Устройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе

Союз СоветскихС оцмвлмстмческмхРеспубпмк К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(5) М. Кл. Н 01 Т 37/26 с присоединением зая23) ПриоритетОпубликовано 25 киарствеиный комитетСССРедим изобретенийи открытий осуд 2.79,Бюллетень7 53) УДК 621,385.та опубликован описания 28027.И. Рау, Г,В. Спивак и Ю.В. Горбуно осковский ордена Ленина и ордена Трудового Красногонамени государственный университет им. М,В. Ломоносова(71) Заявите 4) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯВЛАЖНЬ)Х ОБРАЗЦОВ В РАСТРОВОМ ЭЛЕКТРОННОММИКРОСКОПЕ Изобретение относится к электрон- ной микроскопии и предназначено для наблюдения и исследования на субмикронном уровне структур, находящихся в естественном (живом, влажном и т.п.)5 состоянии.Известны специальные микрокамеры, полностью или частично герметизированные, для исследования влажных образцов 1). Однако они позволяют ис следовать образцы только микронной толщины, что обусловлено самим принципом работы просвечивающего и растрово-просвечивающего микроскопов.Наиболее близким к изобретению )5 по технической сущности является устройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе, содержащее регистрирующую систему и герметичную микрокамеру с исследуемым объектом, снабженную крышкой с отверстием, закрытым защитной пленкой, для прохождения электронного луча 2).Однако в этом устройстве затруднительно получить высококачественное иэображение из-за невысокого отношения сигнал/шум. Обусловлено это недостаточной эффективностью регистрации сигнала отраженных электронов вынужденных пронизывать защитную плен ку, причем регистрация проводится в пределах небольшого телесного угла. Вследствие указанных причин теряется разрешение и уменьшается информативная емкость о микроструктуре объекта.Целью изобретения является повышение информативности и качества получаемого изображения.Это достигается тем, что регистрирующая система выполнена в виде отражающей поверхности эллипсоида, в одном из фокусов которого расположена крышка микрокамеры в виде сцинтиллирующегст световода.На чертеже приведена конструктивная схема устройства.Устройство включает электронный зонд 1, регистрирующую систему, состоящую из эллипсоидальной отражающей поверхности 2, собирающего свето- вода 3 и фотоэлектронного умножителя 4. Исследуемый объект 5 располагается в микрокамере б, которая закрыта крышкой 7, выполненной иэ светопроводящего материала и имеющей отверстие 8 для прохождения электронного луча, закрытое защитной пленкой, Защитная пленка крепится эпокснлом в отверстии-окне 8 крышки мнкрока649062 меры 7. Диаметр отверстия1 мм. Крышка 7 микрокамеры б выполнена иэ светящегося при электронной бомбардировке пластикового материала антрацена.Устройство действует следующим образом.Сканируемый электронный зонд 1 микроскопа (первичный сфокусированный пучок электронов) свободно пронизывает защитную пленку, например, из формвара толщиной д 1000 Ъ. При 10 сканировании зонда по поверхности влажного объекта 5 образуются как вторичные, так и отраженные электроны. Промодулированные рельефом поверхности объекта,они обладают энергией, достаточной для генерации световьис квантов при их попадании под большим телесным углом на внутренюю сторону антраценовой крышки 7. Антрацен является хорошим световодом, 20 поэтому световые лучи проходят толщу крышки (д 1 мм), далее собираются (фокусируютсяу эллипсоидальной поверхностью зеркала 2 на торец свето- вода 3 и формируют полезный видеосигнал с помощью ФЭУ 4. Известно, что эллипсоид эффективно собирает световой сигнал, если в одном из его фокусов помещается источник света, а в другом фокусе - регистратор. В предлагаемом устройс.ве источником светового сигнала является крышка микрокамеры, которая несет одновременно функцию датчика отраженных от объекта электронов и преобразователя сигнала. 35Предложенное устройство для наблюдения объектов в живом и влажном состояниях позволяет получать высококачественные изображения и нести новую полезную информацию для эффективного исследования биомедицинских и других препаратов, находящихся в естественной, жизненной среде.Устройство может также найти применение для наблюдения динамики есте ственных процессов, для исследования объектов в онтогенезе и т.п. формула изобретения ставитель В. Гаврюшинхред Э. Чужик Корректорв, Куприяно едактор Т, Клюкина одпи тета сноеСССР открытий наб. д. венного коми обретений и 5, Раушская 5 илиал ППП Патент, г. Ужгород Проектная,каз 570/50, Тираж 9 ЦНИИПИ Государ по делам 113035, Москва, ЖУстройство для исследования влажных образцов в растровом электронном микроскопе, содержащее регистрирующую систему и герметичную микро- камеру с исследуемым объектом, снабженную крышкой с отверстием, закрытым защитной пленкой, для прохождения электронного луча, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения информативности и качества получаемого изображения, регистрирую" щая система выполнена в виде отражающей поверхности эллипсоида, в одном из фокусов которого расположена крышка микрокамеры в виде сцинтиллирующего световода. Источники информации, принятые вовнимание при экспертизе1. Стоянова И.Г., Анаскин И.Д.Физические основы методов просвечивающей электронной микроскопии, М.,Наука, 1972с. 162-240,2. Карелин Н.И. и др. Информация,получаемая в РЭМ с помощью парносимметричного сцинтиллоционного коллектора. - Тезисы докл. на Х Всесоюзной конференции по электронной микроскопииМосква-Ташкент, изд-воВИНИТИ, 1976, т. 1, с. 63.