Устройство для регулирования состава газовой атмосферы при химикотермической обработке

ОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Сфеетскиа Сфциалистнчфскик Республик/76 Государственный комнтеСовета Министров СССРно дедам изобретенийи открытий(43) Опубликовано 150978, Бюллетень(45) Лата опубликования описания 01.087(72) Авторы изобретения линов Московский автомобильно-дорожный институт и Всесоюзныйнаучно-исследовательский институт электротермическогооборудования(71) Заявители СТРОЙСТВО ДЛЯ РЕГУЛИРОВАНИЯ СОСТАВА .ГАЗОВОтмОсФеРы НРи химикО-теРмическОЙОБРАБОТКЕ(54 Изобретение относится к химико- термической обработке в вакууме, а именно к устройствам для регулирования состава газовой атмосферы.Известно устройство для регулирования состава газовой атмосферы, содержащее задатчики состава газовой атмосферы, выполненные в виде редукторов, манометры, эадатчики объемных расходов, выполненные в виде дроссельных шайб, и.смесительную камеру 11едостатком данного устройства является необходимость иметь для каждой дроссельной шайбы тарировочные кривые, описывающие зависимость объемного расхода от давления и природы (Физических характеристик) газа, что уменьшает точность регулирования и неудобно на практике.Цель изобретения - повышение точности регулирования состава газовой атмосФеры и исключение переналадки устройства при смене ее химического состава.Цель достигается тем, что в каждый эадатчик состава газовой атмосферы введен мембранный элемент сравнения, работающий в режиме повторения и установленный после редуктора, а эадатчик объемного расхода выполнен в виде пульсирующих линейных сопротивлений, управляемых одним генератором прямоугольных импульсов, причем между элементом сравнения и пульсирующим сопротивлением установлена промежуточная емкость с объемом, превышающем объем пульсирующего сопротивления.На чертеже приведена схема предлагаемого устройства для трехкомпонентной газовой атмосферы.Устройство имеет три одинаковые параллельные линии (для )( -компонентной газовой атмосферы )( - линий), каждая иэ которых ссдержит задатчик1 состава газовой атмосферы, состоящий иэ соединенных последовательно редуктора типа П 23 Д.6 (Эд) и мембранного элемента сравнения типа П 2 ЭС.З (ЭС), работающего в режиме повторения, который последовательно связан с манометром 2, промежуточной емкостью 3 объемом, например, 100 см и эадатчиком 4 объемного расхода, представлякщим собой пульсирующее сопротивление с емкостью объемом, например, 55 см , собранное на двух клапанах типа ПЭк.1, Все три пульсирующих сопротивления управляются623882 Фсрмула изобретения,ЦНИИ каэ, 511 б/20 Тираж 71 6 Подп ис кое Филиал ППП фПатентф 1, г.ужгород, ул.Проектная,4 одним генератором 5 прямоугольных импульсов, собранным на пневмореле П 1 Р.1и соединены со смесительной ,камерой б.Устройство работает следукщим образом.АВ С подаются на соответст вукщий элемент сравнения (ЭС), на который также поступает сигнал с эадатчика (соответственно Зд, Зд, Зд ) . На выходе из элементов сравнения газы А, В,С имеют давления, равные заданным )О задатчиками (здц, здв, зд с ) и изме-. ряемые манометром 2. Далее газы проходят емкость 3 Ю поступают через задатчик 4 расхода в смесительную камеру б. Задатчик 4 расхода представляет 5 собой пульсирующий дроссель, который управляется генератором 5, переключающим клапаны Р и Р, , чем осуществляется поочередное соединение емкости то с промежуточной емкостью 31 . 3, то с камерой б.Применение линейных пульсирующих сопротивлений позволяет отказаться от тарировочных кривых, так как в емкости пульсирующего сопротивления д 5 происходит реждение уравнения состояния газа, являющегося инвариантом по отношению к природе газа, т.е. устройство, содержащеепульсирующее сопротивление является универсальным и может быть использовано для любых газовых атмос 30 Фер. Введение элемента сравнения дает возможность увеличить точность поддержания давления до 0,5, а состава газовой атмосферы до 1-1,5. Введениепромежуточных емкостей позволяет повысить надежность устройства. Устройство для регулирования состава газовой атмосферы при химико- термической обработке, содержащее задатчики состава газовой атмосФеры, выполненные в виде редукторов, манометры, задатчики объемных расходов, смесительную камеру, о т л и ч а ю - щ е е с я тем, что, с целью повышения точности регулирования состава газовой атмосферы и исключения пере- наладки устройства при смене ее химического состава, в нем установлен генератор прямоугольных импульсов, з каждый задатчик состава газовой атмосферы введен мембранный элемент сравнения, установленный после редуктора, а эадатчики объемного расхода выполнены в виде пулЬсирующих линейных сопротивлений, соединенных с генератором импульсов, причем между элементом сравнения и пульсирующим сопротивлением установлена промежуточная емкость с объемом, превышающем объем пульсирующего сопротивления. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:1. Ионычев Г.С. Автоматизация контроля процессов химико-термической обработки. М., 1975, с.14-19.