софорНедостатком такого ляется низкая точност .противления проводящи мируемых на рельефных Цель изобретения - повышение точности измерения пленок, формируемыхна рельефных подложках,Достигается это тем, что в устройстве для измерения сопротивления про"водящих пленок, содержащем диэлектрическую подложку и расположенные наней токопроводящие электроды, соединенные с измерительной схемой, и диэлектрический слой, размещенный междутокопроводящими электродами, диэлектрический слой размещен между токопро"водящими электродами с зазором, непланарно к их поверхности, толщиной,равной высоте рельефа подложки, ишириной равной ширине токопроводящего электрода На чертеже и о у о для измерения с енщих пленок.Устройство содержит диэлектрическую подложку 1, токопроводящие электроды 2, диэлектрический слой 3 толщиной Ь, предназначенный для создания на подложке между электродами .тупеньки, высота которой равна высоте рельефа (ступеньки на рельефной подложке), измерительную схему 4 для измерения сопротивления форми, з 65358руемой пленки, соециненную с токо.проводящими электродами.Устройство работает следующимобразом.Испаряемый материал осаждают насвободной поверхности подложки 1 ина поверхности диэлектрического слоя,образующего с подложкой ступенькутолщиной .В . Толщйну выбирают заранее равной максимальной-величинерельефа реальной схемы, получениекоторой контролируется предлагаемымустройством, Такую толщину ступеньки выбирают для того, чтобы толщинаалюминиевой пленки на ее боковыхстенках была равна толщине пленки,формируемой на стенках ступенек, 15расположенных на рабочих подложках.Ширину ступеньки выбирают равнойширине токоправод:щих д рожек длптого, чтобы формирующаяся на подложке 1 пленка имела перегиб по всей 20своей ширине,ПРи этом до момента запыленияосаждаемым металлом боковых стенокступеньки измерительная схема 4,соединенная с электродами 2, Фиксирует отсутствие проводимости восаждаемой пленке. Начиная с моментазапыления боковых стенок ступенькиизмерительная схема 4 начинает фиксировать наличие проводимости в осаждаемой пленке и ее изменение в процессе Формирования.Таким образом, измерительной схемой в процессе формирования пленкина подложке контролируется истиннаявеличина сопротивления пленки, определяемая в основном ее сопротивлением на боковых стенках ступеньки илитолщиной пленки на боковых стенках). Поскольку тол,цина диэлектрическогослоя выбрана равной высоте рельефаподложки, контролируемая величинасопротивления будет равна величинесопротивления пленки, Формируемой нарабочих подложках.Испытаниями устройства установлено, что сопротивление пленок например алюминиевых, измеренное отличается всего на 5 от вредного сопротивления пленок на рабочих подложках,что означает повышение точности предлагаемого устройства по сравнению сизвестными на 25,Формула изобретенияУстройство для измерения сопротивления проводящих пленок, содержащеедиэлектрическую подложку и расположенные на ней токопровоцящие электроды, соединенные с измерительнойсхемой, и диэлектрический слой, размещенный между токопроводящими электродами, о т л и ч а ю щ е е с я тем,что, с целью повышения точности измерения пленок, формируемых на рельефных подложках, диэлектрический слойразмещен между токопроводящими электродами с зазором,.непланарно к их поверх"ности, толщиной равной высоте рельефа подложки, и шириной, равной ширинетокопроводящего электрода.Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРР 386350 кл. Й 01 В 27/00, 1971,2. Заявка Р 2472336/18-21,кл. 6 01 В 27/02 от 06.04.77, покоторой принято решение о выдаче авторского свидетельства.ЦНИИПИ Заказ 1285/34 ТиРаж 696 Подписное Филиал ППП Патент,г.ужгород,ул.Проектная,4