Способ изготовления капиллярных отверстий
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
О П ИА НЕ ц 643266ЙЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЮЯЛЬСИУ(6) Дополнительное к авт. свид-ву Союз Соеетекик Соцмзлистнцескик Республин22) Заявлено 2,5, с присоединение 23) ПриоритетОпубликова Дата опубл Ф) 21 б 748 8/25 ВЗЗР 1/ явки 44 судерстеениьй кеыет СССР пе делен езеЬретени н открытей(088.8) кования описа Авторыизобретени ливне Заяви ОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАПИЛЛЯРНЫХ ОТВЕРСТИЙ 5 Для осталл с вы детали, Х кель к тве денный ни ння 35-5керсу 50 аждения следует выбирать меокой адгезией к материалу рошими данными обладает ни рдому сплаву, химически осаиоедь имеет прочность сцеплей.что в предвар верстие помеща Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для получения отверстий в микроинструментах,используемых при сборке полупроводниковых приборов.,Известны различные способы изготовления отверстий малого диаметра, например,с использованием алмазно-абразивного сверления 1,Известен также способ, использующийалектрофи ические методы для иредварительного изготовления отверстий с последующим осаждением на его поверхность металлического покрытия 2.Однако такие способы не обеспечивают правильной геометрической формыотверстий.Цель изобретения - получение отверстий диаметрами порядка 0,005- 0,030 мм,длиной до 30 диаметров, имеющих высокую точность и правильную геометричео 20ую форму,Это достигается тем, иаафтельно изготовленное от ют нить с диаметром, равным требуемому диаметру капиллярного отверстия,выпопненную из материала с низкой адгезией к материалу металлического покрытия, затем осуществляют химическоеосаждение и после заполнения пространства между внутренней поверхностью отверстия и нитью, последнюю удаляют.Использование нити позволяет подучить прецизионное отверстие диаметроми формой в точности равными диаметруи форме сечения нити,Применение нити из материала с ниэкой адгезйей к осаждаемому металлупозволяет удалять ее по окончании процесса вытравливанием или выжиганием.Заказ 7902711 Тираж 1221 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретени 4, и открытий 113035, Москва Ж, Рушскаа наб. д. 4/8Филиал ПЯП фПатент", г. Ужгород, ул, Проектная 4 тость, высокую износо- и коррозионную стойкость.П р и м е р. В пластине из сплвва ВКЗМ ааектроискровой прошивкой изго. тввикт отверстие да 0,06 мм, длиной" 0,4 мм.Внутрь отверстия помещают натянутую стеклянную нить диаметром ,0,012 мм, Затем осуществляют освждеиие ниявааа нить удаляют. В пластвйе денученэ геометрически правильное отверстие днвметром 0,012 мм.Саособ наибонее целесообразно иоиавьаоввть для изготовления отверстий диаметром 0,005. 0,30 мм. Формула изобретения Способ изготовления капиллярных оч:оверстий путем химического осажденияуетвллического дощжатия на внутреншою поверхность предварительно изготовлен= ного электрофизическим методом отверст стия, о т л и ч а ю ш и й с я тем, что, с целью повышения точности изго товления, в предварительно изготовленное отверстие помещают нить с диаметром равным требуемому диаметру капиллярного отверстия, выполненную из материала с низкой адгезией к материелу металлического покрытия, затем осуществляют химическое осажд ение и после заполнения пространства между внутрен, ней поверхностью отверстия я нитью, последнюю удаляют.Источники ннформвции, принятые во внимание при экспертизе 1 Авторское свидетельство СССР Ж 174 Р 34 кл. В 23 р 1/12 1962.2, Реков А. И. Прнборные камни. М. фйашиностроение 1989, с. 93-94.
СмотретьЗаявка
2167469, 25.06.1975
ПРЕДПРИЯТИЙ ПЯ А-3562
КУЛЯВЦЕВ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ, СТРИБМАН ВИКТОР НАУМОВИЧ
МПК / Метки
МПК: B23P 1/00
Метки: капиллярных, отверстий
Опубликовано: 25.01.1979
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-643266-sposob-izgotovleniya-kapillyarnykh-otverstijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления капиллярных отверстий</a>
Предыдущий патент: Флюс для кислородно-кольцевой резки
Следующий патент: Способ размерной электрохимической обработки
Случайный патент: Наружная освобождающаяся трубо-ловка